문맥 (context)
[청구항 5]
제4항에 있어서,플라즈마 발생부의 하부에 설치된 시료대와, 상기 플라즈마 발생부의 상부에 설치된대향전극또구비하고있는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 고주파 교류공급수단은, 각 출력단자가 상기 복수의 전극의 각각에 접속되어 있고 교류를 발생하는마그네트론인것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
[청구항 7]
제4항에 있어서,상기 고주파 교류공급수단은, 주파수가 동일하고 위상이 다른 고주파전력을 출력하는 고주파교류전력원과, 상기 고주파 교류전력원으로부터 출력된 고주파전력을 증폭해서 상기 복수의 전극에 공급하는고주파 교류증폭장치있는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 고주파 교류전력원은 교류를 발생하는 마그네트론이며, 상기 고주파 교류증폭장치는, 각 입력단자가 상기 마그네트론의 각 출력단자에 접속되고 각 출력단자가 상기 복수의 전극의 각각에 접속되어 있는앰플리트론인것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 플라즈마 발생부의 하부에 설치된 시료대와, 상기 플라즈마 발생부의 상부에 설치된대향전극또구비하고있는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
[청구항 11]
제9항에 있어서,상기 고주파 교류공급수단은, 각 출력단자가 상기 3개의 전극의 각각에 접속되어 있는3상마그네트론인것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
[청구항 12]
제9항에 있어서,상기 고주파 교류공급수단은, 주파수가 동일하고 위상이 120°씩 다른 고주파전력을 출력하는 고주파 교류전력원과, 상기 고주파 교류전력원으로부터 출력된 고주파 전력을 증폭해서 상기 3개의 전극에 각각 공급하는고주파 교류증폭장치있는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 고주파 교류전력원은 3상 마그네트론이며, 상기 고주파 교류증폭장치는, 각 입력단자가 상기 3상 마그네트론의 각 출력단자에 접속되고 각 출력단자가 상기 3개의 전극의 각각에 접속되어 있는3상앰플리트론인것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 플라즈마 발생부의 하부에 설치된 시료대와, 상기 플라즈마 발생부의 상부에 설치된대향전극또구비하고있는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
[청구항 16]
제14항에 있어서,상기 4개 이상의 전극의 나는 짝수이며, 상기 고주파 교류공급수단은, 각 출력단자가 상기 4개 이상의 전극의 각각에 접속되고 있는단상마그네트론인것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
[청구항 17]
제14항에 있어서,상기 고주파 교류공급수단은, 주파수가 동일하고 위상이 순차적으로 다른 고주파전력을 출력하는 고주파 교류전력원과, 상기 고주파 교류전력원으로부터 출력된 고주파전력을 증폭해서 상기 4개 이상의 전극에 각각 공급하는고주파 교류증폭장치있는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
[청구항 18]
제17항에 있어서,상기 4개 이상의 전극의 수는 짝수이며, 상기 고주파 교류전력원은 단상 마그네트론이며, 상기 고주파 교류증폭장치는, 각 입력단자가 상기 단상 마그네트론의 각 출력단자에 접속되어 각 출력단자가 상기 4개 이상의 전극의 각각에 접속되어 있는단상앰플리트론인것을특징으로 하는플라즈마 발생장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제9항을 인용하는 플라즈마 발생장치에서, 고주파 교류전력원과 고주파 교류증폭장치를 통해 3개의 전극에 고주파 전력을 공급할 때, 고주파 교류전력원이 출력하는 고주파 전력의 주파수 특성과 위상 차이는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제9항을 인용하는 플라즈마 발생장치에서 고주파 교류전력원이 출력하는 고주파 전력의 주파수 특성과 위상 차이를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction제9항을 인용하면서 3개의 전극에 고주파 전력을 공급하는 구성은 청구항 12항에 기술되어 있다.
- 제9항에 있어서,상기 고주파 교류공급수단은, 주파수가 동일하고 위상이 120°씩 다른 고주파전력을 출력하는 고주파 교류전력원과, 상기 고주파 교류전력원으로부터 출력된 고주파 전력을 증폭해서 상기 3개의 전극에 각각 공급하는고주파 교류증폭장치있는것을특징으로 하는플라즈마 발생장치
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3근거 선택
evidence_selection청구항 12항에서 주파수와 위상에 관한 직접적인 문구를 선택한다.
- 주파수가 동일하고 위상이 120°씩 다른 고주파전력을 출력하는 고주파 교류전력원과, 상기 고주파 교류전력원으로부터 출력된 고주파 전력을 증폭해서 상기 3개의 전극에 각각 공급하는고주파 교류증폭장치있는것을특징
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4논리 통합
logical_integration청구항 12항의 내용을 바탕으로 주파수는 동일하며, 위상은 120°씩 차이가 난다는 사실을 결합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation고주파 교류전력원이 출력하는 고주파 전력은 주파수가 동일하고 위상이 120°씩 다르다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
주파수가 동일하고 위상이 120°씩 다르다.
핵심 해석 (core_interpretation)
3개의 전극에 고주파 전력을 공급하는 플라즈마 발생장치에서, 고주파 교류전력원은 동일한 주파수를 가지면서 위상이 120°씩 차이 나는 전력을 출력하여 전력을 공급한다.