열처리장치 document_id 1019950016131

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 제2층부는 상기 제1층부의 외표면부와 직접 접촉하는 내표면부를 가지고, 상기 제2층부는 상기 제1층부보다 고온 연화점을 가지므로 상기 제2층부가 상기 제1층부의 형상에 있어붕괴방지하는것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 반응용기는 상기 제1층부의 외부에 위치한 제3의유리층부더욱구비하는것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기제3의 유리층부는 천연석영으로 형성된 용융유리층부이고,상기제2층부위적층한것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 제3층부는 실리콘 합성물로 형성된합성석영유리인것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 실리콘 합성물은 실리콘4염화물인것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 제1층부는불투명한것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 합성석영유리는실리콘4염화물지는것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 제2층부는 상기 제1층부보다 두꺼운 것특징으로 하는열처리장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,가스도입구멍이 형성되고, 상기 용기의 폐쇄된 상단 부근의 상기 제1층부에 의해 지지되는 가스도입판을 더욱 구비하고, 상기 열처리분위기 형성기구는 상기 폐쇄된 상단과 상기 가스도입판 사이에 위치한 출구를 가지는가스공급관포함하는것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 도입판은 용융석영유리로 형성된 중간층부와 합성석영유리로 된 2개의 외층부를포함하는것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 제2층부는 상기 제1층부보다 3배 두꺼운 것특징으로 하는열처리장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 반응용기 주위에서 연장된라이너튜브더욱구비하는것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 제1층부는상기제2층부적층되는것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 피처리체 홀더는 제1판, 제2판 및 상기 판사이에서 연장되는 지주를 가지는 웨이퍼보우트이며, 상기 제1, 제2판과 상기 지주는 상기 유리구조의 외부 층부로 대표되는 상기 제1층부와 상기 유리구조의 내부 층부로 대표되는상기제2층부구성되는것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 18] 제15항에 있어서,상기 열처리장치는 불투명한석영유리층포함하는것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 중간부재는 열절연통이고 상기 제1층부는 상기 열절연통의 외부 층부를 형성하고 상기 제2층부는 상기 열절연통의 보다 내부 층부를형성하는것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 21] 제20항에 있어서,각각의 상기 반응용기와 상기 피처리체 홀더와 상기 열절연통nan은합성석영유리의제1층부와용융천연석영유리의제2층부형성되는것을특징으로 하는열처리장치. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 유리구조는 합성석영유리물질로 형성된 제3층부를 더욱 구비하고 상기 제2층부는 합성석영유리의 상기 제1과 제2층부 사이에 끼워진 것특징으로 하는열처리장치.