문맥 (context)
[청구항 4]
제1항에 있어서,세정가스의 유량을 검출하여 이의 유량을 조정하는 유량 조절수단과, 진공용기내의 압력을 검출하는 압력검출수단과, 반응가스 유량 또는 배기가스 유량중 어느 하나를 제어하고 진공용기내의 압력을 미리 정한 값으로 유지시키는 압력 제어수단을 추가포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 5]
제2항에 있어서,세정가스의 유량을 검출하여 이의 유량을 조정하는 유량 조절수단과, 진공용기내의 압력을 검출하는 압력검출수단과, 반응가스 유량 또는 배기가스 유량중 어느 하나를 제어하고 진공용기내의 압력을 미리 정한 값으로 유지시키는 압력 제어수단을 추가포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 6]
제3항에 있어서,세정가스의 유량을 검출하여 이의 유량을 조정하는 유량 조절수단과, 진공용기내의 압력을 검출하는 압력검출수단과, 반응가스 유량 또는 배기가스 유량중 어느 하나를 제어하고 진공용기내의 압력을 미리 정한 값으로 유지시키는 압력 제어수단을 추가포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,세정가스를 진공용기내로 공급하는 세정가스 공급노즐과, 진공용기내부와 반응가스 공급노즐 사이의 반응가스 통로를 차단하는 차단수단을 추가포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,세정가스를 진공용기내로 공급하는 세정가스 공급노즐과, 진공용기내부와 반응가스 공급노즐 사이의 반응가스 통로를 차단하는 차단수단을 추가포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 9]
제3항에 있어서,세정가스를 진공용기내로 공급하는 세정가스 공급노즐과, 진공용기내부와 반응가스 공급노즐 사이의 반응가스 통로를 차단하는 차단수단을 추가포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,세정가스 공급노즐의 입구를 진공용기의 시료홀더 부근에설치한,플라즈마 처리장치.
[청구항 11]
제2항에 있어서,세정가스 공급노즐의 입구를 진공용기의 시료홀더 부근에설치한,플라즈마 처리장치.
[청구항 12]
제3항에 있어서,세정가스 공급노즐의 입구를 진공용기의 시료홀더 부근에설치한,플라즈마 처리장치.
[청구항 13]
제1항에 있어서,시료홀더에 고주파 전계를 인가하는 수단을 추가포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 14]
제2항에 있어서,시료홀더에 고주파 전계를 인가하는 수단을 추가포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 15]
제3항에 있어서,시료홀더에 고주파 전계를 인가하는 수단을 추가포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 17]
제16항에 있어서,세정가스 플라즈마를 진공용기 내에서주사하는플라즈마 처리방법.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리장치에서 진공용기 내의 압력을 미리 정한 값으로 유지하기 위해 압력 제어수단이 제어하는 대상은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마 처리장치에서 압력 제어수단이 압력을 유지하기 위해 제어하는 구체적인 대상을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4, 5, 6에서 압력 제어수단의 기능과 제어 대상에 관한 문구를 추출한다.
- 반응가스 유량 또는 배기가스 유량중 어느 하나를 제어하고 진공용기내의 압력을 미리 정한 값으로 유지시키는 압력 제어수단
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3근거 선택
evidence_selection압력 제어수단이 제어하는 대상이 명시된 구절을 선택한다.
- 반응가스 유량 또는 배기가스 유량중 어느 하나를 제어
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4논리 통합
logical_integration압력 제어수단은 진공용기 내 압력을 유지하기 위해 반응가스 유량 또는 배기가스 유량 중 하나를 제어한다는 인과관계를 파악한다.
- 반응가스 유량 또는 배기가스 유량중 어느 하나를 제어하고 진공용기내의 압력을 미리 정한 값으로 유지시키는 압력 제어수단
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 압력 제어수단이 제어하는 대상인 '반응가스 유량 또는 배기가스 유량 중 어느 하나'를 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
반응가스 유량 또는 배기가스 유량 중 어느 하나
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마 처리장치에서 진공용기 내의 압력을 일정하게 유지하기 위해 반응가스 또는 배기가스의 유량을 조절함으로써 압력을 제어하는 기술적 구성에 관한 것이다.