기판포토리소그라피시스템에서의실리콘기판을베이킹하고냉각하기위한장치및그방법 document_id 1019940017247

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 이송 팔이 상기 고온 플레이트의 평면에 평행한 평면내 직선을 따라이동하는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 고온 플레이트가 리프트 핀을 위한 리프트 핀 구멍을 가지고, 상기 구멍이 상기 고온 플레이트 중심과 동심원상으로 배치되며, 상기 리프트 핀 구멍 위치는 상기 리프트 핀이 상기 고온 플레이트 위에 충분히 올려진 위치에 있을 때 상기 고온 플레이트의 중앙으로 상기 이송 팔이 움직이기에 충분한 각도로 떨어져있는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 4] 제1항에 있어서,다수의 이송 팔 각각은 상기 다수의 어떤 다른 이송 팔의 상응하는 평면과 평행하고 구별되는 평면으로 움직이도록 강제되는 다수의 이송 팔하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 5] 제4항에 있어서,이송 팔의 상기 평면과 임의의 다른 이송 팔의 상응하는 평면사이의 거리가 적어도 상기 이송 팔 상에 운반되는 기판을 수용하기충분한것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 다수의 이송 팔 중 적어도 하나가 상기 다수의 고온 플레이트중 소정의 고온 플레이트로부터 상기 냉플레이트로 기판을 이송할 수있는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 다수의 이송 팔 각각이 기판을 상기 다수의 고온플레이트 중 소정의 고온 플레이트로부터 상기 냉플레이트로 이송할 수있는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 다수의 이송 팔 중 적어도 하나가 상기 다수의 고온플레이트 중 제 1 고온플레이트로부터 상기 다수의 고온플레이트 중 제 2 고온플레이트로 기판을 이송할 수있는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 10] 제6항에 있어서,상기 다수의 이송 팔 각각이 상기 다수의 고온 플레이트 중 제 1고온플레이트로부터 상기 다수의 고온 플레이트 중 제 2고온플레이트로 기판을 이송할 수있는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 11] 제6항에 있어서,상기 이송 팔의 평면과 상기 냉플레이트 평면사이의 거리가 기판이 상기 냉 플레이트 위의 리프트 핀상에 운반되는 동안 상기 이송팔이 제 1고온 플레이트로부터 제 2고온 플레이트로 기판을 이송하기충분한것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 12] 제6항에 있어서,상기 다수의 이송 팔 각각은 이송 팔이 상기 고온플레이트의 중앙으로 이동될 때 리프트 핀을 수용하기 위한슬롯가지는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 진공튜브 메카니즘의 다른 진공튜브가 상기 한 쌍의 풀리중 각각의 풀리 둘레에 싸이고, 상기 진공튜브는 서로 연결되어 끊기지 않는 루프를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판이송하는장치. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 진공튜브를 경유하여 상기 진공 클램프로 진공을 공급하기 위한 제 2진공라인을 구비한 하우징을 추가적으로 포함하며, 상기 고정된 부분이 상기 하우징의 상기 제 2진공라인에 연결되는 것을 특징으로 하는 기판이송하는장치. [청구항 18] 제15항에 있어서,쌍의 풀리중 하나가 상기 이송 팔의 이동 속도의 절반에 해당하는 속도로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판이송하는장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 냉 플레이트가 이용가능하도록 상기 기판이 이송 팔 상의 버퍼 위치에서 유지되는 것을 특징으로 하는 다수의 기판냉각하기 위한열공정모듈. [청구항 27] 제1항에 있어서,상기 이송 팔은 미리 정해진 하나의 경로를 따라서움직이는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 28] 제27항에 있어서,경로가적어도상기고온플레이트와상기냉플레이트위위치하는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 29] 제6항에 있어서,각각의 이송 팔이 고온플레이트 위에 위치할 때, 상기 이송 팔의 말단은상기고온플레이트의중앙위쪽위치하는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 이송팔은 상기 말단에 위치한 진공 클램프를 갖고, 상기 진공 클램프는 기판이 상기 이송 팔에 의해 이송될 때 상기 기판의 중심 부근에서 상기 기판을 지지할 수있는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 31] 제6항에 있어서,각각의 이송 팔이 미리 정해진 단일한 경로만을 따라서움직이는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 32] 제6항에 있어서,각각의 고온플레이트는 리프트 핀들을 위한 리프트 핀 구멍들을 갖고, 상기 구멍은 상기 고온플레이트의 중심 둘레에 위치하며, 상기 리프트 핀 구멍의 위치는 상기 리프트 핀들이 상기 고온플레이트 위에 충분히 들어올려진 위치에 있을 때 이송 팔이 상기 고온플레이트의 중심으로 이동하기에 충분한 각도로 떨어져있는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 33] 제6항에 있어서,이송 팔의 평면과 다른 이송 팔의 대응하는 평면은 적어도 이송 팔상에 운반되는 기판을 수용하기충분한것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 34] 제14항에 있어서,상기 제 2 열공정모듈 위에 적재된 제 3 열공정모듈을 추가적으로 구비하며, 상기 로봇팔은 상기 제 3 열공정모듈의 냉플레이트 위의 영역들 사이에서기판이송할수특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 35] 제14항에 있어서,각각의 고온플레이트는 리프트 핀을 위한 리프트 핀 구멍을 갖고, 상기 구멍은 상기 고온플레이트의 중앙 둘레에 위치하며, 상기 리프트 핀 구멍의 위치는 상기 리프트 핀들이 상기 고온플레이트 위에 충분히 들어올려진 위치에 있을 때 이송 팔이 상기 고온플레이트의 중심으로 이동할 수 있는 충분한 각도로 떨어져있는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 36] 제4항에 있어서,각각의 이송 팔은 다른 이송 팔의 이동에 대해독립적이동하는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 37] 제13항에 있어서,상기 이송 팔은 미리 정해진 하나의 경로만을 따라움직이는것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 38] 제37항에 있어서,경로는직선인것을특징으로 하는기판 포토리소그라피 시스템. [청구항 39] 제15항에 있어서,상기 풀리를 지지하는 캐리지를 추가적으로 구비하며, 상기 캐리지는 상기 하우징 위에서 미끄러질 수 있도록 지지되는 것을 특징으로 하는 기판이송하는장치. [청구항 40] 제39항에 있어서,상기 하우징 위에 탑재된 슬라이딩 레일을 추가적으로 구비하며, 상기 슬라이딩 레일은 상기 캐리지에 미끄러질 수 있는 지지대를 제공하는 것을 특징으로 하는 기판이송하는장치. [청구항 41] 제17항에 있어서,상기 진공튜브 메카니즘은 단지 두 개의 진공 튜브와 두 개의 풀리만을 구비하며, 각 진공 튜브의 움직일 수 있는 말단은 상기 이송 팔의 제 2 말단과 연결되고, 각 진공튜브의 고정되어 있는 말단은 상기 제 2 진공라인과 연결되는 것을 특징으로 하는 기판이송하는장치. [청구항 42] 제15항에 있어서,평면상의 원형 홈들을 가지는 것을 특징으로 하는 기판이송하는장치.