반도체 웨이퍼용 증기 건조기 document_id 1019910014473

[청구항 1] 상부에 개방부를 가지는 좁은 쳄버를 형성하는 수단과 안에 있는 액체를 증발시키도록 상기 쳄버의 바닥에 있는 가열수단과 물체가 상기 쳄버위에 있는 제1위치에 있는 상승기 수단에 장전되고나서, 증기로 처리되며 상기 쳄버안에 있는 제2위치로 하강된 후에 내리기 위하여 상기 제1위치로 상승되도록, 상기 재1위치로부터 상기 개방부를 통하여 상기 제2위치로 왕복하는 상기 상승기 수단과 상기 상승기 수단을 작동시키기 위한 작동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면상에 수분 또는 다른 액체를 가지는 물체용 건조기 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 물체가 웨이퍼이며, 상기 상승기 수단은 상기 웨이퍼에 보충하는 원형의 하부부분과 상기 하부부분으로 부터 위로 연장한수직부분가지는것을특징으로 하는물체용 건조기. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 작동수단이, 하나이상의 상승기로드와, 상기 상승기 수단에 상기 상승기 로드를 연결하는 묶음수단과, 리이드 스크루와, 상기 리이드 스크루에 나사결합되는 상기 묶음수단상에 있는 너트와, 상기 리이드 스크루를 회전시키도록 연결된모터포함하는것을특징으로 하는물체용 건조기. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 가열수단이, 전기 가열기 요소들과, 상기 가열기 요소들 바로위에서 상기 요소들과 열접촉하는 가열기 쳄버와, 상기 가열기 쳄버 바로위에 있는건조기포함하는것을특징으로 하는물체용 건조기. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 가열수단이, 안에 있는 액체와 수준을 감지하도록 상기 가열기 챔버안에 있는 센서와, 상기 센서가 고갈되는 액체의 양을 감지했을 때 상기 가열기 챔버에 있는 액체를 대체시키는포트를추가포함하는것을특징으로 하는물체용 건조기. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 가열기쳄버를 통하여 상승하는 증기를 응축시키도록 상기 가열기 쳄버의 상부 단부상에 있는냉각단면부를추가포함하는것을특징으로 하는물체용 건조기. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 냉각 단면부가, 상기 가열기 쳄버의 바깥 주위에 있는 물 쟈켓과, 상기 쟈켓을 통하여 물을 순환시키기 위한수단포함하는것을특징으로 하는물체용 건조기. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 개방부를 폐쇄시키는 제1위치, 및 상기 개방부로 부터 떨어지는 제2위치를 가지는 플랩과, 상기 플랩을 상기 제1 및 제2위치사이를 움직이하게 하는플랩작동수단을추가포함함을특징으로 하는물체용 건조기. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 플랩 작동수단을 상기 플랩이 설치되는 축과, 상기 측을 진동시키기 위한구동수단포함하는것을특징으로 하는물체용 건조기. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 구동수단이모터포함하는것을특징으로 하는물체용 건조기. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 물체에서 흘러내리는 액체를 받도록 상기 제2위치 바로 아래의 상기 건조기 쳄버에 있는 수평의 컵과, 상기 컵으로부터 상기 액체를 제거하는배수수단을추가포함하는것을특징으로 하는물체용 건조기.