회전식 기판처리장치용 기판 회전 보지장치 document_id 1019940006329

[청구항 2] 제1항에 있어서,기판보지부재는, 상기 회전대에서 상방으로 돌출 설치되며, 그 상면에서 상기 기판의 하면을 지지하는 기판지지부와, 상기 회전대 혹은 상기 기판지지부에서 상방으로 돌출설치되며, 그 측면에서 상기 기판의 상기 바깥 가장자리와 접촉해서 상기 기판의 수평면상의 위치를 규제하는수평위치규제부를구비하는회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 기판압압부재는 지점을 가지는 회동 축받침 부재에 의해, 상기 회전대의 상기 회전축 방향에 따른 연직면 내의 지점에서자유회동하도록지지된회전식 기판처리장치용의 기판회전 보전장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 기판압압부재의 중심이 지점보다도 회전대의 외주측위치되어 있는회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 회전대는, 비자성 재료형성된회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 기판 압압부재는, 상기 제1 자성부재를 수지되는회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 기판 압압부재는, 상기 회전대의 회동자유롭게 지지되며, 그 한쪽 단부가 상기 회전대의 상측면으로 신장됨과 동시에, 그 다른쪽 단부가 상기 회전대의 하측면으로 신장되는 회동축체와, 상기 회동축체의 상기 한쪽 단부에 접속되며, 그 측면에 압압면을 가지는 압압체를 구비하여, 상기 제1 자성부재가 상기 회전축체의 상기 다른쪽 단부접속된회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 회동축체의 상기 회동축이 상기 압압체의 중심축거의 일치하는회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지창치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 압압체가 타원주nan형상인회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 회동축체의 상기 회동축이 상기 압압체의 중심축에서 긴 지름 방향으로 편위되어 있는회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 압압체의긴 지름방향이상기제1자성부재배향에대해거의 직교하는회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 기판압압부재가 비연직면 내에서 자유롭게 회동하도록 상기 회전대부착되어 있는회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 회동축체의 회동축이 상기 회전대의 상기 회전축와 실질적평행인회전식 기판처리장치용 기판회전 보지장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 회전대의 상면에는 회전대의 지름방향으로 향해서 낮추어진 경사면이 형성되어 있고, 상기 회동축체의 회동축이 상기 경사면에 대해 실질적직교하는회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 16] 제14항에 있어서,상기 기판압압부재의 중심(重心)은 회동축보다도 회전대의 지름방향위치되어 있는회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 17] 제1항에 있어서,상기 제2 자성부재를 상하방향으로 승강하는 승강기구더 구비하는회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 회전대를 둘러싼 처리액 회수컵이 상하 방향으로 승강가능하게 설치되고, 상기 제2 자성부재를 상하 방향으로 승강하는 승강기구는, 상기 처리액 회수컵도 상하 방향승강하도록한 회전식 기판처리장치용의 기판회전 보지장치.