문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 크리닝 존은, 매거진이 상기 크리닝 존 서브 콘베이어를 통해 안내될 때 매거진의 위치가 홀더 실린더 위치에 도착하면 이를 정지시키는 스토퍼 실린더와; 상기 스토퍼 실린더에 의해 정 위치에서 정지된 매거진을 크리닝 브러쉬부로 투입하기 위한 업-다운 실린더와; 상기 업-다운 실린더의 동작에 따라 연동되는 홀더와; 상기 홀더에 결착되어 매거진을 양쪽에서 잡아주는 홀더 실린더 및; 상기 업-다운 실린더와, 홀더와, 홀더 실린더에 의해 매거진이 상승하면 이를 세척하는크리닝브러쉬구성되는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 크리닝 브러쉬부는, 상기 크리닝 존의 업-다운 실린더에 의해 매거진이 상승하면, 이와 동시에 브러쉬부가 매거진 내부로 하강토록 하는 업-다운 실린더와, 상기 업-다운 실린더에 의해 브러쉬부가 하강할 때 수직으로 하강하도록 안내하는 가이드바 및, 상기 업-다운 실린더와 브러쉬부를 결착하는 지지대로 이루어지는 브러쉬 제어부와; 상기 브러쉬 제어부의 제어하에서 실질적으로 매거진을 세척하는브러쉬부구성되는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 브러쉬부는, 상기 브러쉬 제어부의 양측 지지대 하단에 하나씩 결착된 폭 조정 실린더와; 상기 두 개의 폭 조정 실린더 일측을 공유하고서 양측에 하나씩 결착되어 사각형 형상을 이루며, 브러쉬가 형성된 브러쉬 홀더와; 상기 브러쉬 홀더에 연결되며, 브러쉬 홀더 내부로 증류수를 공급하는 파이프 및; 상기 파이프에 증류수를 공급하는배관호스구성되는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 폭 조정 실린더는, 양 로드 실린더로 브러쉬 홀더의 벌어짐 폭을 조정하며, 매거진 내측에 가해지는 충격을 완화시키기 위해공기압작동시키는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 브러쉬 홀더의 내부에 다수 개의 관통홀을 형성하여 브러쉬에증류수공급되도록하는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 브러쉬 홀더가 매거진의 내부에 인입된 후, 파이프를 통해 증류수가 유입되면 상기 업-다운 실린더를 상/하 길이 방향으로 일정 주기 반복하면서 작동시켜브레싱실행되도록하는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 크리닝 존 서브 콘베이어와, 에어 존 서브 콘베이어는 세척된 물과 이물질의 배출이 용이토록 하기 위해 그물망 형태의 콘베이어벨트사용함을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 에어 존은, 매거진이 상기 에어 존 서브 콘베이어를 통해 안내될 때 매거진의 위치가 홀더 실린더 위치에 도착하면 이를 정지시키는 스토퍼 실린더와; 상기 스토퍼 실린더에 의해 정 위치에 정지된 매거진을 에어분사 부로 투입하기 위한 업-다운 실린더와; 상기 업-다운 실린더의 동작에 따라 연동되는 홀더와; 상기 홀더에 결착되어 매거진을 양쪽에서 잡아주는 홀더 실린더 및; 상기 업-다운 실린더와, 홀더와, 홀더 실린더에 의해 매거진이 상승하면 이를 건조시키는에어분사부구성되는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,어분사 부는 상기 에어 존의 업-다운 실린더에 의해 매거진이 상승하면, 이와 동시에 파이프가 매거진 내부로 하강토록 하는 업-다운 실린더와, 상기 업-다운 실린더에 의해 파이프가 하강할 때 수직으로 하강하도록 안내하는 가이드바와, 상기 업-다운 실린더와 파이프를 결착시키는 지지대와; 상기 지지대에 결착되어 주입되는 에어를 각 방향으로 분사하는 파이프와; 상기 파이프에 에어를 주입하는 에어 호스 및; 상기 파이프에 다수 개 형성된노즐구성되는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 파이프가 매거진의 내부에 인입된 후, 에어 호스를 통해 에어가 주입되면 상기 업-다운 실린더를 상/하 길이 방향으로 일정 주기 반복하면서 작동시켜 매거진 내부에 고르게에어분사되도록하는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 매거진 세척장치의 크리닝 존에서 매거진의 내측 충격을 완화하기 위해 공기압을 작동시키는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation크리닝 존에서 매거진의 내측 충격을 완화하기 위해 공기압을 작동시키는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 매거진 내측 충격 완화 및 공기압 작동과 관련된 구성 요소를 확인한다.
- 상기 폭 조정 실린더는, 양 로드 실린더로 브러쉬 홀더의 벌어짐 폭을 조정하며, 매거진 내측에 가해지는 충격을 완화시키기 위해공기압작동시키는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치
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3근거 선택
evidence_selection공기압을 작동시켜 충격을 완화하는 주체인 '폭 조정 실린더'를 근거로 선택한다.
- 상기 폭 조정 실린더는, 양 로드 실린더로 브러쉬 홀더의 벌어짐 폭을 조정하며, 매거진 내측에 가해지는 충격을 완화시키기 위해공기압작동시키는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치
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4논리 통합
logical_integration청구항 5에 따르면 폭 조정 실린더가 공기압을 작동시켜 매거진 내측의 충격을 완화하는 기능을 수행함을 알 수 있다.
- 상기 폭 조정 실린더는, 양 로드 실린더로 브러쉬 홀더의 벌어짐 폭을 조정하며, 매거진 내측에 가해지는 충격을 완화시키기 위해공기압작동시키는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '폭 조정 실린더'를 도출한다.
- 상기 폭 조정 실린더는, 양 로드 실린더로 브러쉬 홀더의 벌어짐 폭을 조정하며, 매거진 내측에 가해지는 충격을 완화시키기 위해공기압작동시키는것을특징으로 하는반도체 매거진 세척장치
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소인 '폭 조정 실린더'를 최종 답변으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
폭 조정 실린더
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 폭 조정 실린더가 공기압을 작동시켜 브러쉬 홀더의 폭을 조절함으로써, 세척 과정 중 매거진 내측에 가해질 수 있는 충격을 완화하는 기술을 포함한다.