회전식 기판처리장치의 기판회전보지구 document_id 1019940026740

[청구항 2] 제1항에 있어서,상하이동부재는 기판구경인기판회전보지구 [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 지지수단은 복수개의 지지판구성된기판회전보지구 [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 지지핀은, 상기 상하이동부재로 삽입통과된 원주형의 동부와, 상기 동부의 상부로 돌출되어 형성되며, 그 상면이 기판의 주연을 맞닿게 지지하기 위하여 하향 경사상으로 된 플렌지부와, 상기 플렌지부위에 형성되며 기판의 수평방향의 이동을 방지하기 위한소돌기에의해구성되는기판회전보지구. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 상하이동부재는 그 주변부의 상기 지지핀의 대응하는 위치로 상기 지지핀의 동부보다도 약간 큰 구경의 가이드구멍형성되어 있는기판회전보지구. [청구항 6] 제6항에 있어서,상기 상하이동부재는 그 주변부의 상기 지지핀의 대응하는 위치로 상기 지지핀의 동부보다도 약간 폭이 넓고, 바깥으로 개방된 u자형으로 잘린 가이드구멍형성되어 있는기판회전보지구. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 상하구동수단은 작동편과 수하편으로 되는 역 l자형의 밀어 올림부재와, 상기 수하편의 하단에 부착되어져 있는 추와, 상기 밀어올림부재의 중간굴절부에 삽입되어 통하게 된 핀과, 상기 핀 축을 회전대의 회전의 접선방향에 따르도록, 또 상기 작동편이 상기 핀의 축보다도 외측에 위치하도록 지지하는 축받침으로 되고, 상기 회전대의 하면에 설치된 복수개의 밀어올림기구에 의해 구성되며, 또, 상기 회전대에는 상기 회전대와 회전하고 있는 때에 상기 각 작동편의 상방으로의 돌출을 허용하는 복수개의 개구형성되어 있는기판회전보지구. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 상하이동부재의 상승위치는 기판하면과 상하이동부재의 상면과의간격되는위치인기판회전보지구. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 회전대는 그 상면에 미소돌기부구비하는기판회전보지구. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 상하이동부재는 그 하면에 복수개의 미소돌기부구비하는기판회전보지구. [청구항 11] 제5항에 있어서,상기 상하이동부재의 가이드구멍은 상기 동부에 접촉하는 내연부분의 종단면이 반원경상형성되는기판회전보지구. [청구항 12] 제4항에 있어서,상기 지지핀의 동부는 그 회전대의 회전방향측에 대한 부분이 하향 경사상형성되는기판회전보지구. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 상하구동수단은 상기 상하이동부재의 외주부에서 회전중심으로 향해서 잘려 들어가 형성함과 동시에, 원주에 따라 잘려 들어가 형성된 설편부분을 하방으로 소정의 각도로 굴곡하게 되는 일군의 휜의해형성되는기판회전보지구. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 상하구동수단은 상기 회전대의 개구에 통하도록 삽입되고 상기 상하이동부재의 하면에 그 상단부가 부착된 밀어올림축을 통해서 상기 상하이동부재를 상하로 구동하는액추에이터에의해구성되는기판회전보지구. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 액추에이터는 상기 밀어올리축의 하단부를 회동자유롭게 지지하는 축받침으로 연결된에어실린더에의해구성되는기판회전보지구. [청구항 16] 제1항에 있어서,상기 상하구동수단은 상기 회전대의 중심부 개구를 통해서 일단측이 상기 상하이동부재의 하면에 연결된 벨로우즈부의 타단측으로 연통 접속되며, 상기 벨로우즈부를 수축/신장하는액추에이터에의해구성되는기판회전보지구. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 액추에이터는 상기 벨로우즈부의 타단측에 가압공기를 송출하는 가압공기공급기와 상기 벨로우즈부내의 공기를 흡인하는 진공흡인기구성되는기판회전보지구.