문맥 (context)
[청구항 1]
상기 단일 구동기구는; 수직으로 연장가능한 로드를 가진 단일에어 실린더와
하부 직선부와 상부 만곡부를 가지는 캠홈을 규정하고 수직으로 이동가능하게 된 상기 로드에 접속된 캠 부재와
상기 캠홈과 맞물린 캠 플러워의 이동에 연동해서 수평 왕복으로 움직이는 푸숴플레이트와
상기 푸숴플레이트와 상기 한쌍의 조정부재를 내부결속된 한쌍의 링크와
상기 캠 부재의 상부로 이동중에 상기 캠 부재에 맞물리고, 캠 부재와 함께 상부로 이동해서 상기 핀 지지기구를 상승하는 리프트 부재로 이루어진 기판수도용 인터페이스 장치
청구범위 제1항에 있어서, 상기 보관 수단은 다단계로 기판을 저장하기 위한 카세트를 포함하는 기판수도용 인터페이스 장치
[청구항 2]
청구범위 제1항에 있어서
상기 기판 수납반출 수단은
수직 이동을 지탱하는 리프트 프레임과
상기 리프트 프레임을 구동하는 제1모터와
상기 리프트 프레임상에 수평 미끄럼 이동으로 실장된 암 베이스와
상기 암 베이스를 구동하기 위한 제2모터와
상기 암 베이스에 직립된 지지포스트의 상부에 한편으로 치우친 기판 흡입용 암을 포함하는 기판수동용 인터페이스장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판수도용 인터페이스 장치의 단일 구동기구는 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판수도용 인터페이스 장치의 '단일 구동기구'를 구성하는 요소들을 찾는 구성(composition) 질문임을 파악한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 '상기 단일 구동기구는;' 뒤에 나열된 구성 요소들을 추출한다.
- 수직으로 연장가능한 로드를 가진 단일에어 실린더와 하부 직선부와 상부 만곡부를 가지는 캠홈을 규정하고 수직으로 이동가능하게 된 상기 로드에 접속된 캠 부재와 상기 캠홈과 맞물린 캠 플러워의 이동에 연동해서 수평 왕복으로 움직이는 푸숴플레이트와 상기 푸숴플레이트와 상기 한쌍의 조정부재를 내부결속된 한쌍의 링크와 상기 캠 부재의 상부로 이동중에 상기 캠 부재에 맞물리고, 캠 부재와 함께 상부로 이동해서 상기 핀 지지기구를 상승하는 리프트 부재로 이루어진
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3근거 선택
evidence_selection단일 구동기구의 구성 요소로 명시된 단일에어 실린더, 캠 부재, 푸숴플레이트, 한쌍의 링크, 리프트 부재를 선택한다.
- 수직으로 연장가능한 로드를 가진 단일에어 실린더와 하부 직선부와 상부 만곡부를 가지는 캠홈을 규정하고 수직으로 이동가능하게 된 상기 로드에 접속된 캠 부재와 상기 캠홈과 맞물린 캠 플러워의 이동에 연동해서 수평 왕복으로 움직이는 푸숴플레이트와 상기 푸숴플레이트와 상기 한쌍의 조정부재를 내부결속된 한쌍의 링크와 상기 캠 부재의 상부로 이동중에 상기 캠 부재에 맞물리고, 캠 부재와 함께 상부로 이동해서 상기 핀 지지기구를 상승하는 리프트 부재로 이루어진
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4논리 통합
logical_integration추출된 각 구성 요소들이 '단일 구동기구는 ~로 이루어진' 문장 구조에 포함됨을 확인하여 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 구성 요소들을 리스트 형태로 정리하여 답변을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation최종적으로 단일 구동기구의 구성 요소를 나열하여 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
단일에어 실린더, 캠 부재, 푸숴플레이트, 한쌍의 링크, 리프트 부재
핵심 해석 (core_interpretation)
기판수도용 인터페이스 장치의 단일 구동기구는 에어 실린더, 캠 부재, 푸숴플레이트, 링크, 리프트 부재의 유기적인 결합을 통해 작동한다.