이온소오스 장치를 소정의 이온비임 통로와 일치시키는 구조 document_id 1019950018103

[청구항 2] 제1항에 있어서,배열고정자(90)는 클램핑 지지부재와 실체 설치부재 (98)을 포함하고, 클램핑 지지부재는 설치면 (96)과 고정면 (124), (126)를 지니고, 클램핑 조립체 (92)와 추출부재 (72)를 설치면에 제거할 수 있게 고정하고 소오스 하우징 액세스 개구부 (46c)를 통해 고정되는 크기를 하고, 설치부재는 액세스 개구부에 인접한 소오스 하우징 (44)에 제거 가능하게 고정되어 있고, 배열고정자는 설치부재가 소오스 하우징에 고정될때 추출부재구멍 (78)이 소정의 비임 통로와 축방향으로 배열되도록크기하는것을특징으로 하는이온주입 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,이온비임 소오스 조립체(12)는 가변틈 전극 조립체(130)가 추출전극틈 (140) 두개의 지지다리 (132), (133) 두개의 지지다리 트렉 (168), (170) 및 구동장치 (166)을 형성하는 공간을둔 관계로 고정된 두개의 정합디스크 반의 조립체 (20a), (20b)를 구비하고, 각각의 반의 디스크 조립체는 다리의 일단 부근의 각각의 지지다리에 고정되어 있고, 지지다리의 대향단은 각각의 지지다리 트랙을 맞물리게 하고, 각각의 지지다리는 지지다리 트렉을 따라 이동 통로를 지니고, 구동장치는 각각의 지지대 다리에 커플되어서 각각의 이동통로를 따라 지지다리를 이동하도록 선택적으로 작동하고, 지지다리 트렉은 다리지지대가 각각의 이동통로를 따라 이동할때 추출전극틈의 폭이 반하도록대향방향으로경사지는것을특징으로 하는이온주입장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,가변틈 전극 조립체(12)는 하우징실 (137)이 액세스 개구부(46c)를 밀봉할 수 있게 중첩된 이온비임 소오스 하우징 (44)에 고정되는 설치판 (136)을 지니고, 다리지지 트랙 (168), (176)과 다리지지대 (132), (133)의 부분은 챔버내에 위치한 다리지지 트렉을 맞물리고, 설치판은 다리지지대부가 소오스 하우징 내부영역 (45)으로 연장한 반의디스크 조립체를 지지하는 두개의 공간을 둔 슬롯된 개구부 (138)를 포함하고, 슬롯된 개구부는 각각의 이동통로를 따라 다리지지대를 운동하게 하는크기로된것을특징으로 하는이온주입장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,추출부재(72)는 이부재의 일측 (73)에 평평한 벽부를 포함하고 아크실 (18)의 개방측 (62)은 추출부재 평벽부를 밀봉할 수 있게 맞물리기 위해 벽 맞물림 주변면을 포함하고, 바이어실 수단 (71)은 아크실은 추출부재에 대해 맞물리고 밀쳐내는 한세트의스프링포함하는것을특징으로 하는이온주입장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,추출부재구멍(78)은타원형슬릿인것을특징으로 하는이온주입장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,클램핑 조립체 지지링(94)은 두개 이상의 테브 (114)가 연장되어 있고, 이 테브는 추출부재 (72)를 설치하는 지지대를 제공하고, 두개 이상의 테브는 클램핑 조립체 지지링에 의해 추출부재 구멍을 정확히 위치시키기 위해 추출부재의 해당 위치구멍 또는 슬롯 (75)과 상호고정된하나이상의위치돌출부포함하는것을특징으로 하는이온주입장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,배열고정자설치면 (96)은 배열고정자 (90)에 대해 추출부재 구멍 (78)의 위치구멍 또는 슬롯 (121)과 서로 고정된 두개 이상의 위치 돌출부특징으로 하는이온주입장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,클램핑 조립체 지지링(44)의 하나 이상의 위치구멍 또는 슬롯 (121)이하나이상의테브위치하는것을특징으로 하는이온주입장치. [청구항 13] 제10항에 있어서,소오스 조립체는 ; (a) 내부영역 (45)과 액세스 개구부 (46c)를 형성하는 이온비임 소오스 하우징 (44)과 ;(b) 소오스 하우징에 의해 지지되어 내부영역에 연장한 지지튜우브 (80)와 ;(c) 이온화 소오스 재료가 루우트된 중공 (60)을 형성하는 개방측 (62)을 지닌 이온아크실 (18)을 구비하되 아크실은 지지튜우브에 의해 이에 지지되고 ;(d) 또한, 아크실 개방측을 밀봉할 수 있게 맞물리고, 아크실 중공에서 방생한 이온이 아크실을 탈출하는 슬릿 (78)을 포함하는 것에 있어서 ;(i) 슬릿위치 구조는 추출부재를 지지하기 위해 지지대 튜우브를 맞물리게 하는 클램핑부재 (107), (108)와 ;(ii) 아크슬릿을 소정의 비임성과 배열하게 하고 소오스 조립체 하우징에 대해 정확히 위치하고, 소정의 이온비임 통로에 교차하는 방향으로 클램핑 부재를 지지튜우브에 고정하기 전에 클램핑부재에 대해 이동가능한위치수단포함하는것을특징으로 하는이온소오스 조립체. [청구항 14] 제13항에 있어서,위치수단(94), (114)는 추출부재 아크슬릿 (78)을 축방향으로 배열시키기 위해 추출부재 (72)의 위치슬롯 (75)과 상호 고정된위치포스트포함하는것을특징으로 하는이온소오스 조립체. [청구항 15] 제14항에 있어서,위치수단(74), (114)은 두개의 안쪽으로 연장한 테브부 (114)와 상기 테브부에서 연장한위치포스트포함하는것을특징으로 하는이온소오스 조립체. [청구항 16] 제13항에 있어서,클램핑부재(107), (108)은 원주로 조절가능한스플릿포함하는것을특징으로 하는이온소오스 조립체. [청구항 17] 제15항에 있어서,추출부재(72)는지지링테브부설치된것을특징으로 하는이온소오스 조립체. [청구항 18] 제16항에 있어서,클램핑부재(107), (108)을 지지튜우브 (80)에 대향하는 스플릿 링 (107)의 면에 커플된리테이너링더포함하는것을특징으로 하는이온소오스 조립체.