프로우브 시스템 document_id 1019930015916

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 제어수단은 전체 시스템을 제어하기 위한 cpu와, 상기 반송기구를 제어하기 위한 반송기구 제어부와, 상기 프로우브장치내로의 피검사체의 로딩 및 언로딩을 제어하기 위한 프로우브장치 제어부 및, 상기 처리수단에 의한 피검사체의 로딩 및 언로딩을 제어하기 위한처리수단제어부포함하여구성되는프로우브 시스템. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 처리수단은 마킹된 피검사체를 베이크하고 건조하기 위한 베이킹장치와, 상기 마킹장치에 의하여 마킹된 피검사체의 부분을 검지 및 시험하기 위한검사장치더욱포함하여구성되는프로우브 시스템. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 프로우브 자치의 하나 이상은 피검사체에 열 스트레스 및 전기 스트레스를 가하는 번인(burn-in)테스트 기능가지는프로우브 시스템. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 유지수단은 피검사체를 포위하기 위하여 폐쇄되고 상기 반송로를 따라서 마련되는 포위부재를 가지며, 크린에어 또는 질소가스는 상기 포위부재로 공급되고, 피검사체는 상기 포위부재통과하는프로우브 시스템. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 반송기구는 검사될 다수개의 피검사체를 놓기 위한 캐리어가지는프로우브 시스템. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 반송로는 상기 반송기구를 안내하기 위한 레일가지는프로우브 시스템. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 반송로는 그를 통하여 피검사체가 반송되는 통형상 부재가지는프로우브 시스템. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 반송기구는 크린에어 또는 질소가스를 상기 통형상 부재로 공급하고, 가스 또는 크린에어의 흐름으로 피검사체반송하는프로우브 시스템. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 제어수단은 피검사체의 반송을 제어하기 위한 제1제어부와, 상기 프로우브 장치로부터의 검사결과 및 상기 처리수단으로부터의 처리결과의 정보를 받고 그 정보의 기초하에 상기 처리수단 및 상기 프로우브장치를 제어하는 제2 제어부가지는프로우브 시스템. [청구항 12] 제11항에 있어서,대기압보다 높은 압력을 가지는 크린에어 또는 질소가스의 분위기에서 상기 루프형상의 반송로를 따라서 반송된 피검사체를 유지하기 위한유지수단더욱포함하여구성되는프로우브 시스템. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 유지수단은 피검사체를 포위하기 위하여 폐쇄되고 상기 반송로를 따라서 마련되는 포위부재를 가지며, 크린에어 또는 질소가스는 상기 포위부재로 공급되고, 피검사체는 상기 포위부재통과하는프로우브 시스템. [청구항 14] 제11항에 있어서,상기 처리수단은 피검사체의 불량개소를 마킹하기위한 마킹장치 및 피검사체의 불량개소를 수리하기 위한 리페어장치포함하는프로우브 시스템. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 처리수단은 마킹된 피검사체를 베이크하고 건조하기 위한 베이킹장치와, 상기 마킹장치에 의하여 마킹된 피검사체의 부분을 검지 및 시험하기 위한검사장치더욱포함하여구성되는프로우브 시스템. [청구항 16] 제11항에 있어서,상기 프로우브 장치의 하나 이상은 피검사체에 열스트레스 및 전기 스트레스를 가하는 번인(burn-in)테스트 기능가지는프로우브 시스템. [청구항 17] 제11항에 있어서,상기 반송기구는 검사될 다수개의 피검사체를 놓기 위한 캐리어가지는프로우브 시스템. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 반송로는 상기 반송기구를 안내하기 위한 레일가지는프로우브 시스템. [청구항 19] 제11항에 있어서,상기 반송로는 그를 통하여 피검사체가 반송되는 통형상 부재가지는프로우브 시스템. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 반송기구는 크린에어 또는 질소가스를 상기 통형상 부재로 공급하고, 가스 또는 크린에어의 흐름으로 피검사체반송하는프로우브 시스템. [청구항 21] 제11항에 있어서,상기 제어수단은 피검사체의 반송을 제어하기 위한 제1제어부와, 상기 프로우브 장치로부터의 검사결과 및 상기 처리수단으로 부터의 처리결과의 정보를 받고 그 정보의 기초하에 상기 처리수단 및 상기 프로우브장치를 제어하는 제2 제어부가지는프로우브 시스템. [청구항 22] 제12항에 있어서,상기 제어수단은 전체 시스템을 제어하기 위한 cpu와, 상기 반송기구를 제어하기 위한 반송기구 제어부와, 상기 프로우브장치내로의 피검사체의 로딩 및 언로딩을 제어하기 위한 프로우브장치 제어부 및, 상기 처리수단에 의한 피검사체의 로딩 및 언로딩을 제어하기 위한처리수단제어부포함하여구성되는프로우브 시스템. [청구항 23] 제11항에 있어서,다수개의 프로우브장치와 처리수단의 하나이상은 루프형상의 반송로의 내부형성되는프로우브 시스템. [청구항 25] 제24항에 있어서,상기 제어수단은 전체 시스템을 제어하기 위한 cpu와, 상기 반송기구를 제어하기 위한 반송기구 제어부와, 상기 프로우브장치 내로의 피검사체의 로딩 및 언로딩을 제어하기 위한 프로우브장치 제어부 및, 상기 처리수단에 의한 피검사체의 로딩 및 언로딩을 제어하기 위한처리수단제어부포함하여구성되는프로우브 시스템. [청구항 26] 제24항에 있어서,상기 처리수단은 마킹된 피검사체를 베이크하고 건조하기 위한 베이킹장치와, 상기 마킹장치에 의하여 마킹된 피검사체의 부분을 검지 및 시험하기 위한검사장치더욱포함하여구성되는프로우브 시스템. [청구항 27] 제24항에 있어서,상기 프로우브 장치의 하나 이상은 피검사체에 열스트레스 및 전기 스트레스를 가하는 번인(burn-in)테스트 기능가지는프로우브 시스템. [청구항 28] 제24항에 있어서,상기 유지수단은 피검사체를 포위하기 위하여 폐쇄되고 상기 반송로를 따라서 마련되는 포위부재를 가지며, 크린에어 또는 질소가스는 상기 포위부재로 공급되고, 피검사체는 상기 포위부재통과하는프로우브 시스템. [청구항 29] 제24항에 있어서,상기 반송기구는 검사될 다수개의 피검사체를 놓기 위한 캐리어가지는프로우브 시스템. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 반송로는상기반송기구안내하기위한레일 가지는프로우브 시스템. [청구항 31] 제24항에 있어서,상기 반송로는 그를 통하여 피검사체가 반송되는 통형상 부재가지는프로우브 시스템. [청구항 32] 제24항에 있어서,상기 제어수단은 피검사체의 반송을 제어하기 위한 제1제어부와, 상기 프로우브 장치로부터의 검사결과 및 상기 처리수단으로 부터의 처리결과의 정보를 받고 그 정보의 기초하에 상기 처리수단 및 상기 프로우브장치를 제어하는 제2 제어부가지는프로우브 시스템.