문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 가동처리탱크가 처리탱크 배설부의 바닥부에 배설된 한쌍의 안내샤프트에 미끄럼이동이 자유롭게 끼워맞춤된 미끄럼이동부를 가진 가동대 상에 배치되고, 이 가동대에 안내용 긴구멍을 형성하여 미끄럼이동이 가능하도록 미끄럼이동핀을 끼워맞추는 동시에, 이 미끄럼이동핀을 조작아암(34)의 한쪽 끝단에 연결하고, 이 조작아암(34)의 다른쪽 끝단을 정역회전이 가능한구동모터연결한것을특징으로 하는세정처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 가동처리탱크의 개구 가장자리에오버플로우용홈형성한것을특징으로 하는세정처리장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 격벽을 수직방향으로 이동조절이 자유롭게 한 것특징으로 하는세정처리장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 가동처리탱크에 접속된처리액공급관더욱포함하여구성되는세정처리장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 가동처리탱크를 수용하는 처리탱크 배설부(22)와, 이 배설부(22)의 측벽과 가동처리탱크 사이의 틈을 차폐하는수단더욱포함하여구성되는세정처리장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 차폐수단은 신축이 자유로운 셔터포함하고 있는세정처리장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 가동처리탱크를 수용하는 처리탱크 배설부(22)와, 이 처리탱크 배설부(22)에 접속된처리액배출관더욱포함하여구성되는세정처리장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 가동처리탱크 내에 설치된피처리체지지수단더욱포함하여구성되는세정처리장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 피처리체 지지수단은 여러개의홈가지는있는세정처리장치.
[청구항 11]
제9항에 있어서,피처리체를 상기 지지수단으로 이송시키기 위한웨이퍼반송수단더욱포함하여구성되는세정처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
세정처리장치에서 가동처리탱크의 미끄럼 이동을 구현하기 위해 조작아암과 연결되어 가동대에 형성된 안내용 긴구멍에 끼워맞춰지는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation세정처리장치의 가동처리탱크 미끄럼 이동을 위해 조작아암과 연결되어 가동대의 안내용 긴구멍에 끼워맞춰지는 구성요소를 찾는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 가동대에 형성된 안내용 긴구멍, 조작아암의 연결, 미끄럼 이동과 관련된 구성요소 정보를 추출한다.
- 가동대에 안내용 긴구멍을 형성하여 미끄럼이동이 가능하도록 미끄럼이동핀을 끼워맞추는 동시에, 이 미끄럼이동핀을 조작아암(34)의 한쪽 끝단에 연결하고
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '조작아암과 연결'되고 '안내용 긴구멍에 끼워맞춰지는' 구성요소에 해당하는 구절을 선택한다.
- 미끄럼이동핀을 끼워맞추는 동시에, 이 미끄럼이동핀을 조작아암(34)의 한쪽 끝단에 연결하고
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4논리 통합
logical_integration가동대의 안내용 긴구멍에 끼워맞춰지며 동시에 조작아암의 한쪽 끝단에 연결되는 구성요소는 '미끄럼이동핀'임을 확인한다.
- 미끄럼이동핀을 끼워맞추는 동시에, 이 미끄럼이동핀을 조작아암(34)의 한쪽 끝단에 연결하고
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 '미끄럼이동핀'을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정답인 '미끄럼이동핀'을 최종 답변으로 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
미끄럼이동핀
핵심 해석 (core_interpretation)
조작아암과 연결된 미끄럼이동핀이 가동대의 안내용 긴구멍에 끼워맞춰짐으로써 가동처리탱크의 미끄럼 이동을 구현하는 기술적 구성에 관한 것이다.