개선된 펄스 변조기를 구비한 이온 주입 장치 및 방법 document_id 1019910017684

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 캐패시터 수단은 상기 전력원 수단과 병렬로 접속되며, 상기 플라즈마 스위치 수단은 상기 전력원 수단 양단의 대상물과 직렬접속된이온 주입 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 플라즈마 스위치 수단은 상기 캐패시터 수단의 부극성으로 대전된 단부를 상기 대상물에 주기적으로회로적접속시키도록구성된이온 주입 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 플라즈마 스위치 수단은 상기 전력원 수단의 음극단에 회로적으로 접속된 캐소우드와 상기 대상물에 직렬로 접속된 애노우드를 가지고 있는 콜드 캐소우드 교차 자계 변조기 스위치포함하는이온 주입장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 플라즈마 스위치 수단은 상기 전력원 수단과 병렬로 접속되며, 상기 캐패시터 수단은 상기 플라즈마 스위치 수단 양단의 대상물과 직렬접속된이온 주입 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 플라즈마 스위치 수단은 상기 캐패시터 수단의 정극성으로 대전된 단부와 상기 전력원 수단의 음극단과의 사이에서 회로적으로 접속되며, 상기 캐패시터 수단의 부극성으로 대전된 단부는 상기 대상물과 회로적으로 접속되어 있으며, 상기 플라즈마 스위치 수단은 상기 전력원 수단의 음극단에 접속된 캐소우드와 상기 캐패시터 수단의 정극성으로 대전된 단부에 회로적으로 접속된 애노우드를 가지고 있는 콜드 캐소우드 교차자계 변조기 스위치를 포함하며, 상기 콜드 캐소우드 교차 자계 변조기 스위치의 캐소우드는 접지되어 있으며, 상기 전력원 수단의 음극단접지되어 있는이온 주입 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 캐패시터 수단과 상기 대상물 사이에서 회로적으로 접속되어 있는 상기 대상물에 인가된 전기 펄스의 전압을 증가시키는 펄스 변성기더 포함하는이온 주입 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 대상물과 상기 플라즈마 사이에서 갑작스러운 아크 발생 상태를 검출하는 아크 검출기 수단과, 상기 갑작스러운 아크 발생 상태의 검출에 응답하여 상기 캐패시터 수단이 상기 대상물로의 상기 방전을 끝내도록 상기 플라즈마 스위치 수단을 제어하는 아크 검출기 수단에 응답하는 아크 억압 수단더 포함하는이온 주입 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 아크 검출기 수단은 상기 갑작스러운 아크 발생 상태에 대응하도록 사전결정된 레벨 이상으로 흐르는 상기 캐패시터 수단으로부터 상기 대상물로의 전류 흐름을 검출하는 전류 센서 수단포함하는이온 주입 장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 전력원 수단, 캐패시터 수단 및 플라즈마 스위치 수단은 상기 전기 펄스를 상기 대상물에 부극성으로 인가하도록 회로적으로 접속되어 있으며, 상기 펄스 변조기가 제2전기 전위를 발생하는 제2전력원 수단과, 상기 제2전력원 수단과 회로적으로 접속되어 상기 제1전력원 수단으로 부터 충전하는 제2캐패시터 수단과, 회로적으로 접속되어 상기 캐패시터 수단을 상기 대상물로 주기적으로 방전시켜서 제2전기 펄스를 상기 대상물로 인가하는 제2플라즈마나 스위치 수단과를 포함하며, 상기 제2전력원 수단, 제2캐패시터 수단 및 제2플라즈마 수단은 상기 제2전기 펄스를 정극성으로 상기 대상물에 인가하도록 회로적접속된이온 주입 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기제1 및 제2플라즈마 스위치 수단은 제1 및 제2콜드 캐소우드 교차 자계 변조기 스위치각기 포함하는이온 주입 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 캐패시터 수단은 상기 전력원 수단과 병렬로 접속되며, 상기 플라즈마 스위치 수단은 상기 전력원 수단 양단의 대상물과 직렬접속된펄스 변조기. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 플라즈마 스위치 수단은 상기 캐패시터 수단의 부극성으로 대전된 단부를 주기적으로 상기 대상물에회로적접속시키도록구성된펄스 변조기. