반송장치 document_id 1019920015418

[청구항 1] 밀폐된 제1공간을 규정하는 용기(housing)(1)와, 상기 용기(1)에 형성된 개구부(45)와, 상기 용기(1)내에 배열설치된 반송아암(2)과 상기 아암(2)은 상기 개구부(45)를 통하여 상기 용기(1)바깥으로 뻗어나오는 것이 가능한 가동부를 포함하는 것과, 상기 아암(2)의 상기 가동부에 배열설치된 피처리체 유지부와, 상기 피처리체 유지부가 피처리체를 간격을 두고 배치하는 여러개의 유지홈(3a)을 가지는 것과, 상기 개구부(45)를 밀폐식으로 개폐하는 개폐수단(46)와, 상기 용기(1)내에 배열설치되고 또 상기 유지부에 세정액을 분사하는 세정수단(11)과, 상기 용기(1)내에 배열설치되고 또 상기 유지부에 건조기체를 분사하는 건조수단(12)과, 상기 세정수단 및 건조수단을 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재를 작동위치와 후퇴위치사이에서 이동시키는 위치변환수단(13)과 상기 지지부재를 상기 유지부를 따라서, 또 상기 유지홈(3a)과 직교하는 방향으로 이동시키는 이동수단을 구비하는 여러 개의 웨이퍼 형상의 피처리체를 반송하는 반송장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 위치변환수단(13)이 상기 지지부재를 회전시키므로서 위치변환하는반송장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 건조수단(12)이 상기 지지부률 끼워서 위치하는 한쌍의 분사구를 구비하고, 상기 한쌍의 분사구가 상기 유지홈(3a)의 양단부배향되는반송장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 유지부가 상기 유지홈(3a)에 형성되고 상기 웨이퍼 형상의 피처리체의 하부 양측을 유지하는 한 쌍의 봉체를 구비하며, 상기 봉체가 대략 3자형의 단면형상을 가지며, 상기 유지홈(3a)은 상기 3각형의 한변따라서형성되는반송장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 건조수단(12)이, 상기 양 봉체를 끼워서 위치하는 두 쌍의 분사구를 구비하고, 상기 두 쌍의 분사구가 각각의 상기 유지홈(3a)의 양단부배향되는반송장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 위치변환수단(13) 및 상기 이동수단이 용기(1)에 부착된 구동원을 구비하며, 상기지지부재가 동축 샤프트를 통하여 상기 구동원접속되는반송장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 지지체에 상기 유지부를 가열하기 위한 적외선 램프가 배열설치되는반송장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 제2공간을 양압상태로 유지하는 가압수단더욱 포함하는반송장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 셔터(46)가 상기 용기(1)의 상기 개구부가 형성된 벽을 따라서 슬라이드 가능하게 배열설치되며, 상방위치에서 상기 개구부를 폐쇄하고, 하방위치에서 상기 개구부개방하는반송장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 셔터(46)와 상기 구동수단을 연결하는 연결축(55)과, 상기 제2공간으로부터 뻗어나온 상기 연결축(55)을 작동가능하게 포위하는 안내축받이(57)와, 상기 연결축(55)과 상기 안내축받이 하게 포위하는 안내축받이(57)와, 상기 연결축(55)과 상기 안내축받이(57)사이에 밀폐된 제3공간을 형성하도록 상기 안내축받이(57)내의 상하에 각각 배열설치된 한 쌍의 시일부재더욱 구비하는반송장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 제3공간을 양압상태로 유지하는 가압수단과, 상기 제3공간에 연결되어 통하도록 상기 안내축받이(57)에 형성된 배기구더욱 포함하는반송장치. [청구항 13] 제10항에 있어서,상기 용기(1)의 상기 개구부가 형성된 벽이 케이스(47)에 의하여 규정되며, 상기 케이스(47)는 상부에서 상기 제2공간을 하부에서 상기 셔터(46)를 수납하는 제4공간규정하는반송장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 제4공간의 상부에서 상기 케이스(47)에 상기 개구부를 따라서 에어커텐을 형성하기 위한 에어공급수단이 배열설치되는반송장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 제4공간의 상부에서 상기 케이스(47)에 상기 셔터(46)에 세정수를 붓기 위한 세정수 공급수단이 배열설치되며, 상기 케이스(47)의 저부에 상기 제4공간에 연결되어 통하는 배기구멍 및 배기액용 구멍형성되는반송장치.