문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 유로부재가 가스 도입관의 길이방향으로 복수에 엘레멘트분할되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 유로부재가 원주형상을 이루고 그 길이방향에상기소구경유통공형성되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 유로부재가 가스 도입관의 길이방향으로 복수의 엘레멘트로 분할되고 근접하는 엘레멘트의 소구경 유통공이 그 길이방향에 대하여위치설치되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 5]
제 3 항에 있어서,상기 유로부재가 가스 도입관의 길이방향의 복수의 엘레멘트로 분할되고 각 엘레멘트의 근접 엘레멘트에 접하는 면에 각 엘레멘트의 외경보다 약간 지름이 적은 오목부가 형성되며, 오목부의 영역에소구경유통공형성되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 유로부재가다공질체로이루어지는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 유로부재의 백사이드 가스 공급수단의 측에 근접하여 가스도입관내에도전성유로부재삽입되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,도전성 유로부재가 원주체로 이루어지고 그 중앙부에유로공형성되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 전기절연부재 유로부재가상기절연수단의근처설치되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,상기 백사이드 가스 공급수단은 상기 가스 도입관을 통하여 피처리체 배면에 백사이드 가스를 공급하도록 행하는 공급펌프수단과, 상기 가스도입관을 통하여 피처리체 배면으로부터 백사이드 가스를 배출하도록 행하는배기펌프수단가지는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 15]
제 11 항에 있어서,상기 전력 감소가 고주파 전력공급 수단에 의하여 제공된전력완전히차단하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리장치에서 유로부재가 가스 도입관의 길이방향으로 복수의 엘레멘트로 분할되고, 각 엘레멘트의 근접 엘레멘트에 접하는 면에 외경보다 지름이 작은 오목부가 형성된 경우, 해당 오목부 영역에는 무엇이 형성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation유로부재가 복수의 엘레멘트로 분할되고 각 엘레멘트의 접하는 면에 오목부가 형성된 경우, 해당 오목부 영역에 형성되는 구성요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 유로부재가 복수의 엘레멘트로 분할되고, 각 엘레멘트의 접하는 면에 외경보다 지름이 적은 오목부가 형성된다는 조건을 추출한다.
- 상기 유로부재가 가스 도입관의 길이방향의 복수의 엘레멘트로 분할되고 각 엘레멘트의 근접 엘레멘트에 접하는 면에 각 엘레멘트의 외경보다 약간 지름이 적은 오목부가 형성되며, 오목부의 영역에소구경유통공형성되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치
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3근거 선택
evidence_selection오목부 영역에 무엇이 형성되는지 명시된 구절을 선택한다.
- 오목부의 영역에소구경유통공형성되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치
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4논리 통합
logical_integration질문에서 제시한 조건(엘레멘트 분할 및 오목부 형성)이 청구항 5의 전제 조건과 일치함을 확인하고, 그 결과로 나타나는 구성요소를 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation오목부 영역에는 '소구경 유통공'이 형성된다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 '소구경 유통공'을 제시한다.
최종 답변 (final_answer)
소구경 유통공
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마 처리장치의 유로부재를 복수의 엘레멘트로 분할하고 각 접합면에 오목부를 형성함으로써, 해당 영역에 소구경 유통공을 배치하는 구조에 관한 기술이다.