문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생수단은, 피처리체(w)의 외경보다 큰 외경을 가지는 1회 감김루프안테너인것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 제1가스공급수단은, 상기 가스배출수단보다 높은 위치에 있으며, 처리용기(3)의 둘레방향에 관하여, 인접하는2개의가스배출수단사이위치하고있는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 유지수단은 바이어스 전위를 유지하는 콘덴서(6)를 구비하며, 이 콘덴서(6)는, 유지수단 근방에 형성되는이온사이즈의정전용량의적어도10배이상의정전용량있는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 콘덴서(6)의 정전용량은,이온시이즈의정전용량의50배이상인것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 콘덴서(6)의 정전용량은,이온시이즈의정전용량의100배이상인것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 제2플라즈마 발생수단은, 루프 안테너와, 고주파 전압원과, 루프 안테너와 고주파 전압원 사이에 설치되는매칭수단구성되는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 9]
제7항에 있어서,상기 가스공급수단은, 처리용기(3)의 둘레방향으로 등간격으로 설치된 여러개의 제1가스공급수단과, 처리용기(3)의 상면 중앙에 설치된 제2가스공급수단으로 구성되며, 상기 가스배출수단은, 처리용기(3)의 둘레방향으로 등간격으로 설치된 여러개의가스 배출수단포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 헬리콘파 플라즈마 발생수단은, 상기 처리용기(3)의 대향하는 측에 대칭적으로 배치된1쌍의수단구성되는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 12]
제10항에 있어서,상기 가스공급수단은, 다수개의 가스 구멍을 분산하여 가짐과 동시에, 상기 유지수단의 위쪽에 위치하여 유지수단을 향하여 프로세스 가스(g)를 공급하는헤드가지는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 13]
제10항에 있어서,피처리체(w) 근방의 자장을 줄이도록 상기 유지수단의 주위에 설치한자로가지는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 14]
제10항에 있어서,상기 가스공급수단은, 처리용기(3)의 둘레방향에 등간격으로 설치된 열 개의 제1가스공급수단과, 처리용기(3)의 상면 중앙에 설치된 제2가스공급수단으로 구성되며, 상기 가스공급수단은 처리용기(3)의 둘레방향으로 등간격으로 설치된 여러개의가스공급수단포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 근거를 종합하여 자연스러운 문장으로 설명하라.
질문 (question)
플라즈마 처리장치에서 가스공급수단이 제1가스공급수단과 제2가스공급수단으로 구성될 경우, 각 공급수단의 설치 위치와 구성 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스공급수단이 제1가스공급수단과 제2가스공급수단으로 구성될 때, 각 수단의 설치 위치와 구성 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9와 청구항 14를 통해 제1가스공급수단과 제2가스공급수단의 구성 및 위치 정보를 추출한다.
- 상기 가스공급수단은, 처리용기(3)의 둘레방향으로 등간격으로 설치된 여러개의 제1가스공급수단과, 처리용기(3)의 상면 중앙에 설치된 제2가스공급수단으로 구성되며
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3근거 선택
evidence_selection제1가스공급수단은 처리용기 둘레방향에 등간격으로 설치되고, 제2가스공급수단은 처리용기 상면 중앙에 설치된다는 구절을 선택한다.
- 처리용기(3)의 상면 중앙에 설치된 제2가스공급수단
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 종합하여 제1가스공급수단은 둘레방향에 등간격으로 배치되고, 제2가스공급수단은 상면 중앙에 배치됨을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 각 공급수단의 위치와 구성 방식을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation최종적으로 제1가스공급수단과 제2가스공급수단의 위치 및 구성 방식을 서술한다.
최종 답변 (final_answer)
가스공급수단이 제1가스공급수단과 제2가스공급수단으로 구성될 경우, 제1가스공급수단은 처리용기(3)의 둘레방향으로 등간격으로 설치되며, 제2가스공급수단은 처리용기(3)의 상면 중앙에 설치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마 처리장치에서 가스 공급의 효율성을 위해 처리용기의 둘레 방향에는 다수의 제1가스공급수단을 등간격으로 배치하고, 상면 중앙에는 제2가스공급수단을 배치하는 구성에 관한 것이다.