진공처리장치및진공처리방법 document_id 1019940008615

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 반송실은 사각형상을 이루고 있고, 상기 진공처리장치중에 적어도 두개는상기반송실면에따라설치되어 있는진공처리장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 예비진공실은 피처리체 탑재용기를 재치하기 위한 용기재치실이고, 상기 피처리체 탑재용마개를 장착하기 위한 마개부를 가지며, 그 마개부를 통하여, 대기연결되어 있는진공처리장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 다관절아암부재는 적어도 3개의 아암이 각각 회동축에 의하여 연결되고, 이들 아암은 회동축을 중심으로서 수평방향회동되는진공처리장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,피처리체를 유지하기 위한 적어도 3개의 돌기를 가지는 피처리체 유지부가지는진공처리장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 복수의 진공처리실을 각각 독립하게 지지하 위한 복수의 제1지지프레임과; 상기 제1지지프레임과는 독립하게 하여 설치되고, 상기 반송실을 지지하는 제2지지프레임과; 이들 제1프레임과 제2프레임이 재치되는 기초대더 구비하는진공처리장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 주회동축의 축받이부 근방에 라비린스시일이 설치되고, 상기 배기수단은 상기 라비린스시일에 의하여, 형성된 굴곡형상의 배기관을 통하여, 상기 반송실배기하는진공처리장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 구동부를 덮고, 대기와는 차단되며, 상기 반송실과는 상기 축받이부를 통하여 연결하는 케이스를 가지며, 상기 배기수단은 그 케이스내배기하는진공처리장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 반송수단은 적어도 3개의 아암과 이들 아암을 각각 연결하는 적어도 두개의 회전축과 이들 회전축의 축받이를 가지는 다관아암 부재를 구비하고, 이들 축받이부의 내부, 상기 아암의 내부 및 상기 주회동축을 통하여, 상기 케이스에 연이어 통하는흡인로가형성되어 있는진공처리장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 주 회동축의 축받이 근방에 라비린스시일이 설치되고, 상기 배기수단은 상기 라비린스시일에 의하여 형성된 굴곡현상의 배기로를 통하여 상기 반송실배기하는진공처리장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 반송실내에 설치되고, 불활성가스를 반송시내에 공급하는 불활성가스 공급수단을 가지며, 적어도 반송동작중에 불활성가스가 공급되고, 상기 흡인로를 통하여, 상기 케이스내흡인되는진공처리장치. [청구항 13] 제7항에 있어서,상기 반송실은 사각형상을 이루고 있고, 상기 진공처리장치중에 적어도 2개는상기반송실변에따라설치되어 있는진공처리장치. [청구항 14] 제7항에 있어서,상기 예비진공실은, 피처리체 탑재용기를 재치하기 위한 용기재치실이고, 상기 피처리체 탑재용마개부를 장착하기 위한 마개부를 가지며, 그 마개부를 통하여, 대기연결되어 있는진공처리장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 복수의 진공처리실을 각각 독립하게 지지 기 위한 복수의 제1지지프레임과; 상기 제1지지프레임과는 독립하게 설치되고, 상기 반송실을 지지하는 제2지지프레임과; 이들 제1프레임과 제2프레임이 재치되는 기초대더 구비하는진공처리장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 반송실은 사각형상을 이루고 있고, 상기 진공처리장치중에 적어도 2개는상기반송실변에따라설치되어 있는진공처리장치. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 예비진공실은 피처리체 탑재용기를 재치하기 위한 용기재치실이고, 상기 피처리체 탑재용마개를 장착하기 위한 마개부를 가지며, 그 마개부를 통하여, 대기연결되어 있는진공처리장치. [청구항 19] 제16항에 있어서,상기 반송수단은, 적어도 3개의 아암과 각각의 아암을 연결하는 회동축을 구비하고, 이들 아암은 회동축을 중심으로 하여 수평방향회동되는진공처리장치. [청구항 20] 제16항에 있어서,개의 진공처리실에 대응하는, 개폐수단이 열려있는 경우에는 다른처리실의개폐수단닫혀있는진공처리장치. [청구항 21] 제16항에 있어서,진공처리실에 대응하는, 개폐수단을 개방할 때에는, 그 처리실내에는 진공배기되어 있는진공처리장치. [청구항 22] 제16항에 있어서,상기 복수의 전공처리실을 각각 독립하게 지지하기 위한 복수의 제1프레임과; 상기 제1프레임과는 독립하게 설치되고, 상기 반송실을 지지하기 위한 제2지지프레임과; 이들 제1프레임 과 제2프레임이 재치되는 기초대더 구비하는진공처장치. [청구항 30] 제27항에 있어서,상기 표식을 인식하는 공정은,상기위치맞춤단계에서행해지는진공처리방법.