문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 고주파 전원과 상기 전력검출수단과의 사이에 삽입되고, 상기 고주파전력의 전송로의 임피던스 매칭을 하는 임피던스 정합수단으로 이루어지는플라즈마 처리장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 전력검출수단은 상기 고주파전력의 전송로에 결합되는 전류검출부 및 전압검출부포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 제어수단은 상기 전류검출부 및 전압검출부로부터의 각 출력을 승산하는 승산부와, 상기 승산부로부터의 출력에 의거하여 상기 고주파전력의 실효치를 연산하는실효치연산부를포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 실효치 연산부에 의하여 연산된 상기 고주파전력의 실행치를표시하는 표시수단으로 이루어지는플라즈마 처리장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,의 고주파전원과 상기제1및 제2의 전력검출수단과의 사이에 대응적으로 삽입되고, 상기 제1 및 제2 고주파전력의 각 전송로의 임피던스 매칭을 하는 제1 및 제2의 임피던스 정합수단으로 이루어지는플라즈마 처리장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기제1 및 제2의 전력검출수단은 각각 상기 제1 및 제2 고주파전력의 각 전송로에 결합되는 제1 및 제2의 전류 검출부 및 제2 및 제2의 전압검출부를 포하는플라즈마 처리장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 제어수단은 상기 제1 및 제2의 전류검출부 및 제1 및 제2의 전압검출부로부터의 각 출력을 대응적으로 승산하는 제1 및 제2의 승산부와, 상기 제1 및 제2의 승산부로부터의 각 출력에 의거하여 상기 제1 및 제2의 고수파전력의 실효치를 각각 별도로 연산하는 제1 및 제2의실효치연산부를포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기제1 및 제2의 실효치 연산부에 의하여 연산된 상기 제1 및 제2의 고주파전력의 실행치를 표시하는 표시수단으로 이루어지는플라즈마 처리장치.
[청구항 11]
제6항에 있어서,상기 제어수단을 통하여 상기 제1 및 제2의 고주파전원으로부터 출력되는 상기 제1 및 제2의 고주파전력간의 위상차를 소정의 값으로 제어하는 위상제어수단으로 이루어지는플라즈마 처리장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 위상제어수단은 상기 제1 및 제2의 임피던스 정합수단의 각 출력을 모니터하면서 상기 제1 및 제2의 고주파 전력간의 위상차를 제어하는 수단포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 13]
제6항에 있어서,상기 제어수단은 상기 제1및 제2의 전극에 인가되는 상기 제1 및 제2의 고주파전력간의 비율을 소정의 값으로 가변 설정하는 수단포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 고주파전원과 상기 전력분할수단과의 사이에 삽입되고, 상기 고주파전력의 전송로의 임피던스매칭을 하는 임피던스 정합수단으로 이루어지는플라즈마 처리장치.
[청구항 16]
제15항에 있어서,상기제1및 제2의 전력검출수단은 각각 상기제1 및 제2고주파전력의각 전송로에 결합되는 제1 및 제2의 전류 검출부 및 제1 및 제2 전압검출부포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 17]
제16항에 있어서,상기 제어수단은 상기 제1 및 제2의 전류검출부 및 제1 및 제2의 전압검출부로부터의 각 출력을 대응적으로 승산하는 제1및 제2의 승산부와, 상기 제1 및 제2의 승산부로부터의 각 출력에 의거하여 상기 제1 및 제2의 고주파전력의 실효치를 각각 별개로 연산하는 제1 및 제2의실효치연산부를포함하는플라즈마 처리장치.
[청구항 18]
제17항에 있어서,상기제1 및 제2의 실효치 연산부에 의하여 연산된 상기 제1 및 제2의 고주파전력의 실행치를 표시하는 표시수단으로 이루어지는플라즈마 처리장치.
[청구항 19]
제14항에 있어서,상기전력분할수단은 트랜스를 포함하고, 이 트랜스는 1차측에 상기 고주파 전원으로부터의 상기 소정의 고주파전력이 인가됨과 동시에, 중점이 어어스된 2차측 양끝단으로부터 서로 180도의 위상차를 가지는 상기 제1 및 제2의 고주파전력출력하는플라즈마 처리장치.
[청구항 20]
제19항에 있어서,상기 트랜스의 온도를 검출하는 온도센서와, 상기 온도센서로부터의 출력이 소정치 이상으로 되었을때, 상기 제어 수단을 통하여 상기 고주파 전원으로부터의 전력공급을 정지하기 위한 인터록신호를 출력하는 온도검출회로로 이루어지는플라즈마 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리장치에서 제어수단이 고주파전력의 실효치를 연산하기 위해 수행하는 구체적인 단계와 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마 처리장치의 제어수단이 고주파전력의 실효치를 연산하기 위해 사용하는 구성 요소와 수행 단계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4를 통해 제어수단에 승산부와 실효치연산부가 포함됨을 확인하고, 청구항 3을 통해 입력 데이터인 전류검출부와 전압검출부를 확인한다.
- 상기 제어수단은 상기 전류검출부 및 전압검출부로부터의 각 출력을 승산하는 승산부와, 상기 승산부로부터의 출력에 의거하여 상기 고주파전력의 실효치를 연산하는실효치연산부를포함
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3근거 선택
evidence_selection제어수단의 구성 요소인 승산부와 실효치연산부, 그리고 연산 과정인 전류/전압 출력의 승산 및 그 결과에 따른 실효치 연산 구절을 선택한다.
- 상기 전류검출부 및 전압검출부로부터의 각 출력을 승산하는 승산부와, 상기 승산부로부터의 출력에 의거하여 상기 고주파전력의 실효치를 연산하는실효치연산부
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4논리 통합
logical_integration전류검출부와 전압검출부에서 나온 출력을 승산부가 승산하고, 그 결과값을 바탕으로 실효치연산부가 실효치를 연산하는 절차적 흐름을 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제어수단은 승산부와 실효치연산부로 구성되며, 전류검출부 및 전압검출부의 출력을 승산한 후 그 출력에 의거하여 실효치를 연산한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구성 요소와 단계를 명확히 구분하여 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
플라즈마 처리장치의 제어수단은 승산부와 실효치연산부로 구성된다. 구체적인 단계는 전류검출부 및 전압검출부로부터의 각 출력을 승산부가 승산하고, 승산부로부터의 출력에 의거하여 실효치연산부가 고주파전력의 실효치를 연산하는 과정을 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
전류 및 전압 검출부의 출력값을 승산하여 고주파전력의 실효치를 산출하는 제어수단의 구성 및 연산 메커니즘에 관한 기술이다.