프로우브 장치 document_id 1019930016787

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 전달수단이, 테스터에 접속된 테스트헤드(36)와, 테스트 헤드(36)에 부착되고, 상기 전원전위 및 신호를 상기 프로우브 카드(20)에 전달하기 위한 여러 개의 포고핀(34)을 포함하는 포고핀링(32)파, 상기 주회로 보드에 설치되고 또한 상기 배선에 접속하는 포고 고정부(26)와, 상기 포고 고정부(26)는 상기 포고핀(34)에 대응해서 배치되고, 상기 포고핀(34)과 부착하거나 떼어내는 것이자유접촉하는것을구비하는프로우브 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 프로우브카드(20)가 고정되고, 상기 테스트헤드(36) 및 포고핀링(32)이 일체적으로 상기 프로우브 카드(20)에 대해서 접근하거나 떨어지는 이동이 가능하며, 상기 지지수단이 상기 기판과 함께 상기 프로우브 카드(20)에 대해서 접근하거나 떨어지는 이동가능한프로우브 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 프로우브 침이 기준전위용 침을 구비하고, 상기 배선이 제4중계수단을 통해서 상기 기준전위용 침에 접속된 배선을 구비하며, 상기 전달수단이 이 배선에 상기 직류전원의 기준전위를 전달하는 기능더욱 구비하는프로우브 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 제2중계수단이 하나의 퓨즈와 여러개의 상기 전원전위용 침접속하는장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 퓨즈 유지수단이 지주를 통해서 상기 주회로보드상방으로떨어져설치되는장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 부착수단이 상기 지주의 상부에 고정된 저판(68)을 구비하는 것과, 상기 제2중계수단이, 상기 퓨즈와 대응해서 상기 저판(68)에 부착되고 또한 탄성가동 단자(108)를 가지는 여러 개의 포고핀(102)을 구비하는 것과, 상기 퓨즈유지수단이, 상기 퓨즈를 수납하는 보어(96)를 가짐과 동시에 상기 저판(68)에 탈착이 자유롭게 부착되는 퓨즈트레이와, 상기 보어(96)의 상부는 상기 퓨즈를 삽입하기 위해서 뚫린 것과, 상기 보어(96)의 저부는 상기 가동단자(108)가 상기 보어(96)내로 침입하는 통로에 연결되어 통하는 것과, 상기 트레이(66)의 상부를 폐쇄하는 덮개(64)를 구비하는 것과, 상기 제1중계수단이, 상기 퓨즈와 대응해서 상기 덮개체의 아래면에 설치된 덮개 단자를 구비하는 것과, 상기 퓨즈는 상하에 단자(108)를 구비하는 것과, 여기에서, 상기 퓨즈는 상기 저판(68)에 상기 트레이(66) 및 덮개(64)가 부착된 상태에서, 상기 가동단자(108)와 상기 덮개 단자와의 사이에탄성적지지되는것을구비하는프로우브 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 덮개 단자가 돌출형상 범프이루어지는프로우브 장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 주회로 보드가 개구를 가지며, 상기 프로우브 침이 상기 쥐회로 보드에 대해서 실질적으로직각상기걔구를관통하는프로우브 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 제2중계수단이 상기 회로보드와 상기 퓨즈 유지수단과의 사이에서 상기 지주(46)에 지지된 중계회로 보드구비하는프로우브 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 전원전위용 침의 기초단이 상기 중계회로 보드접속되는프로우브 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 제4중계수단이 상기 주회로 보드와 상기 퓨즈유지수단과의 사이에서 상기 지주(46)에 지지된 별도의 중계회로 보드구비하는프로우브 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 기준전위용침의 기초단이 상기 중계회로 보드접속되는프로우브 장치. [청구항 14] 제7항에 있어서,상기 프로우브 침의 기초부가, 상기 주회로 보드의 상기 지지수단에 면하는 측에 고정되고, 상기 프로우브 침의 선단이 자유단으로서 상기 주회로 보도의 실질적인중앙집중하도록배치되는프로우브 장치. [청구항 15] 제7항에 있어서,상기 프로우브 침의 선단 근방의 온도를 검출하는 검출부재와, 상기 검출부재에 의한 상기 프로우브 침의 측정온도가 기준온도 이상으로 된 경우에 검사를 중지하는 수단더욱 구비한프로우브 장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 검출부재가 적외선 카메라포함하는프로우브 장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 냉각용 기체를, 상기 지지수단으로 향하지 않는 방향으로 상기 포위수단에 의해서 배출하는 수단더욱 포함하는프로우브 장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 냉각용 기체가 상기 포위수단내에 그 하부로 부터 도입되고, 상부배출되는프로우브 장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 포위수단내에서 상기 프로우브 침의 온도를 검출하는 검출수단과, 상기 검출수단에 의한 측정온도에 의거해서 상기 냉각용 기체의 공급과 정지를 제어하는 수단더욱 포함하는프로우브 장치.