플라즈마 장치 document_id 1019910012351

[청구항 1] 처리용기내에 플라즈마 를 발생시키기 위한 플라즈마 발생수단과 상기 플라즈마 발생수단에 의해 상기 처리용기내에 발새되는 플라즈마를 회전시키고, 이동시키는 것에 의해 피처리 물질에 대하여 플라즈마 처리를 실행하기 위한 플라즈마 처리수단과 상기 플라즈마 처리수단은 를라즈마를 회전시키고, 이동시키기 위하여 처리용기내에 회전가능하게 배치되는 마그네트와, 소정 주기로 상기 마그네트를 회전시키기 위한 구동메카니즘을 포함하고, 처리용기내에 있는 플라즈마에 의해 생성되고 소정의 파장을 가지는 플라즈마광의 강도에 대응하는 제1전기신호를 센싱하기 위한 센서수단과 상기 마그네트의 회전에 동기되는 제2 전기신호를 검출하기 위한 검출수단과 상기 마그네트의 적어도 1회전주기 동안에, 상기 검출수단에 의해 검출된 제2 전기신호에 따라 상기 제1 전기신호를 평활화시키기 위하여 상기 센서수단에 의해 센싱된 제1 전기신호가 공급되는 평활화수단과 상기 평활화수단의 출력신호에 기초하여 플라즈마 처리의 종점을 검출하기 위한 종점검출수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 평활화수단이 상기 센서수단에 의해 센싱된 제1전기신호를, 상기 제1 전기신호의 전압에 대응하는 주파수를 가지는 펄스신호로 변환하기 위한 수단과; 상기 검출수단에 의해 검출된 제2 전기신호에 따라 상기 변환수단에 의해 획득되는 펄스신호의 수를 카운트하기 위한 수단과; 상기 마그네트의 적어도 1주기 동안에, 상기 카운트 수단으로 부터의 출력신호를 적분하기 위한수단포함하는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 종점검출수단이 상기 평활화수단에 의해 평활화된 상기 제1 전기신호의 정상상태값을 그 비교치로서 저장하기 위한 수단과; 상기 평활화수단에 의해 평활화된 상기 제1전기신호가, 상기 저장수단에 저장된 비교치보다 더 작은 예정값에 도달할 때 종점검출신호를 출력하기 위한수단포함하는것을특징으로 하는플라즈마 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 검출수단에 의한 상게 제2 전기신호 출력이, 상기 마그네트의 한 회전주기가 1rpm 내지 100rpm의 범위를 가질 때 3회/분 내지 300회/분의감지비율갖는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 검출수단의 엔코더 수단을 포함하는 것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 엔코더 수단이 내부에 형성된 복수의 슬릿을 구비하고, 상기 마그네트의 회전축에 결합되는 디스크부재와; 상기 디스크부재의 슬릿들이 이동할 수 있는 경로에 대응하는 부분에 위치되는포토인터럽트수단포함하는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 검출수단이 상기 마그네트의 1회전주기내에서 결정되는 복수의 지점에서 제2 전기신호를 출력하기 위한 수단을 포함하고; 상기 평활화수단이 상기 마그네트의 1회전주기내에서 결정되는 지점에서평활화동작수행하는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 8] 처리용기내에 플라즈마 를 발생시키기 위한 플라즈마 발생수단과 상기 플라즈마 발생수단에 의해 상기 처리용기내에 발생되는 플라즈마를 회전시키고, 이동시키는 것에 의해 피처리 물질에 대하여 플라즈마 처리를 실행하기 위한 플라즈마 처리수단과 상기 플라즈마 처리수단은 플라즈마를 회전시키고, 이동시키기 위하여 처리용기내에 회전가능하게 배치되는 마그네트와, 상기 마그네트를 회전시키기 위한 구동메카니즘을 포함하고, 처리용기내에 있는 플라즈마에 의해 생성되고 소정의 파장을 가지는 플라즈마광의 강도에 대응하는 제1 전기신호를 센싱하기 위한 센서수단과 상기 마그네트의 회전에 동기되는 제2 전기신호를 검출하기 위한 검출수단과 상기 마그네트의 적어도 1회전주기 동안에, 상기 검출수단에 의해 검출된 제2 전기신호에 따라 상기 제1 전기신호를 평활화시키기 위하여 상기 센서수단에 의해 센싱된 제1 전기신호가 공급되는 평활화수단과 상기 평활화수단으로부터의 출력신호에 기초하여 플라즈마 처리의 종점을 검출하기 위한 종점검출수단을 포함하고 상기 검출수단은 상기 마그네트의 1회전주기내에서 결정되는 복수의 지점에서 제2 전기신호를 출력하기 위한 엔코더 수단을 포함하며 상기 엔코더 수단은 내부에 형성된 복수의 슬릿을 구비하고, 상기 마그네트의 회전축에 결합되는 디스크부재와, 상기 디스크부재의 슬릿들이 이동할 수 있는 경로에 대응하는 부분에 위치되는 포터인터럽트수단을 포함하며 상기 평활화수단이 상기 마그네트의 1회전주기내에서 결정되는 지점에서 평활화 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치 [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 평활화수단이 상기 센서 수단에 의해 센싱된 제1 전기신호를, 상기 제1 전기신호의 전압에 대응하는 주파수를 가지는 펄스신호로 변환하기 위한 수단과; 상기 검출수단에 의해 검출된 제2 전기신호에 따라 상기 변환수단에 의해 획득되는 펄스신호의 수를 카운트하기 위한 수단과; 상기 마그네트의 적어도 한 주기 동안에, 상기 카운트수단으로부터의 출력신호를 적분하기 위한수단포함하는것을특징으로 하는플라즈마 장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 종점검출수단이 상기 평활화수단에 의해 평활화된 상기 제1 전기신호의 정상상태값을 비교치로서 저장하기 위한 수단과; 상기 평활화수단에 의해 평활화된 상기 제1 전기신호가, 상기 저장수단에 저장된 비교치보다 더 작은 예정값에 도달할 때 종점검출신호를 출력하기 위한수단포함하는것을특징으로 하는플라즈마 장치. [청구항 11] 제8항에 있어서,상기 검출수단에 의한 상기 제2 전기신호 출력이, 상기 마그네트의 회전주기가 1rpm 내지 100rpm의 범위를 가질 때 3회/분 내지 300회/분의감지비율갖는것을특징으로 하는플라즈마장치.