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 플라즈마 스위치 수단은 상기 전력원 수단의 음극단에 회로적으로 접속된 캐소우드와 상기 대상물에 직렬로 접속된 애노우드를 가지고 있는 콜드 캐소우드, 교차 자계 변조기 스위치포함하는펄스 변조기. [청구항 16] 제12항에 있어서,상기 플라즈마 스위치 수단은 상기 전력원 수단과 병렬로 접속되며, 상기 캐패시터 수단은 상기 플라즈마 스위치 수단양단의 대상물과 직렬접속된펄스 변조기. [청구항 17] 제12항에 있어서,상기 캐패시터 수단과 상기 대상물 사이에서 회로적으로 접속되어 상기 대상물에 인가된 전기 펄스의 전압을 상승시키는 펄스 변성기더 포함하는펄스 변조기. [청구항 18] 제12항에 있어서,상기 대상물과 상기 플라즈마 사이에서 갑작스러운 아크 발생 상태를 검출하는 아크 검출기 수단과, 상기 갑작스러운 아크 발생 상태의 검출에 응답하여 상기 캐패시터 수단이 상기 대상물로의 상기 방전을 끝내도록 상기 플라즈마 스위치 수단을 제어하는 상기 아크 검출기 수단에 응답하는 아크 억압 수단더 포함하는펄스 변조기. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 아크 검출기 수단은 상기 갑작스러운 아크 발생상태에 대응하도록 사전결정된 레벨이상으로 흐르는 상기 캐패시터 수단으로부터 상기 대상물로의 전류 흐름을 검출하는 전류 센서 수단포함하는펄스 변조기. [청구항 20] 제18항에 있어서,상기 플라즈마 스위치 수단은 회로적으로 닫히므로써 상기 캐패시터 수단을 상기 대상물로 방전시키게 하며, 상기 아크 억압 수단은 상기 갑작스러운 아크 발생 상태의 검출에 응답하여상기플라즈마스위치수단개방시키도록구성되어 있는펄스 변조기. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 플라즈마 스위치수단은 콜드 캐소우드, 교차 자계 변조기 스위치포함하는펄스 변조기. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기제1 및 제2스위치 수단은 제1 및 제2의 콜드 캐소우드, 교차 자계 변조기 스위치각기 포함하는2극 펄스 변조기. [청구항 24] 제22항에 있어서,상기제1 및 제2스위치 수단은 제1 및 제2진공관 스위치각기 포함하는2극 펄스 변조기. [청구항 25] 제22항에 있어서,상기제1 및 제2스위치 수단은, 상기 각각의 스위치의 개방 및 폐쇄 시간을 개별적으로 제어하는 제어 수단각기 포함하는2극 펄스 변조기. [청구항 26] 제22항에 있어서,상기 부극성 정극성 전력원 수단은 각기 제1 및 제2 캐패시터 수단을 포함하며, 상기 제1 및 제2스위치 수단은 회로적으로 닫히도록 접속되어 상기 각각의 제1 및 제2캐패시터 수단을 상기 대상물방전시키게 하는2극 펄스 변조기. [청구항 27] 제22항에 있어서,상기 제1 스위치수단은 상기 부극성 전력원 수단에 회로적으로 접속된 캐소우드와 상기 대상물에 회로적으로 접속된 애노우드를 가지는 제1스위치를 포함하며, 상기 제2스위치 수단은 상기 정극성 전력원 수단에 회로적으로 접속된 캐소우드와 상기 대상물에 회로적으로 접속된 애노우드를 가지는 제2스위치포함하는2극 펄스 변조기. [청구항 28] 제22항에 있어서,상기 부극성 및 정극성 전력원 수단과 상기 대상물 사이에 회로적으로 접속되어 상기 대상물에 인가된 상기 부극성 및 정극성 전기 펄스의 전압을 각기 상승시키는 펄스 변성기 수단더 포함하는2극 펄스 변조기. [청구항 29] 제22항에 있어서,상기 부극성 및 정극성 전력원 수단을 상기 대상물에 교대로 접속시키기 위해 상기 제1 및 제2스위치 수단을 제어하는 제어수단더 포함하는2극 펄스 변조기. [청구항 30] 제22항에 있어서,상기 대상물과 상기 플라즈마 사이에서 갑작스러운 아크 발생 상태를 검출하는 아크 검출기 수단과, 상기 갑작스러운 아크 발생 상태의 검출에 응답하여 상기 부극성 및 정극성 전기 펄스가 상기 대상물로 인가되는 것을 중단시키도록 상기 제1 및 제2스위치 수단을 제어하는 상기 아크 검출 수단에 응답하는 아크 억압수단더 포함하는2극 펄스 변조기. [청구항 31] 제22항에 있어서,상기 부극성 및 정극성 전력원 수단을 상기 대상물에 교대로 접속시키기 위해 상기 제1 및 제2스위치 수단을 제어하는 제어수단더 포함하는2극 펄스 변조기.