투영노광장치 및 이를 이용한 디바이스제조방법 document_id 1019940027359

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 조도보정수단은, 상기 광원으로부터의 광에 의해 상기 2차광원 형성수단의 광입사면위에 형성된 광의 강도분포를 조정하는수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 투영노광장치는, 상기 광원의 상을 상기 2차광원형성수단의 광입사면상에 투영하는 광원상투영수단을 부가하여 구비하고, 상기 조도보정수단은 광입사면상에서 상기 광원상의 위치를 변화시키는광원상이동수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 광원상이동수단이 광축과 직교하는 평면상에서 상기 광원의 위치를 변경시키는광원위치조정수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 광원상이동수단은 광축과 직교하는 방향으로 광원으로부터의 광을 편향시키는광편향수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 광편향수단은, 상기 광원으로부터의 광을 반사하는 타원형 미러, 각각 상기 광원으로부터의 광을 굴절시키는 가동렌즈 및 투명판중 어느하나포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 투명판nan은복수개의쐐기형상의판부재구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 광원은 램프 및 레이저중 어느하나구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 2차광원형성수단이플라이아이렌즈구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 2차광원조정수단이 가변가능한 개구형상을 지닌개구조리개구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 11] 제3항에 있어서,상기 2차광원조정수단이 상기 광원상의 크기를 변경시키는변배광학계구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 2차광원형성수단의 광입사면상에서 상기 광원으로부터의 광의 입사위치를 변경시키는광편향부재포함한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 패턴투영수단nan은투영렌즈포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 패턴투영수단nan은투영미러포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 조도보정수단은 상기 물체평면에 투사되어 광강도분포의 변경의 결과로서 감소되는 광량을 실질적으로 증가시키는수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 16] 제1항에 있어서,상기 조도보정수단은 상기 상평면 및 물체평면중 적어도 한쪽위의 조도분포를 검출하는조도검출수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 17] 제1항에 있어서,상기 조도보정수단은, 광강도분포의 변경에 기인하여 상기 상평면에 생성되는 조도불균일을 실질적으로 보정하는 수단을 부가하여포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 조도조정수단은 상기 광원으로부터의 광에 의해 상기 2차광원형성수단의 광입사면에 형성된 광의 강도분포를 조정하는수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 투영노광장치는, 상기 광원의 상을 상기 2차광원형성수단의 광입사면상에 투영하는 광원상투영수단을 부가하여 구비하고, 상기 조도조정수단은 상기 광입사면상에서 상기 광원상의 위치를 변경시키는광원상이동수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 광원상이동수단은 광축과 직교하는 평면상에서 상기 광원의 위치를 변경시키는광원위치조정수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 22] 제20항에 있어서,광원상이동수단은 광축의 방향으로 상기 광원상을 이동시키는광편향수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 광편향수단은, 상기 광원으로부터의 광을 반사하는 타원형 미러, 상기 광원으로부터의 광을 각각 굴절시키는 가동렌즈 및 투명판중 어느하나포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 투명판nan은복수개의쐐기형상의판부재구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 25] 제18항에 있어서,상기 광원은 램프 및 레이저중 어느하나구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 26] 제18항에 있어서,상기 2차광원형성수단nan은플라이아이렌즈구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 27] 제18항에 있어서,상기 2차광원조정수단은 가변가능한 개구형상을 지닌개구조리개구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 28] 제20항에 있어서,상기 2차광원조정수단은 상기 광원상의 크기를 변경시키는변배광학계구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 29] 제18항에 있어서,상기 패턴투영수단nan은투영렌즈포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 30] 제18항에 있어서,상기 패턴투영수단nan은투영미러포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 31] 제18항에 있어서,상기 조도조정수단은 상기 상평면 및 물체평면중 적어도 한쪽위에서 조도분포를 검출하는조도검출수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 32] 제18항에 있어서,상기 조도조정수단은, 광강도분포의 변경에 기인하여 상기 상평면에 생성된 조도불균일을 실질적으로 보정하는수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 34] 제33항에 있어서,상기 투영노광장치는, 상기 광원의 상을 상기 2차광원형성수단의 광입사면상에 투영하는 광원상투영수단을 부가하여 구비하고, 상기 조도조정수단은 광축을 따른 방향 및 광축과 직교하는 방향으로 상기 광원상의 위치를 변경시키는 광원상이 동수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 35] 제34항에 있어서,상기 광원상이동수단은 광축을 따른 방향 및 광축과 직교하는 방향으로 상기 광원을 이동시키는광편향수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 36] 제34항에 있어서,상기 광원상이동수단은 광축을 따른 방향 및 광축과 직교하는 방향으로 상기 광원상을 이동시키는광편향수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 37] 제36항에 있어서,상기 광편향수단은, 상기 광원으로부터의 광을 반사하는 타원형 미러, 상기 광원으로부터의 광을 각각 굴절시키는 가동렌즈 및 투명판중 어느하나포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 38] 제37항에 있어서,상기 투명판nan은복수개의쐐기형상의판부재구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 39] 제33항에 있어서,상기 광원이 램프 및 레이저중 어느하나구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 40] 제33항에 있어서,상기 2차광원형성수단nan은플라이아이렌즈구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 41] 제33항에 있어서,상기 2차광원조정수단은 가변가능한 개구형상을 지닌개구조리개구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 42] 제33항에 있어서,상기 2차광원조정수단은 상기 광원상의 크기를 변경시키는변배광학계구비한것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 43] 제33항에 있어서,상기 패턴투영수단을 투영렌즈를 포함하는 것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 44] 제33항에 있어서,상기 패턴투영수단을 투영미러를 포함하는 것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 45] 제33항에 있어서,상기 조도조정수단은 상기 상평면 및 물체평면중 적어도 한쪽위의 조도분포를 검출하는조도검출수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치. [청구항 46] 제33항에 있어서,상기 조도조정수단은, 광강도분포의 변경에 기인하여 상기 상평면에 생성되는 조도불균일을 실질적으로 보정하는수단포함하는것을특징으로 하는투영노광장치.