피처리체 반송장치를 가지는 멀티챔버 시스템 document_id 1019940005005

[청구항 2] 제1항에 있어서,카세트 반송기구는 더 제1측 부재에 부착되는 제1폴리와, 제3측 부재에 부착되는 제2풀리와, 이들 제1 및 제2풀리 사이에 교차되게 걸려진 두개의 벨트가지는피처리체의 반송장치를 가니는 멀티챔버 시스템. [청구항 3] 제2항에 있어서,카세트 반송기구는 한쪽의 벨트 s자 형상으로 제1 및 제2풀리 사이에 교차로 걸려지고 다른 쪽의 벨트는 역 s자 형상으로 제1 및 제2풀리 사이에 교차로 걸려져 있는 피처리체의 반송장치가지는멀티챔버 시스템. [청구항 4] 제1항에 있어서,카세트 반송기구는 더 카세트 실내에 설치되고, 핸드 위의 카세트를 위로 올리며 핸드로부터 카세트 이재되고, 또한, 카세트를 상승시키는 승강스테이지를 가지는 피처리체의 반송장치가지는멀티챔버 시스템. [청구항 5] 제4항에 있어서,카세트 반송기구는 더 카세트를 반입 또는 반출할때에는 핸드와 걸어맞춤하여 핸드와 함께 이동되고, 카세트를 상승시킬 때에는 승강스테이지와 걸어맞춤하여 승강스테이지와 함께 이동하고, 카세트를 위치결정하는 위치 결정용 치구를 가지는 피처리체의 반송장치가지는멀티챔버 시스템. [청구항 6] 제5항에 있어서,카세트 반송기구는 더 핸드에 설치되어 카세트의 유무를 검출하는 광 센서와, 위치 결정용 치구에 설치되어 카세트가 없을 때에는 광센서의 발광불로부터의 발광광을 차단하고, 카세트를 가지는 때에는 광센서의 수광부쪽으로 검출광을 통과시키는 스위치 기구를 가지는 피처리체의 반송장치가지는멀티챔버 시스템. [청구항 7] 제5항에 있어서,카세트의 반송기구는 위치결정용 치구가 핸들 상면의 돌기가 삽입하는 구멍과, 승강스테이지의 구멍에 삽입되는 돌기를 피처리체의 반송장치가지는멀티챔버 시스템. [청구항 9] 제8항에 있어서,기판반송기구는 이동수단은 위치맞춤수단을 승강시키는 승강기수를 가지고 있는피처리체의 반송장치가지는멀티챔버 시스템. [청구항 10] 제8항에 있어서,기판반송수단은 두개의 로드록챔버가 제1기판반송실에 근접하여 설치되고, 위치맞춤수단은 이들 두개의 로드록챔버로부터 등거리인 곳에 위치하고 있는 피처리체의 반송장치가지는멀티챔버 시스템. [청구항 11] 제8항에 있어서,기판반송기구는 더 복수종류의 처리내용에 각각 대응하는 기판의 위치데이타가 스토아되고, 이들 데이타 중으로부터 처리내용에 따른 데이타를 선택하여, 그 데이타에 따라서, 상기 위치맞춤 수단을 제어하는 제어수단을 가지고 있는 피처리체의 반송장치가지는멀티챔버 시스템. [청구항 12] 제8항에 있어서,멀티챔버시스템은 제1기판반송실이 대기압과 동등하거나 또는 이들 이상의 압력으로 유지되어 있는 피처리체의 반송장치가지는멀티챔버 시스템. [청구항 13] 제8항에 있어서,멀티챔버시스템은 더 카세트챔버내에/로부터 카세트를 반입/반출하는 카세트 반송 수단을 가지며, 상기 카세트 반송수단은 카세트가 재치되는 핸드와 이 핸드를 미끄럼 운동가능하게 지지하는 다관절아암과, 이 다관절아암을 미끄럼 운동가능하게 지지하는 베이스를 가지고, 상기 다관절아암은 핸드에 회전가능하게 부착된 제1축 부재와, 상기 베이스에 회전가능하게 부착된 제2축부재와, 상기 제1부재와 연동하여 회전하도록 설치되고, 상기 제1축부재의 회전방향에 대하여 반대방향으로 회전하도록 설치된 제3축 부재와, 상기 베이스에 회전가능하게 부착되며, 회전구동력이 전달되는 제4축부재와, 그 앞끝단부가 제2축 부재에 회전가능하게 부착되고, 그 기단부가 상기 제2축부재에 회전가능하게 부착된 제1아암과, 이 제1아암에 실질적으로 평행하게 설치되고, 그 앞끝단부가 상기 제3축부재에 고정되며, 그 기단부가 상기 제4축부재에 고정된 제2아암을 구비하고, 상기 제1아암 및 제2아암을 미끄럼 운동시키면 상기 핸드가 상기 제1아암 및 제2아암의 미끄럼 운동방향과는 반대방향으로 미끄럼 운동하는 피처리체의 반송 장치가지는멀티챔버 시스템.