문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제1슬롯이 형성돈 오프닝이 반응기 슬릿 밸브와 배열되어 상기 포커스 링은 웨이퍼를 실고, 내리고 그리고 처리하는 동안정치되도록 하는포커스 링.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 포커스 링이 단일구조인포커스 링.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 포커스 링이a) 상단 포커스 링 부분과 b) 하단 포커스 링 부분과 그리고 c) 상기 제1 및 제2링 부분에 적용된 링크로 이루어진 복합구조인포커스 링.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 링크가 a) 하나의 링 부분으로 부터 수직으로 돌출되는 탭 그리고 b) 상기 탭을 수용하도록 적용된 상기 다른 링내에 형성된 슬롯더 포함하는포커스 링.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 링크가 a) 각각의 상기 제1 및 제2링 부분내에 형성된 정렬된 저어널과 그리고 b) 상기 제1 및 제2링 부분을 결합하기 위해 상기 정렬된 저어널 내에서 셋팅되어 적용된 핀더 포함하는포커스 링.
[청구항 7]
제4항에 있어서,상기 제1링 부분이 상단 링 부분으로 이루어지고, 그리고 상기 상단 링 부분은 적어도 하나의 선택된 포커스 링 배치규정하는포커스 링.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 상단 링 부분이 다수의 선택된 포커스 링 배치를 규정하는 다수의 교체할 수 있는 상단 링더 포함하는포커스 링.
[청구항 9]
제4항에 있어서,상기 제1링 부분 및 상기 제2링 부분이 다른 재료제조되는포커스 링.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 제1링 부분이 쎄라믹, 석영 및 코바르r(kovarr)를 포함하는 그룹으로 부터 선택된 재료로 제조되는 상단 링 부분으로 이루어지며 그리고 상기 제2링 부분이 처리민감 재료로 제조되는 하단 링부분으로 이루어지는포커스 링.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 처리민감 베스펠r(vespllr)인포커스 링.
[청구항 12]
제1항에 있어서,상기제1 및 제2슬롯이 형성된 오프닝이 크기동일하지 않은포커스 링.
[청구항 13]
제1항에 있어서,상기제1 및 제2슬롯이 형성된 오프닝에 처리 가스 방벽을 규정하는 상기 웨이퍼 표면위에 형성되는하단오프닝에지갖춰지는포커스 링.
[청구항 14]
제1항에 있어서,상기 포커스 링이 약 2mm보다 큰 링 두께갖는포커스 링.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 포커스 링이 반응기 내부 벽 표면 이하로 외부 링 표면을 연장하기에 충분한 링 두께갖는포커스 링.
[청구항 16]
제15항에 있어서,상기 포커스 링에 그것을 통해 형성되고 배기 플리넘과 소통되는구멍갖춰지는포커스 링.
[청구항 17]
제14항에 있어서,상기 포커스 링이 편심의 외부 링 표면갖는포커스 링.
[청구항 19]
제18항에 있어서,상기 포커스 링이 약 2mm 이상인 링 두께갖는포커스 링.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
복합구조를 갖는 포커스 링에서 상단 링 부분과 하단 링 부분을 결합하기 위해 사용되는 링크의 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation복합구조를 갖는 포커스 링에서 상단 링 부분과 하단 링 부분을 결합하는 '링크'의 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 포커스 링이 상단 링 부분, 하단 링 부분, 그리고 링크로 이루어진 복합구조임을 확인하고 청구항 6에서 링크의 구체적인 구성 요소를 확인한다.
- 상기 포커스 링이a) 상단 포커스 링 부분과 b) 하단 포커스 링 부분과 그리고 c) 상기 제1 및 제2링 부분에 적용된 링크로 이루어진 복합구조인포커스 링
- 상기 링크가 a) 각각의 상기 제1 및 제2링 부분내에 형성된 정렬된 저어널과 그리고 b) 상기 제1 및 제2링 부분을 결합하기 위해 상기 정렬된 저어널 내에서 셋팅되어 적용된 핀더 포함
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3근거 선택
evidence_selection링크의 구체적인 구성 요소가 명시된 청구항 5와 청구항 6의 내용을 선택한다.
- 상기 링크가 a) 각각의 상기 제1 및 제2링 부분내에 형성된 정렬된 저어널과 그리고 b) 상기 제1 및 제2링 부분을 결합하기 위해 상기 정렬된 저어널 내에서 셋팅되어 적용된 핀더 포함
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4논리 통합
logical_integration청구항 5에 따른 구성 요소(탭, 슬롯)와 청구항 6에 따른 구성 요소(정렬된 저어널, 핀)를 결합하여 링크의 구성 방식을 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation링크는 탭과 슬롯으로 구성되거나, 정렬된 저어널과 핀으로 구성될 수 있음을 결론짓는다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소들을 리스트 형식으로 정리하여 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
탭, 슬롯, 정렬된 저어널, 핀
핵심 해석 (core_interpretation)
복합구조 포커스 링의 상단 및 하단 부분을 결합하기 위해 탭-슬롯 방식 또는 정렬된 저어널-핀 방식을 사용하는 링크 구조에 관한 기술이다.