가스레이저 장치 document_id 1019930005378

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 유전 셸이 장방형 횡단면을 갖는 유전체로 된 용기로 구비하고, 상기 용기가, 이 용기의 내부공간을, 상기 레이저가스의 흐름에 수직인 방향으로 뻗은, 제1공간과 제2공간으로 분할하는 격벽을 구비하고 있고, 상기 전극부가 상기 제1공간내에 설치돼 있고, 상기 용량커플링 제어부가 상기 제2공간으로구성있는것을특징인가스 레이저 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 전극부가, 금속 전극과, 냉매를 유통시켜 상기 제1공간내의 상기 금속전극을 냉각하는냉각수단구비한것특징인가스레이저 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 용기가 그 길이 방향의 말단위치에 공기실을 구비하고 있고, 상기 공기실이 밀폐부재를 통하여 상기 제1공간에 결합돼 있고, 상기 제1공간내의 상기 금속전극의 단부가, 상기 밀폐부재로부터 상기 공기실까지 관통돼 있고, 상기 고주파 전원에 접속된 리드 와이어에접속있는것특징인가스레이저 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 유전셸이, 장방형 횡단면을 갖는 유전체로된 용기를 구비하고 있고, 상기 전극부가 상기 방전 갭에 대향하는 상기 용기 내벽상에 파이프형 금속전극을 구비하고 있고, 상기 용량커플링 제어부가, 상기 용기내의 상기 전극부 둘레에 형성된 공간으로 구성돼 있고, 상기 전극부가, 냉매를 유통시켜 상기 파이프형 금속전극내부를 냉각하는냉각수단구비하고있는것을특징인가스 레이저 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 유전 셸이, 상기 방전갭과 대향하는 그의 표면이, 상기 방정 갭내의 상기 레이저가스의 흐름에 상응하는 평탄형상을 갖고 있는구성으로된것특징인가스레이저 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 전극이 하기식을 만족하는 구성을 된 것이 특징인 가스 레이저 장치 : d1-i1≤-(25-2×d2)/w(상기 식중, w는 상기 용량커플링제어부의 폭이고, d1은, 상기 용량커플링제어부와 상기 방전갭에 대향하는 상기 유전셸의 표면간의 거리이고, d2는, 상기 용량커플링 제어부와, 상기 방전 갭대향하는상기 유전셸의 반대면간의 거리이다.) [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 용량 커플링 제어부가, 공간 쌍으로 구성돼 있고, 상기 공간 각각이, 상기 유전 셸로 둘러싸여 있고, 상기 전극부가 상기 공간 쌍간에 배치돼 있고, 상기 방전 갭과 대향하는 그의 표면이 상기 유전셸로 둘러싸여있는것특징인가스레이저 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 전극부가, 금속 전극과, 냉매를 유통시켜 상기 금속전극을 냉각시키는냉각수단구비하고있는것특징인가스레이저 장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 공간쌍내에 절연가스가 채워져 있거나, 또는 그의 내부가 상기 레이저가스 분위기에접속있는것특징인가스레이저 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 절연가스의 압력pi가,상기레이저가스의압력이상인것특징인가스레이저 장치. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 용량커플링 제어부가 상기 전극부의 어느측에상기전극부의횡방향및종방향설치된것특징인가스레이저 장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 전극이 절연체에 의해 둘러싸인 금속전극이 상기 유전 셸을 통해서 상기 방전 갭과 대향하고 있고, 상기 전극부의 어느측에 1쌍의 공간이 설치돼 있고, 그들 각각이 상기 유전셸을 통해서 상기 방전갭과 대향하고 있고, 사이 용량커플링 제어부가상기공간들구성된것특징인가스레이저 장치.