문맥 (context)
[청구항 18]
제17항에 있어서,빛(lt)을 흡수하는표면색인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어방치.
[청구항 19]
제17항 또는 18항에 있어서,부가의 덮개장치(k)가 검은색표면갖는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 21]
제20항에 있어서,카메라(cam)가 배치되는 각(α)이 40。내지인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 22]
제20항 또는 21항에 있어서,빛을 반사시키는표면흰색인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 23]
제20항 내지 22항 중 어느 한 항에 있어서,카메라(cam)의 대물렌즈(obj)가레드필터포함하는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 24]
제17항 내지 23항 중 어느 한 항에 있어서,내부 챔버(rm)가 바닥판(pl)에 의해밀폐되는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 25]
제17항 내지 24항 중 어느 한 항에 있어서,빛(lt)이흰색인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 26]
제17항 내지 25항 중 어느 한 항에 있어서,부가의 덮개장치(k)가 검은표면갖는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 27]
제17항 내지 26항 중 어느 한 항에 있어서,반구형 덮개장치(hk)를 향한 바닥판(p1)의표면색인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 28]
제17항 내지 27항 중 어느 한 항에 있어서,반구형 덮개장치(hk)내의 내부 챔 버(rm)에 있는 카메라(cam)의 부품은 반도체 기판(wf)으로부터 볼 때 대물렌즈(obj)에 의해 덮혀지는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 29]
제17항 내지 28항 중 어느 한 항에 있어서,조명장치(lt1,lt2)가링형인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 30]
제17항 내지 29항 중 어느 한 항에 있어서,부가의 덮개장치(k)가링형배치되는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 31]
제17항 내지 30항 중 어느 한 항에 있어서,제어될 반도체 기판(wf)을 수용하기 위한 수단(e)이 바닥판(p1)의구성부분인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 32]
제17항 내지 30항 중 어느 한 항에 있어서,제어될 반도체 기판(wf)을 수용하기 위한 수단(e)이 바닥판(p1)상에 배치되거나 또는 상기 바닥판(p1)내삽입되는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 34]
제33항에 있어서,부가의 덮개장치(k)가 검은표면갖는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 35]
제33항 또는 34항에 있어서,2개의 조명장치(lt1,lt2)중 적어도 하나에서 내부챔버(rm)에 있는 카메라(cam1;cam2)의 부분은 반도체 기판(wf)으로부터 볼 때 관련 카메라(cam1;cam2)의 대물렌즈에 의해 덮혀배치되는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 36]
제33항 또는 35항에 있어서,2개의 조명장치(lt1,lt2)중 적어도 하나가링형인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 37]
제33항 내지 36항 중 어느 한 항에 있어서,부가의 덮개장치(k)가링형배치되는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 38]
제33항 내지 37항 중 어느 한 항에 있어서,내부 챔버(rm)가 바닥판(p1)의구성부분인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 39]
제38항에 있어서,제어될 반도체 기판(wf)을 수용하기 위한 수단(e)이 바닥판(p1)의구성부분인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 40]
제38항에 있어서,제어될 반도체 기판(wf)을 수용하기 위한 수단(e)이 바닥판(p1)상에 배치되거나바닥판삽입되는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 41]
제33항 내지 40항 중 어느 한 항에 있어서,제2카메라(cam2)가 배치되는 각(α)이 40。내지인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 42]
제33항 내지 41항 중 어느 한 항에 있어서,제1색(gn)이초록색인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
[청구항 43]
제33항 내지 41항 중 어느 한 항에 있어서,제1색(gn)이빨간색인것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 기판의 제어장치에서 카메라(cam)의 대물렌즈(obj)가 포함하고 있는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation반도체 기판 제어장치 내 카메라(cam)의 대물렌즈(obj)가 포함하고 있는 구성 요소를 찾는 문제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 23에서 카메라(cam)의 대물렌즈(obj)에 관한 기술적 특징을 확인한다.
- 카메라(cam)의 대물렌즈(obj)가레드필터포함하는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치
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3근거 선택
evidence_selection대물렌즈의 구성 요소를 직접적으로 명시한 '레드필터' 구절을 선택한다.
- 카메라(cam)의 대물렌즈(obj)가레드필터포함하는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치
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4논리 통합
logical_integration청구항 23에 따르면 대물렌즈(obj)는 레드필터를 포함하고 있음을 알 수 있다.
- 카메라(cam)의 대물렌즈(obj)가레드필터포함하는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 대물렌즈가 포함하는 구성 요소는 레드필터이다.
- 카메라(cam)의 대물렌즈(obj)가레드필터포함하는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 생성한다.
- 카메라(cam)의 대물렌즈(obj)가레드필터포함하는것을특징으로 하는반도체 기판의 제어장치
최종 답변 (final_answer)
레드필터
핵심 해석 (core_interpretation)
반도체 기판 제어장치에 사용되는 카메라의 대물렌즈가 레드필터를 포함하고 있다는 구성적 특징을 나타낸다.