문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 베이스부재들을 관통하며 상기 받이부재들의 홈들 내에 개방된배출통로더구비함을특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,이부재들의 홈들과 연통되는 배출통로; 및 상기 배출통로와 연통되며 상기 처리조의 외부에 배치된흡착또는펌핑수단구비함을특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,이부재의 홈들간의 간격nan은세정용액의사용온도에따라특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,이부재는 상기 베이스부재 내로미끄럼결합됨을특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,이부재와 베이스부재 모두에 형성된 키홈들; 및 상기 키홈들에 삽입되어 상기 받이부재를 상기 베이스부재에 고정시키기 위한키부재들더구비함을특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 8]
제6항에 있어서,이부재를 상기 베이스부재에 고정하기 위한나사더구비함을특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 제1기판유지부가, 내식성·내열성 원료로 제조된 베이스부재들; 및 상기 베이스부재들에 부착되며 다수의 기판 지지홈들을 가지고, 상기 제1원료와 실질적으로 동일한 정도로 유연하거나 더 유연한 제2 원료로 제조된 받이부재들포함함을특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 척수단을 상기 보오트수단의 중심에 정렬하기 위한수단더구비함을특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 12]
제1항에 있어서,이부재는 폴리에테르에테르케톤제조됨을특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 14]
제1항에 있어서,상기 기판nan은실리콘제조됨을특징으로 하는기판 세정장치.
[청구항 15]
제1항에 있어서,상기 기판nan은소다석회글라스제조됨을특징으로 하는기판세정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판세정장치의 제1기판유지부는 어떤 구성요소들로 이루어져 있으며, 각 구성요소를 제조하는 데 사용되는 원료의 특성은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation기판세정장치의 제1기판유지부를 구성하는 요소와 각 요소의 원료 특성을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 9를 통해 제1기판유지부가 베이스부재들과 받이부재들로 구성됨을 확인하고, 각 원료의 특성을 추출한다.
- 상기 제1기판유지부가, 내식성·내열성 원료로 제조된 베이스부재들; 및 상기 베이스부재들에 부착되며 다수의 기판 지지홈들을 가지고, 상기 제1원료와 실질적으로 동일한 정도로 유연하거나 더 유연한 제2 원료로 제조된 받이부재들포함함을특징으로 하는기판세정장치
-
3근거 선택
evidence_selection제1기판유지부의 구성요소인 '베이스부재들'과 '받이부재들', 그리고 각각의 원료 특성인 '내식성·내열성' 및 '제1원료와 실질적으로 동일하거나 더 유연한 제2 원료'를 선택한다.
- 내식성·내열성 원료로 제조된 베이스부재들; 및 상기 베이스부재들에 부착되며 다수의 기판 지지홈들을 가지고, 상기 제1원료와 실질적으로 동일한 정도로 유연하거나 더 유연한 제2 원료로 제조된 받이부재들
-
4논리 통합
logical_integration베이스부재는 내식성 및 내열성을 가진 원료로 제조되며, 받이부재는 베이스부재의 원료와 유사하거나 더 유연한 제2 원료로 제조된다는 점을 결합한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation제1기판유지부는 베이스부재들과 받이부재들로 이루어져 있으며, 각 원료의 특성을 정리하여 답변을 구성한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구조화된 형식으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
{
"구성요소": [
{
"명칭": "베이스부재들",
"원료_특성": "내식성 및 내열성을 가진 원료"
},
{
"명칭": "받이부재들",
"원료_특성": "베이스부재의 원료(제1원료)와 실질적으로 동일한 정도로 유연하거나 더 유연한 제2 원료"
}
]
}
핵심 해석 (core_interpretation)
기판세정장치의 제1기판유지부는 내식성과 내열성을 갖춘 베이스부재와, 해당 베이스부재와 유사하거나 더 높은 유연성을 가진 받이부재의 조합으로 구성된다.