반송장치 및 그를 이용한 프로우버 document_id 1019940031182

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 스러스트 축받이가상기브레이크슈우의상기아래면접촉하는것을특징으로 하는반송장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 스러스트 축받이가 상기 브레이크 슈우의 상기 아래면의 중심에점접촉하는것을특징으로 하는반송장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 스러스트 축받이가 볼구비하는반송장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 브레이크 시트의 중심에, 상기 스러스트 축받이가 물러나는 것이 가능한 구멍이 형성되며 상기 스프링은상기구멍내배치되는것을특징으로 하는반송장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 브레이크 슈우의 상기 아래면이 원추대 형상을 가지며, 상기 브레이크 시트의 표면이 상기 브레이크 슈우의 상기 아래면에 대하여 상호보존적인형상가지는것을특징으로 하는반송장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 인터페이스부에 부착 및 이탈할 때에, 상기 테스트 헤드가 실질적으로 수평을 유지한 상태로 상기 숭강수단에 의하여상하구동되는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 인터페이스부에 대하여 상기 테스트 헤드를 어라이먼트하기 위하여, 상기 지지수단과 상기 케이싱의 사이에 각각 배열설치된 짝을 이룬 어라이먼트수단더욱구비하는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 스러스트 축받이가상기브레이크슈우의상기아래면의중심점접촉하는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 스러스트 축받이가볼구비하는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 12] 제9항에 있어서,상기 브레이크 시트의 중심에, 상기 스러스트축받이가 물러날 수 있도록 구멍이 형성되고, 상기 스프링은상기구멍내배치되는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 13] 제7항에 있어서,상기 승강수단이 모우터를 구비하며, 상기 모우터에 대한 급전이 끊어진 때에 작동하고, 상기 지지수단의 하강을 저지하는 전자 브레이크가 상기 승강수단에배열설치되는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 14] 제7항에 있어서,상기 기초대에 대하여 상기 지지수단의 하한 위치를 규정하는하강스톱퍼구비하는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 승강수단이, 모우터와, 상기 기초대에 축 지지되며 또한 상기 모우터에 의하여 구동되는 제2 볼나사의 제2 샤프트와, 상기 지지수단에 배열설치되며, 또한 상기 제2 샤프트와 걸어맞춤하는상기제2볼나사의제2너트구비하는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 제2 너트는, 상기 지지수단에 대하여, 축방향으로 이동가능하며, 또한 회전이 불가능하게 착설됨과 함께, 상기 지지수단을 들어올리기 위한플랜지구비하는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 하강 스톱퍼에 의하여 상기 지지수단의 하강이 저지된 후, 상기 제2 너트만이 하강하는 것을 검지하고, 상기 모우터를 정지하기 위한수단더욱구비하는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 18] 제7항에 있어서,상기 지지수단이, 수평면내의 상호간에 직교하는 x,y 방향, 및 상기 x,y 방향 및 수직한 z 방향을 각각 축으로 한 회전방향인 θx,θy,θz 방향에서 상기 테스트 헤드의 위치조정을 위한 x,y,θx,θy,θz-위치조정기구들구비하는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 19] 제7항에 있어서,상기 스러스트 축받이가상기브레이크슈우의상기아래면접촉하는것을특징으로 하는프로우버. [청구항 20] 제7항에 있어서,상기 브레이크 슈우의 상기 아래면이 원추대 형상을 가지며, 상기 브레이크 시트의 표면이 상기 브레이크 슈우의 상기 아래면에 대하여 상호보족적인형상가지는것을특징으로 하는프로우버.