문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생원 수단은, 이온화 가능한 가스를 상기 플라즈마 발생 챔버내부로 공급하는 공급수단과, 상기 가스내에서 플라즈마를 방출시키는 방출수단포함하는장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 방출수단은 열이온 중공 캐소우드포함하는장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 방출수단은 상기 가스로 전자들에 충격을 주는 고열 필라멘트포함하는장치.
[청구항 5]
제2항에 있어서,상기 방출수단은 전자기 파를 상기 가스내로 방사시키는 수단포함하는장치.
[청구항 6]
제2항에 있어서,상기 가스는 질소, 수소, 산소, 네온, 알루미늄 및 아르곤으로 이루어지는 그룹중선택되는장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 플라즈마를 상기 용기내에 구속시키는 구속 수단더 포함하는장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 구속수단은 상기 용기의 주변 둘레에 이격 배치된 다수의 자석포함하는장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 전력원 수단은 상기 전기적 전위를 부극성 펄스의 형태로상기대상물인가하도록구성된장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생원과 상기 대상물간의 반경방향으로의 유통을 차단하는 수단더 포함하는장치.
[청구항 11]
제1항에 있어서,상기 용기 및 상기 플라즈마 발생 챔버와 분리되어 있고, 상기 용기내부로 개방되어 있는 제2플라즈마 발생챔버와, 상기 용기 내부로 확산하고 상기 대상물은 균일한 밀도로 에워싸는 제2의 이온의 플라즈마를 상기 제2플라즈마 발생 챔버내에서 생성하는 발생원 수단을 더 포함하며, 상기 제2플라즈마의 이온은 상기 용기내의 상기 플라즈마의 이온과 상이하고 상기 플라즈마의 이온과 균일하게 혼합되며, 상기 전기 전위에 의해 상기 제2플라즈마로부터 상기 대상물을 향하여 가속되고 상기 대상물내주입되는장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 플라즈마 발생원 수단과 상기 제2플라즈마 발생원 수단을 각기 제어하여 상기 생성된 각각의 상기 플라즈마와 상기 제2플라즈마의 속성을 제어하는 제어수단더 포함하는장치.
[청구항 13]
제11항에 있어서,상기 용기내부로 개방되어 있는 공간 챔버를 더 포함하며, 상기 플라즈마 발생 챔버와 상기 제2플라즈마 발생 챔버는 상기 공간 챔버 내부개방되어 있는장치.
[청구항 19]
제18항에 있어서,상기 단계(b)는 상기 플라즈마의 속성을 개별적으로 제어하는 단계를 포함하며, 상기 단계(d)는 상기 제2플라즈마의 속성을 개별적으로 제어하는 단계포함하는방법.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 소스 이온 주입 장치에서 플라즈마 발생원 수단이 구체적으로 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있는지 설명하라.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마 발생원 수단이 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있는지 파악하는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 플라즈마 발생원 수단의 기본 구성을 확인한다.
- 상기 플라즈마 발생원 수단은, 이온화 가능한 가스를 상기 플라즈마 발생 챔버내부로 공급하는 공급수단과, 상기 가스내에서 플라즈마를 방출시키는 방출수단포함하는장치.
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3근거 선택
evidence_selection플라즈마 발생원 수단을 구성하는 직접적인 요소인 '공급수단'과 '방출수단'을 선택한다.
- 공급수단과, 상기 가스내에서 플라즈마를 방출시키는 방출수단
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4논리 통합
logical_integration추출된 공급수단과 방출수단이 플라즈마 발생원 수단의 구성 요소임을 결합한다.
- 상기 플라즈마 발생원 수단은, 이온화 가능한 가스를 상기 플라즈마 발생 챔버내부로 공급하는 공급수단과, 상기 가스내에서 플라즈마를 방출시키는 방출수단포함하는장치.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답하기 위해 구성 요소를 리스트 형식으로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation최종적으로 공급수단과 방출수단을 포함한다는 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
플라즈마 발생원 수단은 다음과 같은 구성 요소로 이루어져 있다.
- 이온화 가능한 가스를 상기 플라즈마 발생 챔버 내부로 공급하는 공급수단
- 상기 가스 내에서 플라즈마를 방출시키는 방출수단
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 플라즈마 발생원 수단을 가스 공급을 위한 공급수단과 플라즈마 방출을 위한 방출수단의 조합으로 정의하여 플라즈마 발생의 기본 구조를 규정하고 있다.