문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 박막히이터를 상기 전자nan에미터구성하는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 전자에미터와 상기 콜렉터의 사이를 흐르는 전류를 상기 게이트에 인가하는 전압에 의해변화시키는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 게이트에 근접 배치되는 전자에미터의선단부첨예화하는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 게이트에 근접 배치하는 전자에미터의 선단부를, 동일 박막히이터에 대해복수개설치한것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 전자에미터에 슬리트설치하는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 콜렉터를 복수 근접시켜 배치하고, 상기 복수의 콜렉터에 흐르는 전자 전류의 크기로부터외부자계의크기및외부자계의방향검출하는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 콜렉터를 박막상으로구성하는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 콜렉터가 절연박막을 개재시켜복수층구성되어있는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 전자에미터의 표면에 볼록부를설치한것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 11]
제1항에 있어서,표면에 오목부를 형성한 실리콘 단결정칩을 커버로 하여, 상기 오목부를 포함하는 영역을 미소진공 영역실이 되도록 진공 봉지하며, 상기 전자에미터, 게이트 및 콜렉터의 전극을 절연 박막을 개재시켜 상기 미소진공 영역의 외부로 인출하도록구성한것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 13]
제12항에 있어서 상기 박막히이터를 상기 전자에미터구성하는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 14]
제12항에 있어서,상기 전자에미터와 상기 콜렉터 사이를 흐르는 전류를 상기 게이트에 인가하는 전압에 의해변화시키는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 15]
제12항에 있어서,상기 구멍의 중앙 부근에 배치하는 전자에미터의선단부첨예화하는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 16]
제12항에 있어서,상기 구멍의 중앙 부근에 배치하는 전자에미터의 선단부를 동일한 박막히이터에 대해복수개설치한것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 17]
제12항에 있어서,상기 전자에미터에 슬리트설치하는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 18]
제12항에 있어서,상기 전자에미터의 표면에 볼록부를설치하는것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
[청구항 19]
제12항에 있어서 표면에 오목부를 형성한 실리콘 단결정칩을 커버로 하여, 상기 오목부를 포함하는 영역을 미소진공 영역실이 되도록 진공 봉지하며, 상기 전자에미터, 게이트 및 콜렉터의 전극을 절연 박막을 개재시켜 상기 미소진공 영역의 외부로 인출하도록구성한것을특징으로 하는미소진공 디바이스.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
미소진공 디바이스에서 복수의 콜렉터에 흐르는 전자 전류의 크기를 이용하여 검출할 수 있는 정보는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation미소진공 디바이스에서 복수의 콜렉터에 흐르는 전자 전류의 크기를 통해 검출 가능한 정보를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 복수의 콜렉터에 흐르는 전자 전류의 크기와 관련된 기능을 확인한다.
- 상기 복수의 콜렉터에 흐르는 전자 전류의 크기로부터외부자계의크기및외부자계의방향검출하는것을특징으로 하는미소진공 디바이스
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 '외부자계의 크기 및 외부자계의 방향' 구절을 선택한다.
- 상기 복수의 콜렉터에 흐르는 전자 전류의 크기로부터외부자계의크기및외부자계의방향검출
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4논리 통합
logical_integration복수의 콜렉터에 흐르는 전류 크기를 이용하면 외부 자계의 크기와 방향을 알 수 있다는 논리적 연결을 확인한다.
- 상기 복수의 콜렉터에 흐르는 전자 전류의 크기로부터외부자계의크기및외부자계의방향검출
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5결론 도출
conclusion_formulation검출할 수 있는 정보는 외부자계의 크기 및 외부자계의 방향이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
외부자계의 크기 및 외부자계의 방향
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 복수의 콜렉터에 흐르는 전자 전류의 크기 변화를 이용하여 외부 자계의 크기와 방향을 검출하는 미소진공 디바이스에 관한 기술이다.