문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,스테이지 및 접촉부재의 상호간에 위치하고, 패드의 화상과 접촉부재의 화상과를각각 검출하는 광학계와, 이들 검출된 화상을 표시하는화상표시수단과가지는것이루어지는프로우브장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,또한 광학계를 디바이스회로의 배열을 따라서 이동시키는이동수단가지는것을이루어지는프로우브장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,광학계는 기판에 대하여 위치고정되어 있는프로우브장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,접촉부재는 z축방향으로 가요성을 가지는도전성의벨로즈부가지는것이루어지는프로우브장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,또한 벨로즈부의 선단에도전성의단자슬리브가지는것이루어지는프로우브장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,얼라이먼트수단은, 스테이지를 x축방향으로 스텝이동시키는프로우브장치.
[청구항 9]
제7항에 있어서,얼라이먼트수단은, 스테이지를 y축방향으로 스텝이동시키는프로우브장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,벨로즈부재의 선단에도전성의단자슬리브가지는것이루어지는프로우브장치.
[청구항 12]
제10항에 있어서,스테이지 및 접촉부재의 상호간에 위치하고, 패드의 화상과 접촉부재의 화상과를 각각 검출하는 광학계와, 이들 검출된 화상을 표시하는화상표시수단과가지는것이루어지는프로우브장치.
[청구항 13]
제11항에 있어서,광학계를 디바이스회로의 배열을 따라서 이동시키는이동수단가지는것이루어지는프로우브장치.
[청구항 14]
제11항에 있어서,광학계는 기판에 대하여 위치고정되어 있는프로우브장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
프로우브장치에서 광학계가 패드의 화상과 접촉부재의 화상을 각각 검출할 때, 광학계의 위치와 화상표시수단의 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation프로우브장치에서 광학계의 위치와 화상표시수단의 역할을 파악하는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2 및 12를 통해 광학계의 위치와 화상표시수단의 기능을 추출한다.
- 스테이지 및 접촉부재의 상호간에 위치하고, 패드의 화상과 접촉부재의 화상과를각각 검출하는 광학계와, 이들 검출된 화상을 표시하는화상표시수단과가지는것이루어지는프로우브장치
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3근거 선택
evidence_selection광학계의 위치(스테이지와 접촉부재 사이)와 화상표시수단의 역할(검출된 화상 표시)에 관한 구절을 선택한다.
- 스테이지 및 접촉부재의 상호간에 위치하고, 패드의 화상과 접촉부재의 화상과를각각 검출하는 광학계와, 이들 검출된 화상을 표시하는화상표시수단
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4논리 통합
logical_integration광학계는 스테이지와 접촉부재 사이에 위치하여 두 화상을 검출하며, 화상표시수단은 검출된 화상들을 표시하는 역할을 수행함을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation광학계의 위치는 스테이지와 접촉부재의 상호간이며, 화상표시수단의 역할은 검출된 패드의 화상과 접촉부재의 화상을 표시하는 것이다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
광학계는 스테이지 및 접촉부재의 상호간에 위치하며, 화상표시수단은 검출된 패드의 화상과 접촉부재의 화상을 표시하는 역할을 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 스테이지와 접촉부재 사이에 위치한 광학계를 통해 패드와 접촉부재의 화상을 각각 검출하고, 이를 화상표시수단으로 나타내는 프로우브장치에 관한 것이다.