문맥 (context)
[청구항 25]
제24항에 있어서,상기 반송수단은 공기중에 배치된 제 1의 반송수단과 진공중에 배치된 제 2의반송수단포함하는것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 26]
제24항에 있어서,상기 진공처리실을 복수개 포함하는 것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 27]
제24항에 있어서,상기 제어수단은 상기 진공처리실의 드라이클리닝 시기를 판정하는수단포함하는것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 28]
제27항에 있어서,상기 드라이클리닝 시기 판정은 상기 진공처리실의 피처리기판의 처리회수를 계수하는 수단에 의하여 행해지는것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 29]
제24항에 있어서,상기 제어수단은 상기 제 1의 수납수단과 상기 제 2의 수납수단을 분별하는 수단을 포함하여, 상기 제 2의 수납수단이 더미기판을 포함하는 것을 결정하고, 상기 진공처리실의 드라이클리닝처리 이전 및 이후에 각각 상기 더미기판을 상기 제 2의 수납수단으로부터 상기 진공처리실로 상기 진공처리실로부터 상기 제 2의 수납수단으로 이송하도록 상기 반송수단을 선택적으로 제어함으로써, 상기 제 2의 수납수단에 저장된 상기 더미기판이 상기 진공처리실의 드라이클리닝처리시에상기진공처리실위치되게하는것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 30]
제24항에 있어서,상기 드라이클리닝을 위한 제어수단을 더 포함하고, 상기 드라이클리닝용 제어수단은 상기 반송수단에 의해 상기 제 2의 수납수단으로부터 이송된 상기 더미기판이 상기 진공처리실에 있는 동안에상기드라이클리닝처리실행되게하는것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 31]
제24항에 있어서,상기제 1의 수납수단과 상기 제 2의 수납수단은 서로 분리된개별의수납수단인것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 32]
제24항 있어서,상기제 2의 수납수단에 마련된더미기판더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 33]
제24항에 있어서,상기 반송수단은, 상기 기판과 상기 더미기판을 각각의 제 1 및 제 2의 수납수단과 상기 진공처리실 사이에 반송하는 동일한반송시스템인것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 34]
제33항에 있어서,상기제 1의 수납수단 및 제 2의 수납수단은 서로 분리된개별의수납수단인것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 35]
제24항에 있어서,상기제 1 및 제 2의 수납수단 각각은, 상기 기판의 카세트와 상기 더미기판의 카세트를 각각 고정하는 카세트 테이블올 포함하고, 상기 카세트 테이블상에 기판과 더미기판을 각각 고정하는카세트더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 38]
제37항에 있어서,상기 가스분위기 각각은 대기분위기인것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 39]
제38항에 있어서,상기제 2의 이송기구는진공중마련되는것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 40]
제39항에 있어서,상기제 1 및 제 2의 이송기구는개별기구인것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 42]
제41항에 있어서,적어도 하나의 피처리웨이퍼를 저장하는 적어도 하나의 다른 카세트홀더를 더 포함하고, 상기 제1의 이송기구는, (1)상기 적어도 하나의 다른 카세트홀더 또는 상기 카세트홀더와 (2)상기 웨이퍼잠금기구사이에 상기 적어도 하나의 피처리웨이퍼와 상기 적어도 하나의 더미웨이퍼를 이송하기 위한 것이고, 상기 제 2의 이송기구는, 상기 제 2의 이송기구에 의해 이송되는 웨이퍼가 진공중에 유지되는 동안에 상기 적어도 하나의 피처리웨이퍼와 상기 적어도 하나의 더미웨이퍼를 상기 웨이퍼잠금기구와상기적어도하나의웨이퍼처리실사이이송하는것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 43]
제41항에 있어서,상기 카세트홀더내에적어도하나의더미웨이퍼더포함하고있는것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 44]
제41항에 있어서,적어도 하나의 더미웨이퍼가 상기 적어도 하나의 웨이퍼처리실내에 있을 때, 상기 적어도 하나의 웨이퍼처리실의 드라이클리닝올 실행하는제어기구더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치.
