문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 협대역 엑사이머 레이저 장치의 엑사이머는 희가스 엑사이머 희가스 할라이드 엑사이머, 수은 할라이드 에사이머 및 희가스 산소 엑사이머로 구성된 구룹으로부터선택된것특징인협대역 엑사이머 레이저 장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,희가스 엑사이머는 ar2 kr2 및 xe2로 구성되는 구룹으로 부터 선택되고, 희가스 할라이드 엑사이머는 arcl, arf, krcl, krf, kr2f, xebr, xecl, xe2cl 및 xef로 구성되는 구룹으로부터 선택되고, 수은 할라이드 엑사이머는 hgi, hgbr, 및 hgcℓ로 구성되는 구룹으로 부터 선택되고, 또한 희가스 산소 엑사이머는 xeo와 kro로 구성되는 구룹으로부터선택되는것특징인협대역 엑사이머 레이저 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 복굴절 필터는 2편광판 사이에 복수의 동일두께의 복굴절 결정체 판들이 배치되는소필터포함하는것특징인협대역 엑사이머 레이저 장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 복굴절 필터는 2편광판 사이에 하나의 결정체판이 배치되는리오필터포함하는것특징인협대역 엑사이머 레이저 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 복굴절 필터는 불화마그네슘으로 형성된 결정체로 구성되는 리오필터를 포함하며, 상기 결정체는 브류스터의 각도로 세트되고, 광투과율의 파장 의존성은 248.38㎜주변에서 32pm차수의투과파장폭인것특징인협대역 엑사이머 레이저 장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 복굴절 필터는 두께가 13.2㎜, 26,3㎜ 및 52.7㎜의3결정체들구성되는것특징인협대역 엑사이머 레이저 장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 복굴절 필터는 칼사이트로 형성된 결정체로 구성되는 리오필터를 포함하며, 상기 결정체는 브류스터의 각도로 세트되고, 광투과율의 파장 의존성은 248.38㎜주변에서 3pm의 투과된파장폭인것특징인협대역 엑사이머 레이저 장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 복굴절 필터는 두께가 7.2㎜, 14,5㎜ 및 29,0㎜의3결정체들구성된것특징인협대역 엑사이머 레이저 장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,복굴절 필터는 이방성 광결정체와 평관판을 포함하며, 선형편관은 결정체의 광측에 대해 45°의 각도로 결정체에 입사하고, 최대 투과율은 결정체내의 통상 광과 비상광간의 위상차가 2π의 정수배일때 달성되며, 다른 위상차에서는 타원형 편광으로 변환되고, 타원형편광의 투과율의 편광판에 의해저하되는것특징인협대역 엑사이머 레이저 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
협대역 엑사이머 레이저 장치에서 복굴절 필터가 불화마그네슘 결정체로 구성된 리오필터인 경우, 해당 필터의 구성 요소와 광투과율의 파장 의존성 특성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation협대역 엑사이머 레이저 장치의 복굴절 필터가 불화마그네슘 결정체로 구성된 리오필터일 때, 그 구성 요소와 광투과율의 파장 의존성 특성을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 불화마그네슘으로 형성된 결정체로 구성된 리오필터에 관한 정보를 확인한다.
- 상기 복굴절 필터는 불화마그네슘으로 형성된 결정체로 구성되는 리오필터를 포함하며, 상기 결정체는 브류스터의 각도로 세트되고, 광투과율의 파장 의존성은 248.38㎜주변에서 32pm차수의투과파장폭인것
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3근거 선택
evidence_selection필터의 구성 요소(불화마그네슘 결정체)와 파장 의존성(248.38nm 주변에서 32pm 차수의 투과파장폭)에 해당하는 구절을 선택한다.
- 광투과율의 파장 의존성은 248.38㎜주변에서 32pm차수의투과파장폭인것
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 리오필터의 구성은 불화마그네슘 결정체이며, 파장 의존성은 특정 파장대에서의 투과파장폭 특성을 가짐을 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구한 구성 요소와 파장 의존성 특성을 정리하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
해당 복굴절 필터는 불화마그네슘으로 형성된 결정체로 구성된 리오필터이며, 광투과율의 파장 의존성 특성은 248.38nm 주변에서 32pm 차수의 투과파장폭을 갖는 것이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
불화마그네슘 결정체를 이용한 리오필터의 구성 및 특정 파장 대역에서의 협대역 투과 특성을 정의하고 있다.