문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,가열수단과 서셉터 사이로 열전달가스를 공급하기 위하여 상기 온도검출수단에 의하여 검출된 온도에 기초하여 압력을 제어하는압력제어수단을추가포함하는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 가열수단과 상기 서셉터 사이로 공급되는 열전달 가스의 압력은상기압력제어수단제어되는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,가스공급영역은 프로세스챔버 내의 대기에 대하여 절연되고차단되어있는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 열전달가스는불활성가스인것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,서셉터와 냉각부 사이에 절연프레임이추가개재하는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,셉터는 서로 접촉되어 있는 상태의 상부서셉터 및 하부서셉터로구성되는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상부서셉터 및 하부서셉터의 접촉상태를 조절하는수단을추가포함하는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,피처리체와 서셉터 사이로 가스를 공급함으로써 압력제어수단에 의하여 열전달가스의 압력을 제어하도록 하기 위한수단을추가포함하는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 10]
제7항에 있어서,부서셉터의 상부표면에 형성되어 있는 o링 유지용의 홈의 내부표면을 통하여, 상부서셉터와 하부서셉터 사이로열전달가스공급되는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 11]
제7항에 있어서,상부서셉터와 하부서셉터 사이로 공급되는 열전달가스의 압력이상기압력제어수단제어되는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 12]
제6항에 있어서,절연프레임 및 냉각부 사이로 공급되는 열전달가스의 압력이상기압력제어수단제어되는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 13]
제6항에 있어서,절연프레임은 서셉터와 냉각부를 서로 전기적으로 절연하기 위한 물질로 만들어진 것특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 14]
제6항에 있어서,절연프레임과 냉각부 사이 및 피처리체와 서셉터 사이로 o링 유지용 홈의 내부표면을 통하여열전달가스공급되는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 15]
제6항에 있어서,피처리체와 서셉터 사이로 가스를 공급함으로써 상기 압력제어수단에 의하여 열전달가스의 압력이 제어되도록 하기 위한수단을추가포함하는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
[청구항 16]
제6항에 있어서,절연프레임및 서셉터 사이로 공급되는 열전달가스의 압력이압력제어수단제어되는것을특징으로 하는플라즈마 에칭장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 에칭장치에서 가열수단과 서셉터 사이로 공급되는 열전달가스의 압력을 제어하기 위해 사용되는 수단은 무엇이며, 해당 수단은 무엇을 기초로 압력을 제어하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마 에칭장치에서 열전달가스의 압력을 제어하는 수단과 그 제어의 기초가 되는 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 가열수단과 서셉터 사이의 열전달가스 압력을 제어하는 수단인 '압력제어수단'과 그 기초가 되는 '온도검출수단에 의하여 검출된 온도'를 추출한다.
- 가열수단과 서셉터 사이로 열전달가스를 공급하기 위하여 상기 온도검출수단에 의하여 검출된 온도에 기초하여 압력을 제어하는압력제어수단
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 청구항 2의 구절을 선택한다.
- 상기 온도검출수단에 의하여 검출된 온도에 기초하여 압력을 제어하는압력제어수단
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4논리 통합
logical_integration압력을 제어하는 수단은 '압력제어수단'이며, 이 수단은 '온도검출수단에 의해 검출된 온도'를 기초로 작동함을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation압력 제어 수단은 압력제어수단이고, 제어의 기초는 온도검출수단에 의해 검출된 온도라는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
압력제어수단이며, 상기 온도검출수단에 의하여 검출된 온도에 기초하여 압력을 제어한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 온도검출수단에서 측정된 온도를 기반으로 압력제어수단이 열전달가스의 압력을 조절함으로써, 가열수단과 서셉터 사이의 열전달을 정밀하게 제어하는 기술을 포함한다.