소수화처리방법및장치 document_id 1019930021321

[청구항 20] 제19항에 있어서,상기 지지수단은 상기 기판을 얹어놓기 위한 얹어놓는대를 구비하며, 상기 얹어놓는대는 상기 온도조절수단을 수용하고상기처리용기내설치되는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 온도조절수단은 상기 얹어놓는대에 설치된 히이터와냉각통로포함하는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 22] 제20항에 있어서,상기 처리조건 중 하나는 상기 처리온도이며, 상기 온도조절수단은 상기 제어수단에 연결되어 그것에 의해서 제어되며, 상기 제어수단은 상기 온도조절수단을 통하여 처리액 농도의 측정치가 상기 설정치보다 낮은 경우 상기 처리온도를 높이고, 상기 측정치가 상기 설정치보다 높은경우상기처리온도낮추는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 23] 제20항에 있어서,적어도 하나의 처리조건은 처리시간이며, 상기 제어수단은 상기 측정치가 상기 설정치보다 낮은 경우 상기 처리시간을 길게 하고, 상기 측정치가 상기 설정치보다 높은경우상기처리시간하는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 제어수단은 처리용기 내의 처리혼합가스 도입을 정지시킴으로써상기처리시간제어하는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 25] 제20항에 있어서,액체 상태의 처리액을 담은 탱크와, 상기 가스 도입관 내에 상기 캐리어 가스를 유입하기 위한 제1 및 제2유로를 부가적으로 포함하며, 상기 제1유로는 상기 캐리어 가스의 일부분이 버블로서 상기 처리액을 통과하여 증기를 인출하도록 상기 탱크에 연결되고, 상기 제2유로는 상기 캐리어 가스가 상기 가스 도입관 내에 유입되기 전에 상기 캐리어 가스의 다른 부분이 상기 처리액 내를 통과하지 않고 인출된 처리액 증기를 희석하도록설치되는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 제2유로에 설치되고 상기 제어수단에 연결된 유량제어밸브를 부가적으로 포함하며, 상기 제어수단은 상기 유량제어밸브를 제어하여 상기 제2유로로 흐르는 캐리어 가스의 유량을 조정함으로써상기처리혼합가스중의상기처리액의농도변경하는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 27] 제19항에 있어서,상기 처리액nan은헥사메틸산인것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 28] 제19항에 있어서,상기 캐리어 가스는질소인것을특징으로 하는수소화처리 장치. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 지지수단은 상기 기판을 얹어놓기 위한 얹어놓는대를 구비하며, 상기 얹어놓는대는 상기 온도조절수단을 수용하고상기처리용기내설치되는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 31] 제30항에 있어서,상기 불활성 가스는 상기 캐리어 가스와 실질적으로 동일한가스인것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 32] 제31항에 있어서,상기 센서는 진동자와, 상기 진동자를 감싸는 합성 2 분자막을 구비하는 합성 2 분자막 센서를 포함하고, 상기 진동자의 진동수는 상기 배기가스 중의 상기 처리액의 농도를 측정하기 위해 상기 합성 2 분자막에 흡착되는 상기 처리액의 양에 따라변화되는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 33] 제29항에 있어서,상기 처리조건 중 하나는 상기 처리온도이며, 상기 온도조절수단은 상기 제어수단에 연결되어 그것에 의해서 제어되며, 상기 제어수단은 상기 온도조절수단을 통하여 처리액 농도의 측정치가 상기 설정치보다 낮은 경우 상기 처리온도를 높이고, 상기 측정치가 상기 설정치보다 높은경우상기처리온도낮추는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 34] 제29항에 있어서,적어도 하나의 처리조건은 처리시간이며, 상기 제어수단은 상기 측정치가 상기 설정치보다 낮은 경우 상기 처리시간을 길게하고, 상기 측정치가 상기 설정치보다 높은경우상기처리시간하는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 35] 제34항에 있어서,상기 제어수단은 처리용기 내의 처리혼합가스 도입을 정지시킴으로써상기처리시간제어하는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 36] 제29항에 있어서,액체 상태의 처리액을 담은 탱크와, 상기 가스 도입관 내에 상기 캐리어 가스를 유입하기 위한 제1 및 제2유로를 부가적으로 포함하며, 상기 제1유로는 상기 캐리어 가스의 일부분이 버블로서 상기 처리액을 통과하여 증기를 인출하도록 상기 탱크에 연결되고, 상기 제2유로는 상기 캐리어 가스가 상기 가스 도입관 내에 유입되기 전에 상기 캐리어 가스의 다른 부분이 상기 처리액 내를 통과하지 않고 인출된 처리액 증기를 희석하도록설치되는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 37] 제36항에 있어서,상기 제2유로에 설치되고 상기 제어수단에 연결된 유량제어밸브를 부가적으로 포함하며, 상기 제어수단은 상기 유량제어밸브를 제어하여 상기 제2유로로 흐르는 캐리어 가스의 유량을 조정함으로써상기처리혼합가스중의상기처리액의농도변경하는것을특징으로 하는소수화처리 장치. [청구항 38] 제29항에 있어서,상기 처리액nan은헥사메틸산인것을특징으로하는소수화처리 장치.