문맥 (context)
[청구항 10]
제9항에 있어서,수단(b)는, (b-1) 1jn을 만족하는 각 번호 (j에 대해 (j)번째 처리부에서 가공되는 반도체 기판이 얼마나 길게 나타나는가 하는 처리시가(tj)을 파지하는 수단과, (b-2) 다음의 제1조건(i)은 1jn을 만족하는 각 번호(j)가 만족될때 단지 상기 택트시간(to)만을 인가하는 수단이루어진반도체 기판의 반송장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,수단(b)는, (b-3) 상기 반송통로를 순환하는 상기 반송수단을 최소시간으로 반송시간(tc)를 파지하는 수단과, (b-4) 상기 제1조건은 만족은 물론 다음의 제2조건(ii)을 만족될때 상기 택트totc (ii)시간인가하기위한수단으로 이루어진반도체 기판의 반송장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 반도체 기판을 복수의 로트로 구별되고, 수단(b)는, (b-5) 제1및 제2조건은 물론 아래의 제3조건(iii)이 만족될때 상기 대기시간(twj)만을 단지 인가하는 수단과totc+sm (iii)단 값 sm 은 아래의(e1)에 따라서 정의되고, mㆍ n1sm=∑twj (iii) j=(m-1)ㆍn+1숫자 (m)은 상기 반도체 기판의 m번째 로트를 지시하는 양수인수단으로 이루어진반도체 기판의 반송장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,수단(b)는, (b-6) 상기 제1 내지 제3조건은 물론 아래의 제4조건(iv)이 만족될때 단지 상기 대기시간(twj)만을 가하기 위한 수단이루어진반도체 기판의 반송장치.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 복수의 로트는 반도체 기판의 로트(k)를 포함하고, 단 k는 1보다 큰 양수이고, j=1,2,.....n에서 처리시간(tj)의 다른 설정은 t1,t2.....tn2 단, (n2=kㆍn에서)를 얻은 상기 반도체 기판의 상기 로트(k)를 결정하고, 수단(b-6)는, (b-7) 아래의 식(e2)에 따라 결정하는 상기 택트시간 to을to=max(t1,t2.....tn2, tc)...... (e2)단 심볼 max는 t1,t2.....tn2, tc의 각값사이위한수단으로 이루어진반도체 기판의 반송장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,수단(b)는, (b-8) 상기 가열 처리부에서 대한 상기 대기시간(twj)의 0이 아닌값인가하기위한수단으로 이루어진반도체 기판의 반송장치.
[청구항 16]
제15항에 있어서,수단(b)는, (b-8)상기 택트수단(to)에서 시도값을 입력하기 위한 수단과, 수단(b-2)는, (b-2-1) 상기 처리 시간 t1, t2.....tn2와 상기 택트시간(to)용 상기 시도값을 비교하기 위한 수단과, (b-2-2)조건(i)가 만족될때 상기 택트시간(to)에 상기 시도값을 채용하기 위한 수단, (b-2-3) 조건(i)가 만족되지 않을때 상기 택트시간(to)에 또 다른시도값입력하기위한수단으로 이루어진반도체 기판 반송장치.
[청구항 17]
제16항에 있어서,수단(b-4)는, (b-4-1)상기 반송시간(tc)과 상기 택트시간(to)에 대한 상기 시도값을 비교하기 위한 수단과, (b-4-2) 상기 처리조건(i)은 물론 조건(iii)가 만족될때 상기 택트시간(to)에 대한 상기 시도값을 채용하기 위한 수단과, (b-4-3) 조건(ii)가 만족되지 않을때 상기 택트시간(to)에 대해 또 다른시도값입력하기위한수단으로 이루어진반도체 기판의 반송장치.
[청구항 18]
제17항에 있어서,수단(b)는, (b-9) 상기 대기시간(t1, t2....tn2)에 대해 각 시도값을 입력하기 위한 수단과, 수단(b-5)는, (b-5-1) 상기 대기수시간(t1,t2....tn2)용 상기 각 시도값 및 상기 반송시간(tc)의 합계와 상기 택트시간(to)를 비교하기 위한 수단과 ; (b-5-2) 조건(iii)가 만족될때 상기 대기 시간(t1,t2....tn2)로서 상기 대기시간(t÷, t2....tn2)에 대한 상기 각 시도 값을 채용하기 위한 수단과, (b-5-3) 조건(iii)가 만족되지 않을때 상기 대기시간(t1,t2....tn2)에 대해 다른각각의시도값입력하기위한수단으로 이루어진반도체 기판의 반송장치.
[청구항 19]
제18항에 있어서,수단(b-6)은, (b-6-1) 상기 처리시간(tj)과 상기 대기시간(t1,t2....tn2)에 대해 시도값의 각각의 합을 상기 택트시간(to)과 비교하기 위한 수단과, 수단(b-6-2) 조건(iv)가 만족될때 상기 대기시간(t1,t2....tn2)으로서 상기 대기시간(t1,t2....tn2)에 대해 상기 각 시도값을 채용하기 위한 수단과, (b-6-3) 조건(iv)이 맞지 않을때 상기 대기시간(t1,t2....tn2)에 대해 다른 각시도값입력하기위한수단으로 이루어진반도체 기판의 반송장치.
[청구항 20]
제19항에 있어서,스텝(c)는, (c-9) 상기 반송 수단이 마지막으로 상기 스테이숀을 출발한 후 상기 택트시간(to)이 지날때 까지 상기 스테이숀에서 대기하기 위한 상기 반송수단을 제어하는 스텝구성되는반도체 기판의 반송장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제14항의 식(e2)에 따라 결정되는 택트시간(to)은 어떤 값들 사이의 최댓값으로 정의되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제14항의 식(e2)을 참조하여 택트시간(to)이 어떤 값들 사이의 최댓값으로 정의되는지 확인해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 14항에서 식(e2)와 그에 따른 변수들을 추출한다.
- (b-7) 아래의 식(e2)에 따라 결정하는 상기 택트시간 to을to=max(t1,t2.....tn2, tc)...... (e2)단 심볼 max는 t1,t2.....tn2, tc의 각값사이위한수단으로 이루어진반도체 기판의 반송장치
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3근거 선택
evidence_selection식(e2)에서 max 함수에 인자로 들어가는 값들을 선택한다.
- to=max(t1,t2.....tn2, tc)...... (e2)단 심볼 max는 t1,t2.....tn2, tc의 각값사이위한수단
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4논리 통합
logical_integration식(e2)의 구조를 분석하면, 택트시간(to)은 t1, t2, ..., tn2 값들과 tc 값들 중 가장 큰 값을 선택하는 max 연산으로 정의됨을 알 수 있다.
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5결론 도출
conclusion_formulation따라서 택트시간(to)은 t1, t2, ..., tn2 및 tc 값들 사이의 최댓값이다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 값들을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
t1,t2.....tn2, tc
핵심 해석 (core_interpretation)
반도체 기판의 로트별 처리시간(t1, t2, ..., tn2)과 반송시간(tc) 중 가장 큰 값을 택트시간(to)으로 설정하여 공정 주기를 결정하는 기술적 구성에 관한 것이다.