플라즈마 방전 발생 장치 document_id 1019940022419

[청구항 1] r.f. 전력 소오스와 함께 사용 가능한 플라즈마 방전 장치가, 플라즈마 방전이 일어나는 처리실과 도체로형성되며 상기 r.f. 전력 소오스에 동작적으로 접속될 수 있으며, 상기 처리실에서 고주파 전계를 생성하기 위해위치되는 루프 코일 안테나와 적어도 하나의 비자성 도전 물질의 차폐츨을 포함하며 도전부와 비도전부를 구비하는 전기적 시일드를 구비하며. 상기 층은 귀로를 구비하기 위해 안테나에 전지적으로 접속되면 상기 코일을환상형으로 둘러싸도록 위치되며, 상기 시일드의 전위를 고정하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마방전 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 전기적 시일드가접지되는것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 도전부 영역과 상기 비도전부 영역 전체에 대한 비도전부영역의비율이상인것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 도전부 영역과 상기 비도전부 영역 전체에 대한 비도전부영역의비율이하인것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 비nan도전부가차혜층내의적어도하나개구인것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 6] r.f. 전력 소오스와 함께 사용 가능한 플라즈마 방전 장치가, 플라즈마 방전이 일어나는 처리실과 도체로 형성되며 상기 r.f. 전력 소오스에 동작적으로 접속될 수 있으며, 상기 처리실에서 고주파 전계를 생성하기 위해 위치되는 루프 코일 안테나와 적어도 하나의 비자성 도전 물질의 스트립을 포함하는 전기적 시일드를 구비하며, 상기 스트림은 귀로를 구비하기 위해 안테나에 전기적으로 접속되고, 이 스티립의 인접한 선회부 사이에 나선형 갭으로 나선형 둘레에 환상형으로 감겨지며, 상기 시일드의 전위를 고정하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전 장치 [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 전기적 시일드가접지되는것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 도전 스트립 영역과 상기 갭 영역의 전체에 대한상기갭영역의비율이상인것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 도전 스트립 영역과 상기 갭 영역의 전체에 대한상기갭영역의비율이하인것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 10] 제6항에 있어서,상기 스트립의 인접한 선회부 사이의 각 갭이 발생된 플라즈마의 데바이 길이보다 작은 것특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 11] 제6항에 있어서,상기 스트립의 인접한 선회부 사이의 각갭이하인것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 12] 제12항에 있어서,상기 환상형으로 감겨진 스트립은 도전 하부층을 구비하며, 상기 스트립은 도전 상부층을 구비하기 위해 상기 갭상에 나선형으로 감겨있으며, 상기 상부층은 간격 거리에 의해 상기 하부층으로부터방사적이격되는것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 스트립의 간격 거리가 발생된 플라즈마의 데바이 길이이거나 그 보다 작은 것특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 스트립의 간격 거리가 약 1mm이하인것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 15] 제6항에 있어서,상기 루프 코일 안테나는 복수개의 코일 선회부를 포함하며, 상기 스트립은 두개 이상의 코일 선회부 둘레에 나선형으로 감겨 있으며 각 스트립이 상기 두개 이상의 코일 선회부 각각을 나선형으로 둘러싸선회하는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 16] r.f. 