문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 청정기체 도입구(20)의 근방에송풍팬설치하는것을특징으로하는종형열처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 송풍통로(23)에 팬유니트설치한것을특징으로하는종형열처리장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 대기공간(13)의 청정기체도입측에먼지제거용필터설치하는것을특징으로하는종형열처리장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 대기공간(13)의 청정기체 유출측과 상기 함체(2)의 측벽(2b)과의 사이에 엘레베이터 커버(30)를 입설하여상기재순환통로형성하는것을특징으로하는종형열처리장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 열처리로(5)의 하부에 스카벤져(7)를 배열설치하고, 이 스카벤져(7)상에 상기 배기구(35)에 연결되어 통하는열배기덕트접속한것을특징으로하는종형열처리장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 재순환통로(31)와 상기 배기구(35) 사이를 청정기체 배기덕트(34)로 접속하고 상기 배기구(35)의 근방에배기팬설치한것을특징으로하는종형열처리장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 배기구(35)를 배기처리계 덕트(34)를 통하여배기처리계접속한것을특징으로하는종형열처리장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 개구부(39)에 대향하여피처리체의반송장치배치한것을특징으로하는종형열처리장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 피처리체가 반도체 웨이퍼인 것을특징으로하는종형열처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
종형 열처리 장치에서 재순환통로(31)와 배기구(35) 사이를 연결하며, 배기구(35) 근방에 설치되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation재순환통로(31)와 배기구(35) 사이를 연결하며 배기구(35) 근방에 설치된 구성 요소를 찾는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 재순환통로(31)와 배기구(35) 사이의 연결 관계와 배기구 근방의 설치 구성에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 재순환통로(31)와 상기 배기구(35) 사이를 청정기체 배기덕트(34)로 접속하고 상기 배기구(35)의 근방에배기팬설치한것을특징으로하는종형열처리장치
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '연결 요소'와 '근방 설치 요소'가 모두 포함된 청구항 7의 구절을 선택한다.
- 상기 재순환통로(31)와 상기 배기구(35) 사이를 청정기체 배기덕트(34)로 접속하고 상기 배기구(35)의 근방에배기팬설치
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4논리 통합
logical_integration재순환통로(31)와 배기구(35) 사이를 연결하는 것은 청정기체 배기덕트(34)이며, 배기구(35) 근방에 설치되는 것은 배기팬이다.
- 상기 재순환통로(31)와 상기 배기구(35) 사이를 청정기체 배기덕트(34)로 접속하고 상기 배기구(35)의 근방에배기팬설치
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5결론 도출
conclusion_formulation질문이 묻는 구성 요소는 청정기체 배기덕트(34)와 배기팬이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
청정기체 배기덕트(34)와 배기팬
핵심 해석 (core_interpretation)
종형 열처리 장치에서 재순환통로와 배기구 사이의 기체 흐름을 제어하기 위해 청정기체 배기덕트와 배기팬을 배치하는 구성에 관한 것이다.