전자빔 노광방법 document_id 1019920004149

[청구항 24] 제23항에 있어서,해하전입자빔이 그 편향수단에 의하여 주사됨으로써 그 피노광체상에 소정의 패턴을 노광되는 수단과 당해 편향수단의 편향주사에 동기하여 그 블랭킹아파처어레이의 그 제어수단이 그 블랭킹아파처어레이에 형성되는 소정의 패턴을 소정의 일방향으로 이동하도록 제어함과 동시에, 당해 피노광체의 소정의 영역에 있어서의 소정의 위치 또는 그 위치와 그 근방의 부분으로서 되는 중복영역을 달리하는 블랭킹아파처를 통과한 복수개의 하전입자빔에 의하여 소정의 시간 간격을 축차적으로 중복조사되도록제어하는것을특징으로 하는하전입자빔 노광장치. [청구항 25] 제22항에 있어서,개개의 블랭킹아파처의 열방향의 폭을 s로 하여 배열위치와 달리하는 복수의 블랭킹아파처단의 수를 n으로 하면, 1의 블랭킹아파처단에 있어서의 인접하는 각 블랭킹아파처의 열방향의 간격 l은, ns또는 ns에 근사하는값설정되어있는것을특징으로 하는하전입자빔 노광장치. [청구항 26] 제22항에 있어서,블랭킹아파처어레이에 있어서의 복수개의 그 블랭킹아파처는 어느것이나 동일한 개구면적을 가지고 있고, 또한 서로 종방향과 횡방향으로 각각 등간격으로 복수열, 복수단에 매트릭스 형상으로 배열되어있는것을특징으로 하는하전입자빔 노광장치. [청구항 27] 제22항에 있어서. 당해 블랭킹아파처어레이를 구성하는 각 블랭킹아파처의 열방향의 총폭은, 적어도 당해 하전입자빔이 주사하는 서브필드의 폭고 동등하게설정되어있는것을특징으로 하는하전입자빔 노광장치. [청구항 28] 제22항에 있어서,블랭킹아파처어레이에 있어서 하나의 단을 구성하는 복수의 블랭킹아파처와 그에 인접하는 다른단을 구성하는 복수의 블랭킹아파처와는, 열방향으로 그배열위상있는것을특징으로 하는하전입자빔 노광장치. [청구항 29] 제22항에 있어서,배열위상을 달리하는 복수개의 블랭킹 아파처단을 1조로 하여 그 조가 복수조로 반복되어형성되어있는것을특징으로 하는하전입자빔 노광장치. [청구항 30] 제22항에 있어서,배열위상을 달리하는 복수개의 블랭킹아파처단을 1조로 하는 블랭킹아파처군을 통과한 그 하전입자빔의 각각은, 당해 조를 구성하는 하나의 단을 통과한 당해 하전입자빔에 의하여 당해 피노광체상에 형성된 조사노광부의 배열선과 동일선에 있고 또한, 그 조사노광부의 사이에 조사 노광되도록 당해제어수단제어되는것을특징으로 하는하전입자빔 노광장치. [청구항 31] 제22항에 있어서,블랭킹아파처어레이의 각 블랭킹아파처에는 그 하전입자빔 발생수단에서 발생된 당해 하전입자빔이 그 블랭킹아파처를 통과하여 그 피노광체에 도달하도록 하는 온상태와 당해 하전입자빔이 그 블랭킹아파처를 통과할 때에 편향되어 그 피노광체에 도달하지 않도록 하는 온상태의 어느 것에 설정하도록 전극 수단이 설치되어 있고, 그 전극수단은 그 블랭킹아파처어레이 제어장치에 의하여 소정의 전압이 인가되는지의 여부에 의하여 상기한 온상태 또는 오프상태의 어느 것엔가에 선택설정되도록제어되는것을특징으로 하는하전입자빔 노광장치. [청구항 32] 제31항에 있어서,전극수단은 그 블랭킹아파처의 대향하는 2면의 근방에 설치된 2개의 독립한 전극부로 구성되어 있고, 그 한쪽의 전극부는 그 블랭킹아파처어레이 제어장치와 접속된 가변전압전극을 구성하고, 한편 다른쪽의 전극은 정전압 전원과 접속된정전압전극구성되어있는것을특징으로 하는하전입자빔 노광장치. [청구항 33] 제23항에 있어서,블랭킹아파처어레이의 단방향의 양단에서 그 블랭킹아파처의 열간에 형성된 공간부를 이용한 그 내부에 향하여 그 블랭킹아파처어레이 제어장치에서의 제어신호용 배선을 배선함과 동시에, 각 블랭킹아파처의 가변전압 전극의 각각에, 그 배선을 접속시킴과 동시에, 그 블랭킹아파처어레이의 중앙부근방에 정전압전원 배선부를 설치하여 당해 정전압 전원배선부에서 각 블랭킹아파처의 정전압 전극에접선배선되어있는것을특징으로 하는하전입자빔 노광장치. [청구항 35] 제34항에 있어서,블랭킹아파처어레이에 있어서, 하나의 단을 구성하는 복수의 블랭킹아파처와 그에 인접하는 다른 단을 구성하는 복수의 블랭킹아파처와는 열방향으로 그배열위상있는것을특징으로 하는블랭킹아파처어레이. [청구항 36] 제35항에 있어서,개개의 블랭킹아파처의 열방향의 폭을 s로 하고, 배열방향을 달리하는 복수의 블랭킹아파처단의 수를 n으로 하면, 1의 블랭킹아파처 단에 있어서의 인접하는 각 블랭킹아파처의 열방향의 간격 l은, ns또는 ns에 근사한값설정되어있는것을특징으로 하는블랭킹아파처어레이. [청구항 37] 제34항에 있어서,블랭킹아파처의 열방향의 총폭은 적어도 당해 하전입자빔이 주사하는 서브필드의 폭과 동등하게설정되어있는것을특징으로 하는블랭킹아파처어레이. [청구항 38] 제35항에 있어서,배열위상을 달리하는 복수개의 블랭킹아파처단을 1조로 하여, 그 조가 복수조 반복하여형성되어있는것을특징으로 하는블랭킹아파처어레이.