프로우빙 방법 및 프로우브 장치 document_id 1019940031021

[청구항 10] 제1항에 있어서,상기 미세소자는 상기 기판으로서의 반도체 웨이퍼에 형성된 직접 회로침인프로우빙 방법 . [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 등록수단은, 실제로 측정된 상기 특정프로우브침 이외의 임의의 프로우브침의 위치를 나타내는 제2 위치 정보를 등록하고, 상기 제1 검출수단은, 상기 제2 위치정보와 상기 패드위치정보에 기초로하여, 상기 프로우브침을 상기 패드에 가상적으로 접촉시키어 상기 패드에서, 가상적으로 형성되는 침 궤적을 검출하고, 상기 제2검출수단은 상기 침 궤직의 면 영상인식에 의하여 상기 임의의 프로우브침과 이들 프로우브침에 대응하는 패드와의 위치 어긋남을 나타내는 제2 위치어긋남 정보를 검출하고, 상기 보정수단은 상기 제2 위치어긋남 정보에 기초하여, 상기 임의의 프로우브침과 이들 프로우브침에 대응하는 상기 패드를 접촉시키기 위한 위치조건보정하는프로우빙 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 보정수단이 행하는 위치조건 보정의 적어도 한쪽의 뒤에 상기 미세소자의 패드와 상기 프로우브침을 접촉시키어 실제의 침 궤적을 형성하는 침 궤적 형성수단과, 상기 미세소자의 패드에 형성된 실제의 침 궤적을 검출하는 제3 검출수단을 더욱 포함하고, 상기 제2 검출수단은 상기 실선의 침 궤적과 상기 패드와의 위치 어긋남 정보를 검출하며, 상기 보정수단은 상기 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 패드와 상기 프로우브침을 접촉시키는 위치 조건보정하는프로우빙 장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 보정수단은 면 영상 인식에 의하여 패드에 윤곽을 기초로 하여, 패드의 가상 중심을 산출하는 수단을 포함하고, 이 가상중심의 상기 침 궤적의 위치정보로부터 상기 위치 어긋남 정보검출하는프로우빙 장치. [청구항 15] 제12항에 있어서,상기 보정수단은 오토포커스에 의하여 상기 프로우브침의 앞끝단에 초점을 맞춤으로서, 위치정보를 구하는 수단포함하는프로우빙 장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,오토포커스 불량에 의하여 상기 프로우브침의 위치정보를 얻을 수 없을 때에는, 메뉴얼 조작에 의한 포커스 처리가 실시되고, 이 메뉴얼 조작에 의한 포커스 처리가 불능인 경우에는, 프로우브 침을 가지는 프로우브 카드의 자동교환을 하는 자동교환 수단포함하는프로우빙 장치. [청구항 17] 제13항에 있어서,상기 자동교환수단은 상기 침 궤적이 소정 범위 외에 있는 것을 검출하면, 프로우브침을 장착하고 있는 프로우브 카드를 자동교환하는프로우빙 장치. [청구항 18] 제13항에 있어서,상기 보정수단은 프로우브침을 가지는 프로우브카드를 고정하고, 상기 미세소자를 회전시키어 패드의 위치보정하는프로우빙 장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 보정수단은 상기 침 궤적의 위치 어긋남 양의 2승합이 최소로 되도록 프로우브침에 대한 패드의 위치보정하는프로우빙 장치. [청구항 20] 제11항에 있어서,상기 미세소자는 상기 기판으로서의 반도체 웨이퍼에 형성된 직접 회로침인프로우빙장치.