웨이퍼 처리 챔버내의 반구형 받침대용 클램프링 document_id 1019950000818

[청구항 2] 제1항에 있어서,의 내부가적어도하나의회전표면에의해형성되는크램프. [청구항 3] 제2항에 있어서,각각의상기 회전표면이 상기 클램프 본체에 의해 회전가능하게 지지되는 구형표면형성되어 있는클램프. [청구항 4] 제3항에 있어서,각각의 상기 구형표면이 상기 클램프의상기 본체내에 형성된 포켓내에서 지지되어서 상기 시트표면형성하고 있는클램프. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 클램프의 본체가 내부구멍을 갖추고 있는 외주부를 포함하고있으며, 상기 내부구멍은 상기 기판의 외주부가 상기 시트면과 접촉되었을때 상기 기판의 대부분노출시키는클램프. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 내부구멍이 원형이고, 상기 클램프의 상기 본체가 적어도 3개의 상기 구형표면지지하는클램프. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 기판이 상기 받침대가 접촉할 때 상기 시트면이 상기 기판과의 접촉점이 적어도 2개의 측면볼록한클램프. [청구항 8] 제3항에 있어서,상기 본체는 상기 시트를 포함하는 제1맞물림부분, 및 사용시 상기 맞물림 부분의 적어도 일부를 덮어주도록 배열된 제2덮개 부분더 포함하고 있는클램프. [청구항 11] 제8항에 있어서,각각의 상기 구형표면이 상기 맞물린부분이 형성된 포켓내에서 지지된 상태로 상기 맞물림부분의 본체를 넘어 돌출하여서 상기 시트면형성하는클램프. [청구항 12] 제11항에 있어서,각각의 상기 포켓이 상기 구형표면을 수용할 수 있는 크기로 형성되어서, 상기 기판이 상기받침대에 고정되는 방향에 대해서 평행한 방향으로 상기 구형표면이 상기 포켓의 안팎으로상대운동할수있는클램프. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 본체는 상기 구형표면이 상기 본체안으로 완전히 이동되는것을 방지하는 정지부를 더 포함하고 있어서, 상기 구형표면의 일부가상기맞물림부분돌출하도록유지되는클램프. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 덮개물질이상기정지부를포함하고 있는클램프. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 환형 링내에 고정된 회전부재를 더 포함하고 있으며, 각각의 상기 지지면이 상기 회전부재포함되어 있는클램프. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 회전부재가nan구형인클램프. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 환형링이 a)그 제1측면상에서 상기 회전부재가 돌출되는 제1환형부분과, 그리고 b)상기 제1환형부분의 제2측면에 부착된 제2환형부분포함하는클램프. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 제1환형부분이 상기 제1측면에서 상기 제2측면으로 연장된 구멍을 포함하고 있으며, 상기 구멍내에서 상기 회전부재가고정되어 있는클램프. [청구항 20] 제18항에 있어서,상기제1 및 제2 환형부분이 각각 제1 및 제2재료로 이루어져 있고, 상기 제2환형부분이 상기 제1환형부분의 반경방향 안쪽으로 상기 제1환형 부분의 상기 제1측면쪽을 향해서 연장된 내부의 환형 가장자리있는클램프. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 제1재료가 알루미나로 이루어지고, 상기 제2재료석영으로 이루어진클램프.