문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 타이밍 제어회로(60)는 기준클럭과 변환동기 신호를 상기 제 1 및 제 2 의 변환수단에 출력하는 구동제어부구비한플라즈마 처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 제 1 변환수단(20)은 병렬 신호를 랫치하는 랫치회로 (21)와, 랫치된 신호를 시리얼 신호로 변환하는 쉬프트레지스터 (22),(52)와 시리얼 신호를 출력하는 출력회로는 (23)가 있는 구동 제어부구비한플라즈마 처리장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 출력회로(23)와 차동출력회로 (24)를 가지며, 이 회로는 제 1 신호와, 제 1 반전신호인 제 2 의 신호를 출력하는 구동제어부구비한플라즈마 처리장치.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기 제 2 의 변환수단(30)은 시리얼 신호를 입력하는 입력회로(51)와, 시리얼 신호를 병렬 신호로 변환하는 쉬프트 레지스터 (5)와, 병렬 신호를 처리부측에 출력하기 위한 드라이버구비한플라즈마처리장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 전송수단에 동축케이블이 있는 구동제어부구비한플라즈마 처리장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 전송수단에는 광화이버 (74)가 있는 구동제어부구비한플라즈마처리장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,처리부로부터의 피드백 신호를 시리얼 신호로 변환하는 제 3 변환수단 (40)과, 상기 제 3 변환수단 (40)으로부터의 시리얼 신호를 병렬 신호로 변환하여 상기 제어수단(100)측에 출력하기 위한 제 4 변환수단 (50)과, 제 3 변환수단 (40)과 제 4 변환수단 (50)과의 사이의 시리얼 신호를 전송하기 위한 전송수단과, 제 3 변환수단 (40) 및 제 4 변환수단 (50)의 송수신호의 타이밍을 제어하기 위한 타이밍 제어회로 ()를 더 추가하여 구동제어부구비한플라즈마처리장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 제 3 변환수단(40)은, 처리부로부터의 피드백 신호를 받기위한 버퍼 (41)와, 버퍼 (41)로부터의 신호를 시리얼 신호로 변환하기 위한 시프트레지스터 (42)와 시리얼 신호를 출력하는 출력회로(43)가 있는 구동제어부구비한플라즈마처리장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 출력회로(43)는 차동출력회로(34)를 가지며, 이 회로는 제 1 신호와, 제 1 반전신호인 제 2 의 신호를 출력하는 구동제어부구비한플라즈마처리장치.
[청구항 11]
제8항에 있어서,상기 제 4 변환수단(50)은, 시리얼 신호를 입력 하는 입력회로(51)와, 시리얼 신호를 병렬 신호로 변환하는 쉬프트 레지스터 (5)와, 병렬 신호를 받기 위한 버퍼 (53)가 있는 구동제어부구비한플라즈마 처리장치.
[청구항 12]
제8항에 있어서,상기 제 3 변환수단(40)과 제 4 변환수단(50) 사이의 시리얼 신호를 전송하기 위한 전송수단에 동축 케이블이 있는 구동 제어부구비한플라즈마처리장치.
[청구항 13]
제8항에 있어서,상기 제 3 변환수단(40)과 제 4 변환수단 (50) 사이에 시리얼 신호를 전송하기 위한 전송수단과 광화이버(74)가 있는 구동제어부구비한플라즈마 처리장치.
[청구항 14]
제1항에 있어서,상기 처리부(200)는 제어되는 구동부가 있는 구동계(210)와, 처리상태를 검출하기위한 센서가 있는 센서계(240)를 둔 구동제어부구비한플라즈마처리장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 처리부(200)는 플라즈마에칭 처리행하는플라즈마처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제8항의 구성을 바탕으로 할 때, 처리부로부터의 피드백 신호를 시리얼 신호로 변환하여 제어수단(100)측에 전달하기 위해 필요한 변환수단들과 그 사이의 신호 전송을 위한 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제8항을 근거로 피드백 신호를 시리얼로 변환하여 제어수단에 전달하는 데 필요한 변환수단들과 그 사이의 전송 구성 요소를 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction제8항에서 피드백 신호를 시리얼로 변환하는 제3 변환수단(40), 이를 병렬로 변환하여 제어수단측에 출력하는 제4 변환수단(50), 그리고 두 수단 사이의 시리얼 신호를 전송하기 위한 전송수단을 확인한다.
- 처리부로부터의 피드백 신호를 시리얼 신호로 변환하는 제 3 변환수단 (40)과, 상기 제 3 변환수단 (40)으로부터의 시리얼 신호를 병렬 신호로 변환하여 상기 제어수단(100)측에 출력하기 위한 제 4 변환수단 (50)과, 제 3 변환수단 (40)과 제 4 변환수단 (50)과의 사이의 시리얼 신호를 전송하기 위한 전송수단
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 변환수단(제3 변환수단, 제4 변환수단)과 전송 구성 요소(전송수단)에 해당하는 구절을 선택한다.
- 처리부로부터의 피드백 신호를 시리얼 신호로 변환하는 제 3 변환수단 (40)과, 상기 제 3 변환수단 (40)으로부터의 시리얼 신호를 병렬 신호로 변환하여 상기 제어수단(100)측에 출력하기 위한 제 4 변환수단 (50)과, 제 3 변환수단 (40)과 제 4 변환수단 (50)과의 사이의 시리얼 신호를 전송하기 위한 전송수단
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4논리 통합
logical_integration제8항의 구성 요소들을 결합하여 피드백 신호의 변환 및 전송 경로를 구성하는 요소들을 정리한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation필요한 구성 요소는 제3 변환수단(40), 제4 변환수단(50), 그리고 두 변환수단 사이의 전송수단임을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소들을 리스트 형식으로 작성하여 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
제3 변환수단(40), 제4 변환수단(50), 제3 변환수단(40)과 제4 변환수단(50) 사이의 시리얼 신호를 전송하기 위한 전송수단
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 처리부의 피드백 신호를 시리얼 및 병렬 신호로 변환하여 제어수단으로 전달하기 위해 제3 변환수단, 제4 변환수단 및 이들 사이의 전송수단을 포함하는 구성을 특징으로 한다.