문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,부가 제 3 처리유니트구비하는처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기제 1 및 제 2처리유니트의 분위기를 서로 절연하는 수단구비하는처리장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 로더(16), 제 1 처리부, 제 2 처리부 및 건네받는부는, 상기 제 1 아암의 회전축을 중심으로 하여 대략 90° 간격으로 배설되며, 상기 언로더(18), 제 3 처리부, 제 4 처리부 및 건네받는부는 상기 제 2 아암의 회전축을 중심으로 하여 , 대략 90° 간격배설되는처리장치.
[청구항 6]
제5항부가 제 3 세정 유니트구비하는처리장치.
[청구항 7]
제5항에 있어서,상기제 1 및 제 2 세정 유니트의 분위기를 서로 절연하는 수단구비하는처리장치.
[청구항 8]
제5항에 있어서,상기 로더(16), 제 1 세정부, 제 2 세정부 및 건네받는부가 상기 제1아암의 회전축을 중심으로하여, 대략 90° 간격으로 배설되며, 상기 언로더(18), 제3처리부, 제4처리부 및 건네받는부가 상기 제2아암의 회전축을 중심으로하여 , 대략 90° 간격배설되는처리장치.
[청구항 9]
제5항에 있어서,상기 제 1 내지 제 4 세정부는, 각각 상기 피처리체를 출입하기 위한 개구부를 가지는 케이스(40)와, 상기 케이스(40) 내에 배설된 처리탱크를 구비하며, 상기 개구부에는 상기 케이스(40)내의 분위기를 주위로부터 격리하기 위한 폐쇄수단배설되는처리장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 폐쇄수단이, 셔터 및 에어커텐으로 되는처리장치.
[청구항 11]
제9항에 있어서,상기 케이스(40) 내부가, 대기압보다 낮은 압력유지되는처리장치.
[청구항 12]
제5항부가, 수중로더구비하는처리장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 수중로더(20)가, 상기 피처리체를 출입하기 위한 개구부(s)를 가지는 케이스(40)와, 상기 케이스(40)내에 배설된 탱크와, 상기 제 1 및 제 2 세정 유니트의 분위기를 서로 절연하는 절연수단구비하는처리장치.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 개구부에, 케이스(40) 내의 분위기를 주위로 부터 격리하기 위한 폐쇄수단배설되는처리장치.
[청구항 15]
제13항에 있어서,상기 폐쇄수단이, 셔터 및 에어커텐으로 되는처리장치.
[청구항 16]
제13항에 있어서,상기 케이스(40) 내부가, 대기압보다 낮은 압력유지되는처리장치.
[청구항 17]
제13항에 있어서,상기 절연수단이 상기 탱크상에서, 상기 케이스(40)내에 배설되는 간막이판으로 되는처리장치 .
[청구항 18]
제5항에 있어서,부가, 수세부로 되며, 이것이 상기 피처리체를 출입하기 위한 개구부(s)를 가지는 케이스(40)와, 상기 케이스(40)내에 배설된 처리탱크를 구비하고, 상기 개구부에는 상기 케이스(40) 내의 분위기를 주위로부터 격리하기 위한 폐쇄수단배설되는처리장치.
[청구항 19]
제18항에 있어서,상기 폐쇄수단이, 셔터 및 에어커텐으로 되는처리장치.
[청구항 20]
제18항에 있어서,상기 케이스(40) 내부가, 대기압보다 낮은 압력유지되는처리장치.
[청구항 21]
제5항상기 피처리체가, 각각의 세정부에서 동시에 복수처리되는처리장치.
[청구항 22]
제5항에 있어서,정부 사이에서 상기 피처리체반송되는처리장치.
[청구항 23]
제9항에 있어서,상기 제 1 내지 제 3 세정부 각각의 처리탱크에 세정액수용되어 있는처리장치 .
[청구항 24]
제1항에 있어서,지지수단은 피처리체가 상호간에 소정의 간격을 두고 이격되도록 피처리체를 유지하기 위한 흠을 가지는 포크를 구비하며, 핸들링수단의 각각은 상호간에 소정의 동일간격으로 이격된 피처리체를 유지하기 위한 흠을 가지는 포크가 구비되며, 핸들링수단과 지지수단 사이의 피처리체의 반송은 포크들이 상호간에 대향 및 걸어맞춤하는 동안에지지수단을상하이동함수행되는처리장치.
[청구항 25]
제5항에 있어서,지지수단은 피처리체가 상호간에 소정의 간격을 두고 이격되도록 피처리체를 유지하기 위한 홈을 가지는 포크를 구비하며, 핸들링수단의 각각은 상호간에 소정의 동일간격으로 이격된 피처리체를 유지하기 위한 흠을 가지는 포크가 구비되며, 핸들링수단과 지지수단 사이의 피처리체의 반송은 포크들이 상호간에 대향 및 걸어 맞춤하는 동안에지지수단을상하이동함수행되는처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제9항에 따른 세정부의 케이스(40) 내 분위기를 주위로부터 격리하기 위한 폐쇄수단은 무엇으로 구성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제9항의 세정부 케이스(40) 내 분위기를 격리하는 폐쇄수단의 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction제9항은 폐쇄수단의 존재를 명시하고 있으며, 해당 폐쇄수단의 구체적 구성은 제10항에서 설명한다.
- 상기 개구부에는 상기 케이스(40)내의 분위기를 주위로부터 격리하기 위한 폐쇄수단배설되는처리장치
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3근거 선택
evidence_selection제9항을 인용하는 제10항에서 폐쇄수단의 구성을 직접적으로 언급한다.
- 제9항에 있어서,상기 폐쇄수단이, 셔터 및 에어커텐으로 되는처리장치
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4논리 통합
logical_integration제10항은 제9항의 폐쇄수단이 셔터 및 에어커텐으로 구성됨을 명시하므로 이를 결합한다.
- 상기 폐쇄수단이, 셔터 및 에어커텐으로 되는처리장치
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5결론 도출
conclusion_formulation폐쇄수단은 셔터와 에어커텐으로 구성된다.
- 셔터 및 에어커텐
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변으로 셔터 및 에어커텐을 리스트 형식으로 도출한다.
- 셔터 및 에어커텐
최종 답변 (final_answer)
셔터와 에어커텐으로 구성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
세정부 케이스의 개구부를 통해 외부 분위기가 유입되는 것을 방지하기 위해 셔터와 에어커텐을 폐쇄수단으로 사용하여 내부 분위기를 격리하는 기술이다.