종형 열처리 장치 document_id 1019910016945

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 클린에어 흐름 형성수단은, 상기 케이싱체(1a)의 측면에 설치된 도어(12)와 이 도어(12)에 수용된 송풍팬(13) 및 필터구비하고 있는종형 열처리장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 클린에어 흐름 형성수단은, 상기 필터(14)의 에어송출쪽에 설치되어, 상기 필터(14)보다 넓은 면적을 가지고, 에어 흐름을 상기 공간에 거의 균일하게 확산시켜서 송출하는 균압판있는종형 열처리장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 클린에어 흐름 형성수단은, 상기 케이싱체(1a)의 한쪽 측면에 설치된 클린에어 송출부와, 이 클린에어 송출부에 대향하는 반대측면에 설치된 측면덕트와, 클린에어 송출부 및 측면덕트(56)를 연결하는 바닥부 덕트(46)를 구비하여, 상기 클린에서 송출부는, 상기 케이싱체(1a)의 외부로 부터 에러를 받아넣는 수단을 가지며, 그 결과로서 받아 넣은 에어는 상기 클린에어 송출부로 부터 송출되고, 송출된 에어는 상기 측면덕트(56)와 상기 바닥부 덕트(46)를 통하여 클린에어 송출부순환되는종형 열처리장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 측면 덕트(56)는, 외부로부터 받아넣은 상기 에어와 같은 량의 에어를 케이싱체(1a)의 외부에 배출되는 배출수단있는종형 열처리장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 바닥부 덕트(46)는, 상기 케이싱체(1a)의 바닥면과, 이 바닥면으로부터 떨어져서 배치된 바닥판형성되어 있는종형 열처리장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 바닥판(66)은, 상기 로오드/언로오드 수단이 언로오드 상태일때에 그것을 수용하는 오목부있는종형열처리장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 측면덕트(56)는, 외부로 부터 받아넣은 상기 에어와 같은 량의 에어를 장치본체의 외부에 배출되는 배출수단있는클린에어장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 바닥부 덕트(46)는, 상기 장치본체의 바닥면과, 이 바닥면으로부터 이간 배치된 바닥판형성되어 있는클린 에어장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 바닥판(66)은, 상기 로오드/언로오드 수단이 언로오드 상태일때에, 그것을 수용하는 오목부있는종형열처리장치. [청구항 12] 웨이퍼 처리장치와, 상기 웨이퍼 처리장치에 반입해야할 웨이퍼를 수납하는 캐리어와, 상기 웨이퍼 처리장치 내에서 상기 웨이퍼를 지시하는 웨이퍼 보우트(3)와, 상기 캐리어와 웨이퍼 보우트(3)와의 사이에서 웨이퍼를 옮겨 싣도록 하는 실어서 이송하는 공간(80)과, 상기 실어서 이송하는 공간(80)에 에어흐름을 형성하는 송풍수단과, 상기 실어서 이송하는 공간(80)의 적어도 한쪽 측면에 설치된 도어(12), 이 도어(12)는 상기 송풍수단으로 보내지는 에어 흐름을 청정화하는 필터(14)를 가지고 있으며, 상기 도어(12)의에어 송출쪽에 설치되고, 상기 필터(14)보다 넓은 면적을 가지고, 에어흐름을 상기 옮겨 싣는 공간(80)으로 거의 균일하게 확산시켜서 송출하는 균압판(84)을 포함하는 웨이퍼를 실어서 이송하는 장치