전력 소오스와 함께 사용 가능한 플라즈마 방전 장치가, 플라즈마 방전이 일어나는 처리실과 도체로 형성되며 상기 r.f. 전력 소오스에 동작적으로 접속될 수 있으며, 상기 처리실에서 고주파 전계를 생성하도록 위치하는 루프 코일 안테나와 적어도 하나의 비자성 도전 물질의 스트립을 포함하는 이중층 전기적 시드를 구비하며, 상기 스트립은 접지되어 귀로를 포함하는 이중층 전기적 시일드를 구비하며, 상기 스트립은 접지되어귀로를 구비하기 위해 안테나에 접속되며, 도전 하부층을 구비하 위해 스트립의 인접한 선회부 사이에 갭을 가지고 성가 코일 둘레에 나선형으로 감기며, 상기 상부층은 상기 하부층으로부터 간격 거리에 의해 방사적으로 이격되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전 장치 [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 간격 거리가 발생된 플라즈마의 데바이 길이이거나 그보다 작은 것특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 간격 거리가 약 1mm이하인것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 간격 거리가 발생된 플라즈마의 데바이 길이의 약1/10이거나 그보다 큰것특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 20] 제18항에 있어서,상기 간격 거리가 약 1mm이하인것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 도전부 영역과 상기 비도전부 영역의 전체에 대한 비도전부영역의비율이상인것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 도전부 영역과 상기 비도전부 영역의 전체에 대한 비도전부영역의비율이하인것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 24] 제21항에 있어서,상기 차폐층은 인접한 스트립 선회부 사이에 나선형 갭을 가지고 상기 코일 둘레에 나선형으로 감긴상기비자성도전물질의제1연속스트립구비하는것을특징으로 하는플라즈마 방전 장치. [청구항 25] 제24항에 있어서,상기 시일드는 상기 나선형 갭 상에 환상형으로 감겨진 비자성 도전물질의 제2연속 스트립을 구비하며, 상기 제2권선의 각 선회부는 상기 제1권선의 밑에 놓인 선회부로 부터 거리를 두고 분리되며 상기 제2권선의 인접한선회부로이격되는것을특징으로 하는차폐 안테나. [청구항 26] 제21항에 있어서,상기 루프 코일을 형성하는 도체는 속이 비었으며 냉각체 소오스에 접속하기 위한 수단을 포함하며, 상기 루프코일은 복수개의 코일 선회부를 포함하며, 상기 차폐층은 귀로를 구성하기 위해 상기 한 선회로 주변 둘레에서 적어도 하나의 상기 코일 선회부에 전기적으로상호접속되는것을특징으로 하는차폐 안테나. [청구항 27] 제21항에 있어서,상기 루프코일은 대향 코일 단부를 가지며, 아기 접속 위치는 한 코일단부에서이고, 상기 차폐층은 다른 루프 코일 단부에서 상기 루프 코일에전기적접속되는것을특징으로 하는차폐 안테나. [청구항 28] 제21항에 있어서,상기 루프 코일을 형성하는 도체는 절연선이고, 상기 차폐층은 상기 루프코일의 주변을 따라 위치된 비자선 도전 물질의 연장된 나선과 인접한 스트립 선회부 사이의 제1나선형 갭을 두는 상기 루프코일 및 상기 나선둘레에 환형적으로 감겨진 비자성 도전 물질의 제1연속 스트립으로 구성되고, 상기 나선은 상기 루프코일의 한 단부에서 상기 절연선에 전기적으로 접속되며, 상기 루프코일은 상기루프 코일의 다른 단부에서 r.f. 전력 소오스에접속가능한것을특징으로 하는차폐 안테나. [청구항 29] 제28항에 있어서,상기 제1스트립층 상기 나선형 갭을 환상형으로 둘러싸는 절연층을 추가로 포함하며, 상기 시일드는 상기 절연층 밑에 놓이는 상기 제1나선형 갭의 위치를 따라 상기 절연층 상에 환상형으로 감겨진 비자성 도전 물질의 제2연속 스트립을 추가로 포함하며, 상기 제2연속 스트립의 각 스트립선회부가 제2나선형 갭을 제공하기 위해이격되는것을특징으로 하는차폐 안테나. [청구항 30] 제24항에 있어서,상기 나선형 갭의 폭은 발생된 플라즈마의 데바이 길이이거나 그보다 작은 것특징으로 하는차폐 안테나. [청구항 31] 제25항에 있어서,상기 간격 거리가 발생된 플라즈마의 데바이 길이이거나 그보다 작은 것특징으로 하는차폐 안테나.