[청구항 45]
제44항에 있어서,상기 드라이클리닝을 위한 체어기구를 더 포함하여, 상기 적어도 하나의 더미웨이퍼가 상기 적어도 하나의 웨이퍼처리실내에 있는 동안에드라이클리닝처리실행되게하는것특징으로 하는진공처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
진공처리장치에서 제어수단이 제 2의 수납수단에 저장된 더미기판을 활용하여 진공처리실의 드라이클리닝 처리를 수행하는 구체적인 절차는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제2의 수납수단에 저장된 더미기판을 활용하여 진공처리실의 드라이클리닝을 수행하는 구체적인 절차를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 29항과 30항에서 제어수단이 더미기판을 판별하고, 반송수단을 제어하여 이송하며, 드라이클리닝을 실행하는 내용을 추출한다.
- 상기 제어수단은 상기 제 1의 수납수단과 상기 제 2의 수납수단을 분별하는 수단을 포함하여, 상기 제 2의 수납수단이 더미기판을 포함하는 것을 결정하고, 상기 진공처리실의 드라이클리닝처리 이전 및 이후에 각각 상기 더미기판을 상기 제 2의 수납수단으로부터 상기 진공처리실로 상기 진공처리실로부터 상기 제 2의 수납수단으로 이송하도록 상기 반송수단을 선택적으로 제어함으로써, 상기 제 2의 수납수단에 저장된 상기 더미기판이 상기 진공처리실의 드라이클리닝처리시에상기진공처리실위치되게하는것을특징으로 하는진공처리장치
- 기 드라이클리닝을 위한 제어수단을 더 포함하고, 상기 드라이클리닝용 제어수단은 상기 반송수단에 의해 상기 제 2의 수납수단으로부터 이송된 상기 더미기판이 상기 진공처리실에 있는 동안에상기드라이클리닝처리실행되게하는것을특징으로 하는진공처리장치
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3근거 선택
evidence_selection더미기판의 판별, 이송(이전/이후), 그리고 진공처리실 내 위치 시 드라이클리닝 실행에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 제 2의 수납수단이 더미기판을 포함하는 것을 결정하고, 상기 진공처리실의 드라이클리닝처리 이전 및 이후에 각각 상기 더미기판을 상기 제 2의 수납수단으로부터 상기 진공처리실로 상기 진공처리실로부터 상기 제 2의 수납수단으로 이송하도록 상기 반송수단을 선택적으로 제어함으로써, 상기 제 2의 수납수단에 저장된 상기 더미기판이 상기 진공처리실의 드라이클리닝처리시에상기진공처리실위치되게하는것
- 상기 드라이클리닝용 제어수단은 상기 반송수단에 의해 상기 제 2의 수납수단으로부터 이송된 상기 더미기판이 상기 진공처리실에 있는 동안에상기드라이클리닝처리실행되게하는것
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4논리 통합
logical_integration제어수단이 더미기판 유무를 결정한 뒤, 반송수단을 통해 드라이클리닝 전후로 더미기판을 진공처리실로 이송시키고, 기판이 실 내에 머무는 동안 드라이클리닝을 수행하는 순서로 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 절차를 단계별로 정리한다: 1) 더미기판 포함 결정, 2) 드라이클리닝 전 더미기판을 진공처리실로 이송, 3) 진공처리실 내 더미기판이 있는 동안 드라이클리닝 실행, 4) 드라이클리닝 후 더미기판을 다시 제2 수납수단으로 이송.
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6답변 생성
answer_generation추출된 절차를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
진공처리실의 드라이클리닝 처리를 위한 구체적인 절차는 다음과 같다. 먼저, 제어수단이 제 2의 수납수단에 더미기판이 포함되어 있는지를 결정한다. 그 후, 드라이클리닝 처리 이전에 반송수단을 제어하여 제 2의 수납수단으로부터 더미기판을 진공처리실로 이송시켜 드라이클리닝 시에 더미기판이 진공처리실 내에 위치하도록 한다. 이어서, 이송된 더미기판이 진공처리실에 있는 동안 드라이클리닝 처리를 실행하며, 드라이클리닝 처리 이후에는 다시 더미기판을 진공처리실로부터 제 2의 수납수단으로 이송한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제 2의 수납수단에 있는 더미기판을 진공처리실로 이송시켜 드라이클리닝 시점에 진공처리실 내에 위치시킴으로써, 드라이클리닝 공정을 효율적으로 수행하는 제어 절차를 제공한다.