문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기제1의 지주는, 상기 피처리체를 상기 보우트에 수납할때의 삽입방향 정면에 위치하고, 상기 제2 및 제3 지주는, 상기 제1지주에 대해서 상기 삽입방향 앞쪽의 양측에 위치하며, 상기 제2 및 제3지주 사이의 공간을 통해서 상기 피처리체가삽입되는열처리용 보우트.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기제1, 제2 및 제3 지주는, 상기 피처리체를 지지하는 절결홈을 가지며, 이 절결홈을 한정하는 하면의 일부에 의해서 상기 피처리체가 지지되고, 이들 하부의 일부는 동일평면상위치하고 있는열처리용 보우트.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기제1, 제2 및 제3 지주에 형성된 상기 홈의 하면은, 상기 피처리체를 지지한 상태에서 피처리체의 둘레를 대략 3등분한 위치위치하고 있는열처리용 보우트.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기 홈의 하면은, 상기 보우트의 중심으로부터 방사방향을 향해서 높이형성되어 있는열처리용 보우트.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 절결홈은, 둥근구멍부와슬리트부에의해서구성되어 있는열처리용 보우트.
[청구항 7]
제5항에 있어서,상기 절결홈은,타원형의구멍부와슬리트부에의해서구성되어 있는열처리용 보우트.
[청구항 8]
제3항에 있어서,상기 절결홈의 아래면 둘레 가장자리부는, 단면이 원호형상으로 모있는열처리용 보우트.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기제2 및 제3의 지주는, 원호형상의 단면있는열처리용 보우트.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 보우트는, sic 또는 폴리실리콘형성되어 있는열처리용 보우트.
[청구항 11]
제1항에 있어서,상기 지주는 피처리체를 지지한 상태에서 피처리체에 가하여지는 응력이 최소가 되도록, 상기 바닥판의 둘레가장자리부에 배열설치되어 있는열처리용 보우트.
[청구항 12]
제1항에 있어서,상기제1의 지주에 대해서 제2 및 제3의 지주는, 각각 중심각이 대략 114.5도가 되도록, 배열설치되어 있는열처리용 보우트.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 3개의 지주는 , 제1, 제2및 제3의 지주로서 이루어지며, 제2 및 제3의 지주는, 제1의 지주의 양측에 각각 배열설치되어 있는열처리장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기제1의 지주는, 상기 피처리기판을 상기 보우트 수단에 수납할때에 삽입 방향 정면에 위치하고, 상기 제2 및 제3의 지주는 상기 제1의 지주에 대하여 상기 삽입방향 앞쪽의 양측에 위치하여, 상기 제1 및 제2의 지주사이의 공간을 통해서 상기 피처리기판삽입되는열처리장치.
[청구항 16]
제14항에 있어서,상기제1, 제2 및 제3의 지주는, 상기 피처리기판을 지지하는 절결홈을 가지며, 이 절격홈을 한정하는 아래면의 일부에 의해서 상기 피처리기판이 지지되고, 이들의 아래면 일부는 동일 평면상위치하고 있는열처리장치.
[청구항 17]
제14항에 있어서,상기제2 및 제3의 지주는, 상기 제1의 지주에 대해서 중심각이 105 내지 120도가 되도록각각상기바닥판위에세워서설치되어 있는열처리장치.
[청구항 18]
제16항에 있어서,상기 절결홈의 아래면은, 상기 보우트의 중심으로부터 방사방향을 향해서 높이형성되어 있는열처리장치.
[청구항 19]
제18항에 있어서,상기 절결홈은, 둥근 구멍부와 슬리트부구성되어 있는열처리장치.
[청구항 20]
제18항에 있어서,상기 절결홈은,타원형의구멍부와슬리트부에의해서구성되고 있는열처리장치.
[청구항 21]
제16항에 있어서,상기 절결홈의 아래면의 둘레 가장자리부는, 단면이 원호형상으로 모있는열처리장치.
[청구항 22]
제14항에 있어서,상기제2 및 제3의 지주는, 원호형상의 단면가지는열처리장치.
[청구항 23]
제13항에 있어서,상기 보우트는, sic 또는 폴리실리콘형성되어 있는열처리장치.
[청구항 24]
제13항에 있어서,상기 지주는, 피처리기판을 지지한 상태에서 피처리 기판에 가하여지는 응력이 최소가 되도록 상기 바닥판의 둘레가장자리부에 배열설치되어 있는열처리장치.
[청구항 25]
제14항에 있어서,상기제1의 지주에 대한 제2 및 제3의 지주는, 각각 중심각이 대략 114.5도배설되어 있는열처리장치.
[청구항 27]
제26항에 있어서,상기 지지수단은 바닥판과 천정판 및 3개의 지주를 구비하고, 이들 3개의 지주는 피처리 기판을 상기 반입수단에 수납하였을 때에, 피처기판의 둘레를 대략 3등분하는 위치에 배열설치되어 있는열처리장치.
[청구항 28]
제27항에 있어서,상기 3개의 지주중 2개는, 나머지 1개의 지주에 대해서 중심각이 105 내지 120도가 되도록 그 양측의 위치에서상기바닥판위에세워서설치되어 있는열처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
열처리장치에서 제1, 제2 및 제3 지주가 피처리기판을 지지하는 절결홈을 가질 때, 이 절결홈의 아래면은 보우트의 중심으로부터 어느 방향으로 높게 형성되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation열처리장치의 지주에 형성된 절결홈의 아래면이 보우트 중심으로부터 어느 방향으로 높게 형성되어 있는지 묻는 질문이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 18에서 절결홈의 아래면에 관한 기술적 특징을 확인한다.
- 상기 절결홈의 아래면은, 상기 보우트의 중심으로부터 방사방향을 향해서 높이형성되어 있는열처리장치.
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 '절결홈의 아래면'과 '방향'에 대한 구절을 선택한다.
- 상기 절결홈의 아래면은, 상기 보우트의 중심으로부터 방사방향을 향해서 높이형성되어 있는열처리장치.
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4논리 통합
logical_integration청구항 18에 따르면 절결홈의 아래면은 보우트 중심에서 방사방향을 향해 높게 형성되어 있음을 알 수 있다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 방향인 '방사방향'을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
절결홈의 아래면은 보우트의 중심으로부터 방사방향을 향해서 높게 형성되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
열처리장치 내 보우트의 지주에 형성된 절결홈의 아래면이 보우트 중심으로부터 방사방향으로 높게 형성되어 피처리기판을 지지하는 구조를 나타낸다.