자기 작동식 미소 기계 장치 및 그 생산 방법 document_id 1019920010915

[청구항 1] (a) 직경 이 약 200㎛ 보다 작은 원주를 갖고, 강자성 물질로 형성되며, 고자기저항 경로와 저자기저항 경로가 관통하게 형성된 회전자, 기판, 및 회전자를 기판위에서 회전하게 설치하는 수단 (b) 자기 플럭스를 회전자로 안내하는, 기판위 회전자 주위에 장착된 강자성 물질로 형성된 극편들을 지니는 고정자와, 회전자의 회전 축선을 중심으로 회전하는, 극편들을 통해 회전자로 시변 자기 플럭스를 공급하는 수단을 포함하는 자기 작동식 미소기계 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 시변 자기 플럭스 공급 수단은 고정자극편들로 연장해 회전자 영역의 양측에 그 회전자를 중심으로 서로 수직하게 정렬된 쌍(pair)으로 형성되어 있는 고정자 극편들에 플러스를 공급하는 플럭스안내부들 주위에 설치된 두개의 코일을 갖는외부전자식포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 회전자 극편은 회전자를 중심으로 서로 수직하게 정렬된 두쌍의 극편들로 형성되고, 상기 시변 플럭스 공급 수단은 각 극편 주위에 형성된 컨덕터를 포함하여 그곳으로 전류가 통하면 자기장을 내부에 유도하며, 상기 고정자는 회전자를 통한 대향하는 고정자 극편쌍 사이에 완벽한 경로가 형성되도록 고정자극편들을 결합하여 그곳을 관통하는 플럭스 귀로를 제공하는 기판위에 강자성 물질로 형성된플럭스구로경로포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 고정자 극편들은 전기도금 금속에 의해 기판에 적어도 50㎛깊이침전되는것을특징으로 하는장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 회전자와 상기 고정자 극편들은 전기도금된니켈형성되는것을특징으로 하는장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 회전자는 그 외주변에기어이빨갖는것을특징으로 하는장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,기판에 대해 회전하도록 설치된 맞물림 기어열을 포함하는데, 그 기어들 중 하나는로터주변의기어이빨결합되는것을특징으로 하는장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 고정자 극편들은 회전자 주위에 서로 수직하게 정렬된 두개의 쌍으로 형성되고. 기판상에 강자성 물질로 형성되며 고정자 극편쌍들과 결합해 각쌍의 극편을 위한 플러스 귀로를 제공하는 플럭스 귀로 구조물을 포함하며;극편에 자기 플럭스를 공급하는 수단은 각 극편들 주위에 형성된 컨덕터를 포함하여 전류가 그 컨덕터에 공급되면 자기장을 내부에 유도하며, 극편들 주위에서 컨덕터들을 둘러싸는전기절연물질포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 절연 물질은 컨덕터들 아래에 있는 제1층과 컨덕터들 위에 있는 제2층을 지녀 컨덕터들을 위한 절연을 제공하는폴리이미드인것을특징으로 하는장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 절연 물질은 고정자 극편들의 안쪽 주변부에서 부터 안쪽으로 연장하여 회전자가 위에서 회전하는회전자용지지체제공하는것을특징으로 하는장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 회전자는 전기도금된강자성금속형성되는것을특징으로 하는미소 기계 회전자. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 금속은니켈인것을특징으로 하는미소 기계 회전자. [청구항 21] 제14항에 있어서,상기 도금 베이스는 얇은 티타늄층과 얇은니켈층포함하는것을특징으로 하는방법.