문맥 (context)
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 농도제어수단은 기준투과율과 시료투과율과의 차에 따라 상기 약액 공급수단 및 상기 용매공급수단을 제어하는 피드백 제어수단포함하는기판처리장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,의 시료채취수단은 광투과성재료로 형성된 1쌍의 광투과부를 소정의 간격(셀길이)으로 대향배치하여 상기 광투과부의 사이를 유통하는 피측정유체에 대하여 상기 광투과부의 한쪽에서 빛을 조사하여 상기 광투과부의 다른쪽에서 조사한 광광도를 측정하기 위한 투과광측정용 플로우셀으로서 상기 1쌍의 광투과부의 피측정유체가 닿는면에 피측정유체에 대하여 내식성을 가진 피막형성한기판처리장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 피막은 불소수지형성되어 있는기판처리장치.
[청구항 8]
제4항에 있어서,상기제1 및 제2의 투과광강도측정수단은 양수단에 겸용되는 단일의 광원과, 상기 광원에서 발생한 빛을 상기 제1 및 제2의 시료채취수단으로 돌려 분기시키는 광분기수단과, 상기 제1 및 제2의 시료채취수단을 따로따로 투과한 빛을 수광하여 각각의 강도에 따른 신호를 출력하는 단일의 광검출기와, 상기 제1 및 제2의 시료채취수단을 따로따로 투과한 빛을 서로번갈아 광검출기에 입사시키는 광로절환수단을 포함하며, 광로절환수단의 절환 타이밍에 동기하여 광검출기에서의 신호를 취입하고, 광검출기가 제2의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을때의 광검출기의 출력신호를 참조투과광강도로 하고, 광검출기가 제1의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을 때의 광검출기의 출력신호를 기준투과광강도각각 측정하는기판처리장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 광로절환수단은, 광투과부와 차광부를 소정비율로 판상으로 형성하여되는 광선택셔터와, 상기 제2의 시료채취수단의 투과광과 상기 제1의 시료채취수단의 투과광을 서로 번갈아 상기 광검출기에 조사하도록 상기 광선택셔터를 구동하는 구동수단구성되어 있는기판처리장치.
[청구항 10]
제8항에 있어서,상기제1 및 제2의 투과광강도측정수단은, 기준투과광강도와 시료투과광강도의 각각의 투과광강도의 측정과 참조투과광강도의 측정을 반복행하여, 각각 제i번째(i는 임의의 자연수)의 투과광강도와 참조투과광강도의 비, 제i+1번째의 투과광강도와 제i번째의 참조투과광강도와의 비, 각각 제i+1번째의 투과광강도와 참조투과광강도와의 비와 같이 시간적으로 서로 이웃하는 투과광강도 및 참조투과광강도에 의한 비의 이동평균산출하는기판처리장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,농도제어수단은 기준투과율과 시료투과율과의 차에 따라 상기 약액공급단 및 상기 용매공급수단을 제어하는 피드백제어수단포함하는기판처리장치.
[청구항 16]
제14항에 있어서,상기 시료채취수단은 광투과성재료로 형성한 1쌍의 광투과부를 소정의 간격(셀길이)으로 대향배치하며 상기 광투과부의 사이를 유통하는 피측정유체에 대하여 상기 광투과부의 한쪽에서 빛을 조사하여 상기 광투과부의 다른쪽에서 출사한 광강도를 측정하기 위한 투과광측정용 플로우셀으로서 상기 1쌍의 광투과부의 피측정유체가 닿는 면에 피측정유체에 대하여 내식성을 가진 피막형성하는기판처리장치.
[청구항 17]
제16항에 있어서,상기 피막은 불소수지형성되어 있는기판처리장치.
