문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 가스의 압력을 일정하게 유지하는 수단은, 상기 가스의 유량을 콘트롤하는 수단과, 상기 가스를 배출하는 수단과, 상기 가스의 압력을 검지하는 수단과, 검지된 압력신호에 따라서 상기 가스를 배출하는 수단을 작동시키는 수단구비하는처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 재치대(2),(63)에는 복수의 도입가스 공급구가 형성되어 있고, 그것에 의하여 퍼처리물과 재치대(2),(63)와의사이의압력균일하게유지되는처리장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 재치대(2)(63)의 상기 피처리물과의 대향면은 등분포 하중곡면인처리장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 재치대(2)(63)의 상기 피처리물과의 대향면에는 합성수지막이형성되어 있는처리장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 피처리물의 주변부를 상기 재치대(2),(63)에 눌러 붙여서 유지하는 수단구비하는처리장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,에칭장치, 에싱장치, 이온주입장치, 및 스패터장치로 이루어지는 군(群선택된처리장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 도입가스 공급구는 동심원형상형성되어 있는처리장치.
[청구항 10]
제8항에 있어서,상기 재치대(2),(63)의 상기 피처리물과의 대향면은, 분포 하중곡면인처리장치.
[청구항 11]
제8항에 있어서,상기 재치대(2),(63)의 상기 피처리물과의 대향면에는 합성 수지막이형성되어 있는처리장치.
[청구항 12]
제8항에 있어서,상기 피처리물의 주변부를 상기 재치대(2),(63)에 눌러 붙여서 유지하는 수단구비하는처리장치.
[청구항 13]
제8항에 있어서,에칭장치, 에싱장치, 이온주입장치, 및 스패터 장치로 이루어지는군(群선택된처리장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 합성 수지막은 폴리이미드계수지로 이루어지는처리장치.
[청구항 16]
제14항에 있어서,상기 재치대(2),(63)의 상기 피처리물과의 대향면은, 등분포 하중곡면인처리장치.
[청구항 17]
제14항에 있어서,에칭장치, 에싱장치, 이온주입장치, 및 스패터 장치로 이루어지는군(群선택된처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
처리 장치에서 가스의 압력을 일정하게 유지하기 위해 구성되는 수단들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation처리 장치에서 가스의 압력을 일정하게 유지하기 위해 구성되는 구체적인 수단들을 찾는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 가스의 압력을 일정하게 유지하는 수단에 대한 구체적인 구성 요소들을 추출한다.
- 상기 가스의 압력을 일정하게 유지하는 수단은, 상기 가스의 유량을 콘트롤하는 수단과, 상기 가스를 배출하는 수단과, 상기 가스의 압력을 검지하는 수단과, 검지된 압력신호에 따라서 상기 가스를 배출하는 수단을 작동시키는 수단구비하는
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 청구항 2의 구성 요소들을 선택한다.
- 상기 가스의 유량을 콘트롤하는 수단과, 상기 가스를 배출하는 수단과, 상기 가스의 압력을 검지하는 수단과, 검지된 압력신호에 따라서 상기 가스를 배출하는 수단을 작동시키는 수단
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4논리 통합
logical_integration추출된 네 가지 수단이 가스 압력 유지를 위한 구성 요소임을 확인하고 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation가스 압력 유지를 위한 수단들을 리스트 형식으로 정리하여 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 질문의 형식에 맞춰 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 가스의 유량을 콘트롤하는 수단, 상기 가스를 배출하는 수단, 상기 가스의 압력을 검지하는 수단, 검지된 압력신호에 따라서 상기 가스를 배출하는 수단을 작동시키는 수단
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 가스의 유량 제어, 배출, 압력 검지 및 검지된 신호에 따른 배출 수단의 작동을 통해 처리 장치 내 가스 압력을 일정하게 유지하는 기술에 관한 것이다.