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감압 처리장치 document_id 1019940002850

출원번호
1019940002850
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,밸브보다 처리부측에 가까운 곳에 있는 배기관로의 도중에 끼워 장착되고, 상기 처리부내의 압력이 부압으로부터 상압으로 복귀한 후에 단속되는 배기 콘덕턴스수단더욱포함하여구성되는감압처리장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 배기콘덕턴스 수단은 나비형밸브인감압처리장치. [청구항 4] 제 2 항에 있어서,상기 배기 콘덕턴스 수단과 상기 서브 밸브의 사이의 배기관로중에 퍼지가스를 공급하는퍼지가스공급수단더욱포함하여구성되는감압처리장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 퍼지가스 공급수단은 상기 처리부내의 압력이 부압으로부터 상압으로 복귀한 후에 동작하여 퍼지가스공급하는감압처리장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 트랩수단보다 처리부측에 가까운 곳에 있는 배기관로의 도중에 끼워 장착되고, 상기 처리부내의 압력이 부압으로부터 상압으로 복귀한 후에 단속되는 배기콘덕턴스수단더욱포함하여구성되는감압처리장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 배기콘덕턴스 수단은 나비형밸브인감압처리장치. [청구항 9] 제 6 항에 있어서,상기 트랩수단보다 처리부측에 있는 배기관로중에 퍼지가스를 공급하는퍼지가스공급수단더욱포함하여구성되는감압처리장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 퍼지가스 공급수단은 상기 처리부내의 압력이 부압으로부터 상압으로 복귀한 후에 동작하여 퍼지가스공급하는감압처리장치. [청구항 11] 제 7 항에 있어서,상기 배기콘덕턴스 수단과 상기 트랩수단의 사이의 배기관로중에 퍼지가스를 공급하는퍼지가스공급수단더욱포함하여구성되는감압처리장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 퍼지가스 공급수단은 상기 처리부내의 압력이 부압으로부터 상압으로 복귀한 후에 동작하여 퍼지가스공급하는감압처리장치. [청구항 13] 제 6 항에 있어서,상기 배기관로를 통하여 배기압력을 임의로 조정가능한배압제어수단더욱포함하여구성되는감압처리장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 배압제어수단은, 상기 배기관로의 처리부측 근방의 관로내 압력을 검지하는 압력센서와, 배기관로의 도중에 끼워장착되고 그의 밸브 개방도가 임의로 조정가능한 밸브기구와, 상기 압력센서로부터의 압력신호에 따라서 상기 밸브기구의 밸브 개방도를 제어하는 제어부구성되는감압처리장치. [청구항 15] 제 11 항에 있어서,상기 배기관로를 통하여 배기압력을 임의로 조정가능한배압제어수단더욱포함하여구성되는감압처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
감압처리장치에서 퍼지가스공급수단이 동작하는 시점과 그 동작 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    감압처리장치 내 퍼지가스공급수단의 동작 시점과 동작 조건을 파악하는 것이 과제이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 5, 10, 12에서 퍼지가스공급수단의 동작 조건에 관한 내용을 추출한다.

    • 상기 퍼지가스 공급수단은 상기 처리부내의 압력이 부압으로부터 상압으로 복귀한 후에 동작하여 퍼지가스공급하는감압처리장치
  3. 3근거 선택evidence_selection

    퍼지가스공급수단의 동작 시점을 명시한 청구항의 구절을 선택한다.

    • 상기 처리부내의 압력이 부압으로부터 상압으로 복귀한 후에 동작
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 정보를 바탕으로 동작 시점은 '처리부 내 압력이 부압에서 상압으로 복귀한 후'임을 확인한다.

    • 상기 처리부내의 압력이 부압으로부터 상압으로 복귀한 후에 동작
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 답변하기 위해 동작 시점과 조건을 통합하여 정리한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    최종적으로 퍼지가스공급수단은 처리부 내의 압력이 부압으로부터 상압으로 복귀한 후에 동작한다는 답변을 생성한다.

    • 상기 처리부내의 압력이 부압으로부터 상압으로 복귀한 후에 동작
최종 답변 (final_answer)
퍼지가스공급수단은 처리부 내의 압력이 부압으로부터 상압으로 복귀한 후에 동작한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
감압 처리 과정이 완료되어 처리부 내 압력이 정상 상태(상압)로 돌아온 시점에 퍼지가스를 공급하도록 제어하는 공정 조건을 정의하고 있다.