[청구항 18]
제14항에 있어서,상기 투과광강도 비측정수단은 단일의 광원과 소정의 감광율을 가진 광학필터와 상기 광원에서 발생한 빛을 상기 시료채취수단과 상기 광학필터로 돌려 분기시키는 광분기수단과 상기 시료채취수단 및 광학필터를 따로따로 투과한 빛을 수광하여 각각의 강도에 따른 신호를 출력하는 단일의 광검출기와 상기시료채취수단 및 광학필터를 따로따로 투과한 빛을 서로번갈아 광검출기에 입사시키는 광로절환수단을 포함하며, 광로절환수단의 절환 타이밍에 동기하여 광검출기에서의 신호를 취입하여 광검출기가 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을때의 광검출기의 출력신호를 기준투과광강도, 참조투과광강도 및 시료투과광강도중의 어느하나로 하여 측정하며, 광검출기가 광학필터를 투과한 빛을 수광했을때의 광검출기의 출력신호를 광조사수단에서 발생한 빛의강도(광원광련광강도각각 측정하는기판처리장치.
[청구항 19]
제18항에 있어서,상기 광로절환수단은 광투과부와 차광부를 소정비율로 판상으로 형성하여 되는 광선택셔터와, 상기 광학필터의 투과광과 상기 시료채취수단의 투과광을 서로번갈아 상기 광검출기에 조사하도록 상기 광선택셔터를 구동하는 구동수단구성되어 있는기판처리장치.
[청구항 20]
제18항에 있어서,상기 투과광강도비 측정수단을 기준투과광강도, 참조투과광강도, 시료투과광강도의 각각의 투과광강도의 측정과, 광원관련광강도의 측정을 반복하여, 각각 제i번째(i는 임의의 자연수)의 투과광강도와 광원관련광강도와의 비, 제i+1번째의 투과광강도와 제i번째의 광원관련광강도와의 비, 각각 제i+1번째의 투과광강도와 당원관련 광강도와의 비와 같이 시간적으로 서로 이웃하는 투과광강도 및 광원관련광강도에 의한 비의 이동평균을 산출하여 기준투과광강도비, 참조투과광강도비 및 시료투과광강도비로 하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치에서 제1 및 제2의 투과광강도측정수단이 기준투과광강도와 참조투과광강도를 측정할 때, 광로절환수단의 절환 타이밍에 따라 광검출기가 각각 어떤 신호를 수광하여 측정하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation광로절환수단의 절환 타이밍에 따라 광검출기가 수광하는 신호가 기준투과광강도와 참조투과광강도 중 무엇인지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8에서 광검출기가 제2의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광할 때와 제1의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광할 때의 신호 정의를 추출한다.
- 광검출기가 제2의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을때의 광검출기의 출력신호를 참조투과광강도로 하고, 광검출기가 제1의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을 때의 광검출기의 출력신호를 기준투과광강도
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3근거 선택
evidence_selection광검출기의 출력신호가 각각 참조투과광강도와 기준투과광강도로 정의된 구절을 선택한다.
- 광검출기가 제2의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을때의 광검출기의 출력신호를 참조투과광강도로 하고, 광검출기가 제1의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을 때의 광검출기의 출력신호를 기준투과광강도
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4논리 통합
logical_integration광로절환수단이 빛을 번갈아 입사시키므로, 제2의 시료채취수단을 통과한 빛이 입사될 때는 참조투과광강도를, 제1의 시료채취수단을 통과한 빛이 입사될 때는 기준투과광강도를 측정하게 된다.
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5결론 도출
conclusion_formulation광검출기가 제2의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광하면 참조투과광강도를, 제1의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광하면 기준투과광강도를 측정한다는 결론을 도출한다.
- 광검출기가 제2의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을때의 광검출기의 출력신호를 참조투과광강도로 하고, 광검출기가 제1의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을 때의 광검출기의 출력신호를 기준투과광강도
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 직접적인 답변을 작성한다.
- 광검출기가 제2의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을때의 광검출기의 출력신호를 참조투과광강도로 하고, 광검출기가 제1의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을 때의 광검출기의 출력신호를 기준투과광강도
최종 답변 (final_answer)
광검출기가 제2의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을 때의 출력신호를 참조투과광강도로 하고, 광검출기가 제1의 시료채취수단을 투과한 빛을 수광했을 때의 출력신호를 기준투과광강도로 측정한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
광로절환수단을 이용하여 단일 광검출기로 제1 및 제2의 시료채취수단을 번갈아 투과한 빛을 수광함으로써, 기준투과광강도와 참조투과광강도를 각각 구분하여 측정하는 기술이다.