프로우브장치 document_id 1019940035935

[청구항 2] 제1항에 있어서,장치본체프레임에 고정된 헤드플레이트(17)와, 이 헤드플레이트(17)와 카드호울더와의 상이에 설치되며, 기울기수정수단에 의하여 적어도 3개소에서 헤드플레이트(17)에 연결지지된 인서트링(18)을 더욱 구비하며, 카드호울더는 헤드플레이트(17)에 대하여 인서트링(18)을 통하여 위치결정되어 있는프로우브장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,카드호울더는, 테스트헤드(27)하부에 위치결정지지되며, 이 카드호울더는 기울기 수정기구(51)에 의하여 적어도 3개소에서 테스트헤드지지되어 있는프로우브장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,침끝높이검출수단은, 프로우브침(23)에 접촉되는 복수의 독립한 검지영역을 가지며 재치대에 설치된 접촉식변위센서(55)와, 이 접촉식변위센서(55)의 각 검지영역이 프로우브침(23)과 접촉하였을 때 각각 발생하는 전압변화를 검출하는 검출회로(60)를 구비하며, 이 검출회로(60)으로부터의 신호와 재치대의 상승량에 의거하여 복수개소의 프로우브침(23)의 침끝높이레벨검출하는프로우브장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,침끝높이검출수단은, 복수개소에서 프로우브침(23)의 침끝의 상을 포착하는 카메라와, 이 카메라의 포커스심도로부터 복수개소의 프로우브침(23)의 침끝높이레벨을 검출하는 검출회로구비하는프로우브장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,침끝높이검출수단은, 재치대상에서 프로우브침에 접촉되는 도전성 더미플레이트와, 이 더미플레이트에 각각의 프로우브침이 접촉하는가 아닌가를 확인하는 콘택트체크프로그램이 들어있는 테스터를 구비하며, 이 테스터로부터의 신호와 재치대의 상승량에 의거하여 복수개소의 프로우브침의 침끝높이레벨검출하는프로우브장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,기울기수정기구(51)는, 카드호울더(25),인서트링(18)및 헤드플레이트(17)중 적어도 한개를 3점에서 지지하며, 기울기수정기구(51)는, 적어도 3점 지지중 한개에 설치되며, 카드호울더(25), 인서트링(18)및 헤드플레이트(17)중 적어도 한개를 경사운동이 가능하게 지지하는 볼힌지기구(52)와, 적어도 3점지지중 상기 한개를 제외한 다른 개소에 설치되며, 카드호울더(25), 인서트링(18)및 헤드플레이트(17)중 적어도 한개를 승강가능하게 지지하는 지지높이조정나사기구구비하는프로우브장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,지지높이조정나사기구(53)에 의한 카드호울러(25), 인서트링(18)및 헤드플레이트(17)중 적어도 한개의 이동스트로크량은, 최대인프로우브장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,지지높이조정나사기구(53)는, 눈금(53c)이 부착된 다이얼조작부(53b)를 가지는 수동조정나사가지는프로우브장치. [청구항 10] 제7항에 있어서,지지높이조정나사기구(53)는, 모터오토드라이브가 부착된 볼나사가지는프로우브장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,테스트평행조정기구는 장치본체에 설치한 모터(115)와, 이 모터(115)에 의하여 회전하는 스크류로드(116)와, 이 스크류로드(116)에 나사맞춤되고 이 스크류로드(116)의 회전에 따라서 상하운동하여 테스터헤드를 지지하는 슬라이더구비하는프로우브장치. [청구항 13] 다수의 전극패드에 접속된 회로를 가지는 피검사체가 얹어 놓여지는 재치대와, 수평기준면에 대하여 위치결정되며, 카드호울더에 의하여 유지된 다수개의 프로우브침(23)군을 가지는 프로우브카드어셈블리와, 프로우브침(23)군의 침끝을 피검사체의 전극패드에 접촉시키기 위하여 재치대를 승강시키는 승강수단과, 서로 접촉하는 프로우브침(23)및 전극패드를 통하여 피검사체의 회로에 테스트시그날을 보내고, 피검사체 회로의 전기적인 특성을 검사하는 테스트헤드(27)와, 이 테스트헤드(27)를 지지함과 동시에 테스트헤드(27)의 기울기를 조정하는 테스트헤드평행도조정기구와, 프로우브침(23)군의 침끝 프로파일의 수평기준면에 대한 평행도를 계측하는 프로우브침 평행도 계측수단과, 재치대에 대향하여 설치되며, 재치대에 탑재된 피검사체의 수평기준면에 대한 평행도를 계측하는 피검사체 평행도 계측수단과, 이들 프로우브침 평행도 계측수단 및 피검사체 평행도 계측수단으로부터의 각각의 검출신호(60)에 의거하여 테스트헤드 평행도 조정기구를 제어하여 테스트 헤드(27)의 기울기를 조절하고, 피검사체에 대한 프로우브침(23)군의 침끝 프로파일의 평행도를 유지하는 제어수단을 구비하는 프로우브 장치