반도체 제조 장비의 소프트 프레스 document_id 1019950015111

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 모터구동수단(62)은 탑 플레이트(60)상의 보울트 고정블럭(79)과 여기에 수평 체결되는 보울트(80), 이 보울트(80)의 체결진행을 단속하는 너트(81)로 구성된 벨트 장력조절부(82)에 의해 내외측의 고정위치가 가변될 수된것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 볼스크류/너트(61)는 스크류 부시(84)를 갖는 볼스크류의 상단부를 이용하여 지지되고, 볼스크류의 하단부가 자유단이 되도록 한설치구조로이루어진것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 벨트전동수단(64)은 상기 모터구동수단(62)의 모터축과 볼스크류/너트(61)의 볼스크류 최상단부에는 각각의 폴리(63)가 장착되고, 폴리(63) 상호간에는 벨트(83)가 기로걸쳐지는 전동구조를 구비하여 모터구동수단 (62)의 동력을 볼스크류/너트(61)에전달가능하도록된것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 너트 하우징(67)과 홀더 고정블럭(70)은 가이드 샤프트(66)을 사이에 두고 그 상하측에서 직결되어 함께 상하운동을 할 수된것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 너트 하우징(67)과 홀더 고정블럭(70)은 제1, 제2 및 제3링크(96),(97),(98)들의 조합을 사이에 두고 그 상하측에서 연동 가능하도록 결합되어 함께 상하운동을 할 수된것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 센서 도그(65)는 너트 하우징(67), 가이드 샤프트 (66)이 각 중심축선을 연결하는 수평 연장선 상에서 고정되면서 바깥쪽으로 소정의 길이연장위치되는것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 홀더(71)는 그 내부에 완충수단 자리홈(92)과 받침편 자리홈(93)이 각각 위·아래쪽에 마련되어 있고 상기 완충수단 자리홈(92)에 포함하는 완충수단(69)에 의해 하방 탄성지지되는 동시에 받침편 자리홈(93)을 이용하여 홀더 받침블럭(89)상의 받침편(91)윗면에 얹혀지면서 상하 미소유동 가능하도록설치되는것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 홀더 받침블럭(89)이 상단 저면부에는 홀더(71)의 상하 미소유동을 수용할 수 있는홀더수납홈구비되어있는것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 생크(68)는 홀더(71)의 저부에 보울트체결방식고정되는것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 생크(68)는 홀더(71)의 저부에 스크류 체결방식으로 고정되어상하높이조절가능하게되는것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 센서 수단(73)은 볼스크류/너트(61)의 일측에서 이와 나란하게 수직 위치되는 센서고정샤프트(87)와, 이 센서고정샤프트(87)의 하단부를 지지하는 샤프트 고정블럭(88)과, 상기 센서고정샤프트(87)에 삽입 결합되어 위치 이동이 가능하고 소정의 위치에 고정되어 센서 도그(65)와 접속 가능한적어도2개이상의리드스위치구성된것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 13] 제1항에 또는 제4항에 있어서,상기 모터구동수단(62)의 출력단에 장착되는 폴리(63)의 상기 볼스크류/너트(61)의 입력단에 장착되는 폴리(63)보다 큰직경갖는것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 14] 제1항 또는 제5항에 있어서,상기 가이드 샤프트(66)는 적어도 2개의 이상이 구비되어 너트 하우징(67)과 홀더 고정블록(70)을 사이에 두고 서로 대칭위치에 각각 배치되면서 각각의 플랜지부 밑면과 블럭 몸체부 윗면에 일체 고정되는 동시에 베이스 플레이트(74)상의 샤프트 부시(84)에 슬라이드 결속되어서 이것들(67),(70)의 상하운동을 안내할 수된것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 15] 제1항 또는 제6항에 있어서,상기 너트 하우징(67)과 홀더 고정블록(70)은 탑 플레이트(60)와 베이스 플레이트(74) 사이에 가로걸쳐 설치되는 양편의 가이드 샤프트(66)에 각각 자체적으로 갖고 있는 샤프트 부시(86)를 이용하여 슬라이드 결속되어 이것들(66),(86)로부터 상하운동을 안내받을 수된것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 16] 제1항 또는 제8항에 있어서,상기 완충수단(69)은 전체적인 형상이 코일형상을 하고 있는판스프링인것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 17] 제6항에 있어서,상기제1,제2 및 제3링크(96), (97), (98)은 서로 연동 가능하도록 조합되어지되, 상기 제1링크(96)의 상단은 사이드 플레이트(75)상의 고정힌지(95)에 핀결합되는 동시에 이것(96)의 하단 연장부와 하단 꺽임부에는 각각 상기 제2링크(97) 및 제3링크(98)의 일단이 핀결합되고, 제2링크(97) 및 제3링크(98)의 각각의 다른 일단은 너트 하우징(67)측과 홀더 고정블럭(70)측에 각각 핀결합되어 너트 하우징(67)과 함께 제2링크(97)가 윗쪽으로 이동됨에 따라 제1링크(96)와 제3링크(98)가 상호 핀결합부위를 중심으로 하여 접힘과 펴짐 운동 가능하도록조합되어지는것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 18] 제6항 또는 제17항에 있어서,상기 제1링크(96)와 제3링크(98)의 최대 펴짐각도않는것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트프레스. [청구항 19] 제6항 또는 제17항에 있어서,상기제1, 제2 및 제3링크(96), (97), (98)조합은 한쌍이 구비되어 볼스크류/너트(61)를 중심으로 양측에각각대칭배치되는것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스. [청구항 20] 제9항에 있어서,상기 홀더 수납홈(90)은 홀더(71)의 외경과 동일한 크기의 직경을 갖는 원주선상을 따라가면서 연속 형성되고, 그 폭은 홀더(71)의상단부두께폭으로이루어진것을특징으로 하는반도체 제조장비의 소프트 프레스.